一种阵列式气体传感器及智能气体检测方法

技术特征：
1.一种阵列式气体传感器，其特征在于，其制备方法包括以下步骤:1〕在所述传感器衬底上制备出n列
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m行，共nm个磁控溅射孔位和电极；制备时，需要采用掩模版a覆盖于衬底上，进行磁控溅射孔位的制备；其中掩模版a具有n列
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m行，共nm个矩形阵列状排列的通孔；每个磁控溅射孔位均连接两个电极； n和m为大于2的自然数；2〕采用掩模版b1～掩模版bn依次覆盖于步骤1〕处理过的传感器衬底上，并依次采用n种溅射材料，通过磁控溅射将n种不同溅射材料分别生长到n列磁控溅射孔位上；其中，掩模版b1具有与第1列磁控溅射孔位对应的通孔、掩模版b2具有与第2列磁控溅射孔位对应的通孔、
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掩模版bn具有与第n列磁控溅射孔位对应的通孔；3〕采用掩模版c1～掩模版cm-1依次覆盖于步骤2〕处理过的传感器衬底上，并依次采用m-1种溅射材料，通过磁控溅射分别生长到磁控溅射孔位上； m-1种溅射材料，依次被编号为i，i＝1、2
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m-1；这m-1种溅射材料与步骤2〕中所述n种溅射材料均不同；其中，第i种溅射材料生长到第i行的n/2个磁控溅射孔位上和第i 1行的n/2个磁控溅射孔位上，n为奇数时，n/2舍位取整；其中，掩模版c1具有与第1行和第2行磁控溅射孔位对应的n/2个通孔、掩模版c2具有与第2行和第3行磁控溅射孔位对应的n/2个通孔
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掩模版c1具有与第1行磁控溅射孔位对应的n/2个通孔。2.根据权利要求1所述的一种阵列式气体传感器，其特征在于：磁控溅射材料选自mos2、zno、wo3、tio2、sno2、c、hfo2、ta2o5、ga2o3。3.根据权利要求1所述的一种阵列式气体传感器，其特征在于：步骤2〕和/或步骤3〕中，在完成材料溅射后，对溅射材料进行参杂；参杂选用的金属为cu、al、w、pt、cr、mn、ag、ce、sb。4.根据权利要求1所述的一种阵列式气体传感器，其特征在于：步骤3〕中，第i行的n/2个磁控溅射孔位上和第i 1行的n/2个磁控溅射孔位错位分布。5.基于1～4任意一项权利要求1所述传感器的智能气体检测方法，其特征在于：将所述传感器的电极接入测量电路，采集传感器阵列中，n
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m个阵列单元对不同气体的动态实时响应曲线；对响应曲线提取稳态响应特征和动态响应特征，通过机器学习，建立和训练用于识别气体种类的模型；在利用所述传感器检测待测气体时，通过测量电路获取测量参数，并输入所述用于识别气体种类的模型，实现待测气体种类的识别。

技术总结
本发明的目的是提供一种阵列式气体传感器及智能气体检测方法。其制备方法是在传感器衬底上制备出n列


技术研发人员：彭小燕 陈家正 王顺 褚金
受保护的技术使用者：西南大学
技术研发日：2021.12.21
技术公布日：2022/5/25