多波横向剪切干涉系统的制作方法

1.本技术涉及检测技术领域，尤其涉及一种多波横向剪切干涉系统。


背景技术：

2.多波横向剪切干涉技术是波前检测领域的重要技术之一，其利用单幅干涉图得到两个正交方向的差分波前信息，从而实现待测物体的瞬态检测。在眼视医学中，基于多波横向剪切技术的准确波前测量促进了屈光手术的发展，对临床视医学有着极大的促进作用。在仪器测量中，基于多波横向剪切技术的干涉系统可严格控制大口径仪器的出射准直波前，可保证仪器的系统波前测量精度。在天文学中，基于多波横向剪切技术的干涉装置可准确探测望远镜系统像差和系统动态波前，为大口径望远镜的对空观测过程提供重要调试依据。随着多波横向剪切干涉技术在各个领域的应用日益增加，对多波横向剪切干涉系统的研究也日趋重要。
3.剪切比(在干涉条纹中非干涉区域与干涉区域的比值)决定了多波横向剪切干涉系统的灵敏度，传统的多波横向剪切干涉系统往往将分光光栅置于成像透镜与滤波小孔之间，其剪切比为一个由系统参数确定的定值，在对待测物体检测过程中，需要不断的调整系统参数来调整剪切比，给待测物体的检测带来了极大的不便。
4.因此，如何提供一种有效的方案，以便于十分方便快捷的对待测物体进行检测，已成为现有技术中一亟待解决的问题。


技术实现要素：

5.本技术实施例采用下述技术方案：
6.一种多波横向剪切干涉系统，用于对待检测物体进行检测，该多波横向剪切干涉系统包括：分光器件、移动平台、第一聚焦透镜、滤波器、第二聚焦透镜和图像探测器，所述待检测物体、所述分光器件、所述第一聚焦透镜、所述滤波器、所述第二聚焦透镜和所述图像探测器沿激光光源的光路方向依次分布，所述滤波器位于所述第一聚焦透镜与所述第二聚焦透镜的共焦位置，所述分光器件设置于所述移动平台上并可沿着激光光源的光路朝向或远离所述第一聚焦透镜移动。
7.在一个可能的设计中，多波横向剪切干涉系统还包括检测终端，所述检测终端与所述图像探测器连接，所述检测终端用于根据所述图像探测器所采集到的干涉条纹对所述待检测物体的进行检测。
8.在一个可能的设计中，所述检测终端为计算机或集成计算功能模块的板卡模块。
9.在一个可能的设计中，所述移动平台包括底座和安装台，安装台与所述底座滑动连接，所述分光器件设置于所述安装台上。
10.在一个可能的设计中，所述底座上设置有滑槽，所述安装台上设置有与所述滑槽匹配滑轨，所述滑轨沿激光光源的光路方向分布；或
11.所述底座上设置有滑轨，所述安装台上设置有与所述滑轨匹配滑槽，所述滑轨沿
激光光源的光路方向分布。
12.在一个可能的设计中，所述第一聚焦透镜、所述滤波器、所述第二聚焦透镜和所述图像探测器均设置于所述底座上。
13.在一个可能的设计中，多波横向剪切干涉系统还包括激光光源，所述激光光源位于所述分光器件背离所述第一聚焦透镜的一侧。
14.在一个可能的设计中，所述分光器件包括分光光栅和/或分光波带片。
15.本技术实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到以下有益效果：
16.本技术实施例提供的多波横向剪切干涉系统通过将待检测物体、分光器件、第一聚焦透镜、滤波器、第二聚焦透镜和图像探测器沿激光光源的光路方向依次分布设置，滤波器设置于第一聚焦透镜与第二聚焦透镜的共焦位置，且分光器件设置于移动平台上并可沿着激光光源的光路朝向或远离第一聚焦透镜移动，如此在对待检测物体进行检测时，能够通过移动平台十分方便的调整分光器件与第一聚焦透镜的距离，从而使得产生的多束激光束经过第二聚焦透镜后产生的干涉条纹中非干涉区域干涉区的比值(即剪切比)，能够随着移动平台上的分光器件移动而不断变化，从而能够连续不断的调整系统的剪切比，便于十分方便快捷的对待测物体进行检测，同时能够提高系统在检测时对待检测物的恢复精度，实现待检测物的高精准检测。
附图说明
17.此处所说明的附图用来提供对本技术的进一步理解，构成本技术的一部分，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：
18.图1为本技术实施例提供的多波横向剪切干涉系统的结构示意图；
19.图2为本技术实施例提供的在不同剪切比下待检测物的恢复结果图；
20.图3为本技术实施例提供的另一多波横向剪切干涉系统的结构示意图。
21.图标：100-分光器件；200-移动平台；300-第一聚焦透镜；400-滤波器；500-第二聚焦透镜；600-图像探测器；700-检测终端。
具体实施方式
22.为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术具体实施例及相应的附图对本技术技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
23.以下结合附图，详细说明本技术各实施例提供的技术方案。
24.实施例
25.请参阅图1，本技术实施例提供了一种多波横向剪切干涉系统，用于对待检测物体进行检测，该多波横向剪切干涉系统包括有分光器件100、移动平台200、第一聚焦透镜300、滤波器400、第二聚焦透镜500和图像探测器600。
26.所述待检测物体、所述分光器件100、所述第一聚焦透镜300、所述滤波器400、所述第二聚焦透镜500和所述图像探测器600沿激光光源的光路方向依次分布，所述滤波器400位于所述第一聚焦透镜300与所述第二聚焦透镜500的共焦位置，所述分光器件100设置于
所述移动平台200上并可沿着激光光源的光路朝向或远离所述第一聚焦透镜300移动。其中，图中的箭头方向表示激光光源的方向。
27.所述分光器件100用于将入射的激光光源分成多束激光束，所述分光器件100可以包括分光光栅和/或分光波带片，分光器件100的实现原理为现有技术，本技术实施例中不再具体说明。本技术实施例中，所述分光器件100用于将入射的激光光源分成4束激光束。可以理解的，在其他的一些实施例中，分光器件100也可将激光光源分成其他数量的激光束，例如2束。
28.移动平台200用于安装分光器件100，其可以包括有底座和安装台，安装台与底座滑动连接，所述分光器件100设置于所述安装台上，从而使得安装台上的分光器件100可相对底座滑动。本技术实施例中，可以是在底座上设置滑槽，并在安装台上设置与滑槽匹配滑轨，也可以是在底座上设置有滑轨，并在安装台上设置与滑轨匹配滑槽。需要说明的是，无论是将滑槽设置在底座上还是在安装台上，滑槽的槽口分布方向均沿着激光光源的光路方向分布。进一步的，还可设置将底座与安装台估计的旋紧机构，在调整分光器件100的过程中，如果需要将分光器件100固定在指定位置时，可通过旋紧机构将底座与安装台固定，从而使安装在移动平台200上的分光器件100保持固定，避免发生晃动而影响检测效果。
29.本技术实施例中，第一聚焦透镜300、滤波器400、第二聚焦透镜500和图像探测器600可以设置在底座上，也可以不设置在底座上，具体可根据实际情况选择。
30.第一聚焦透镜300用于对经过分束器形成的多束激光束进行聚焦，滤波器400位于第一聚焦透镜300与第二聚焦透镜500的共焦位置，第一聚焦透镜300聚焦后形成的多束激光束经过滤波器400滤波，仅允许特定波长的激光通过，从而使得经过第二聚焦透镜500的多束激光束具有相同的波长，进而产生干涉条纹。图像探测器600用于获取经过第二聚焦透镜500的多束激光束产生的干涉条纹，以便于后续的检测。
31.在使用多波横向剪切干涉系统对待检测物体进行检测时，首先将待检测物体设置在分光器件100远离第一聚焦透镜300的一侧，通过激光光源入射至待检测物体，入射至待检测物体经过分光器件100后，分为多束激光束，多束激光束经过第一聚焦透镜300后进入滤波器400，滤波器400允许特定波长的激光通过，使得经过第二聚焦透镜500的多束激光束具有相同的波长，多束具有相同的波长的激光束入射至图像探测器600并产生干涉条纹，图像探测器600采集到产生的干涉条纹以便用于后续的检测。在此过程中，可通过移动平台200十分方便的调整分光器件100与第一聚焦透镜300的距离，从而使得产生的多束激光束经过第二聚焦透镜500后产生的干涉条纹的剪切比能够随着移动平台200上的分光器件100移动而不断变化，便于十分方便快捷的对待测物体进行检测。如图2所述，是一个实施例中，不同剪切比下待检测物的恢复结果图，图2中(a)、(b)、(c)分别为不同剪切比下待检测物的恢复结果图，从图2中可以看出，在不同的剪切比下待检测物的恢复结果图的清晰度也不同，通过本技术实施例提供的多波横向剪切干涉系统能够连续不断调整干涉条纹的剪切比，从而能够快速准确的找出待检测物最清晰的恢复结果图，进而能够十分方便快捷的对待测物体进行检测，同时能够提高系统在检测时对待检测物的恢复精度，实现待检测物的高精准检测。
32.请参阅图3，本技术实施例还提供了另一种多波横向剪切干涉系统，与图1所示的不同的是，多波横向剪切干涉系统还包括有检测终端700，所述检测终端700与所述图像探
测器600连接，所述检测终端700用于根据所述图像探测器600所采集到的干涉条纹对所述待检测物体的进行检测。
33.其中，所述图像探测器600可以是，但不限于计算机、智能手机、服务器、嵌入式计算板卡模块等，本技术实施例中，所述图像探测器600为计算机。
34.综上所述，本技术实施例提供的多波横向剪切干涉系统通过将待检测物体、分光器件100、第一聚焦透镜300、滤波器400、第二聚焦透镜500和图像探测器600沿激光光源的光路方向依次分布设置，滤波器400设置于第一聚焦透镜300与第二聚焦透镜500的共焦位置，且分光器件100设置于移动平台200上并可沿着激光光源的光路朝向或远离第一聚焦透镜移动，如此在对待检测物体进行检测时，能够通过移动平台200十分方便的调整分光器件100与第一聚焦透镜300的距离，从而使得产生的多束激光束经过第二聚焦透镜500后产生的干涉条纹中的剪切比，能够随着移动平台上200的分光器件100移动而不断变化，从而能够连续不断的调整系统的剪切比，便于十分方便快捷的对待测物体进行检测，同时能够提高系统在检测时对待检测物的恢复精度，实现待检测物的高精准检测。
35.以上所述仅为本技术的实施例而已，并不用于限制本技术。对于本领域技术人员来说，本技术可以有各种更改和变化。凡在本技术的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的权利要求范围之内。