多波横向剪切干涉系统的制作方法

技术特征：
1.一种多波横向剪切干涉系统，用于对待检测物体进行检测，其特征在于，包括：分光器件、移动平台、第一聚焦透镜、滤波器、第二聚焦透镜和图像探测器，所述待检测物体、所述分光器件、所述第一聚焦透镜、所述滤波器、所述第二聚焦透镜和所述图像探测器沿激光光源的光路方向依次分布，所述滤波器位于所述第一聚焦透镜与所述第二聚焦透镜的共焦位置，所述分光器件设置于所述移动平台上并可沿着激光光源的光路朝向或远离所述第一聚焦透镜移动。2.根据权利要求1所述的多波横向剪切干涉系统，其特征在于，还包括检测终端，所述检测终端与所述图像探测器连接，所述检测终端用于根据所述图像探测器所采集到的干涉条纹对所述待检测物体的进行检测。3.根据权利要求2所述的多波横向剪切干涉系统，其特征在于，所述检测终端为计算机或嵌入式计算板卡模块。4.根据权利要求1所述的多波横向剪切干涉系统，其特征在于，所述移动平台包括底座和安装台，安装台与所述底座滑动连接，所述分光器件设置于所述安装台上。5.根据权利要求4所述的多波横向剪切干涉系统，其特征在于，所述底座上设置有滑槽，所述安装台上设置有与所述滑槽匹配滑轨，所述滑轨沿激光光源的光路方向分布；或所述底座上设置有滑轨，所述安装台上设置有与所述滑轨匹配滑槽，所述滑轨沿激光光源的光路方向分布。6.根据权利要求4所述的多波横向剪切干涉系统，其特征在于，所述第一聚焦透镜、所述滤波器、所述第二聚焦透镜和所述图像探测器均设置于所述底座上。7.根据权利要求1所述的多波横向剪切干涉系统，其特征在于，还包括激光光源，所述激光光源位于所述分光器件背离所述第一聚焦透镜的一侧。8.根据权利要求1所述的多波横向剪切干涉系统，其特征在于，所述分光器件包括分光光栅和/或分光波带片。

技术总结
本申请公开了一种多波横向剪切干涉系统，涉及检测技术领域。多波横向剪切干涉系统用于对待检测物体进行检测，多波横向剪切干涉系统包括分光器件、移动平台、第一聚焦透镜、滤波器、第二聚焦透镜和图像探测器，待检测物体、分光器件、第一聚焦透镜、滤波器、第二聚焦透镜和图像探测器沿激光光源的光路方向依次分布，滤波器位于第一聚焦透镜与第二聚焦透镜的共焦位置，分光器件设置于移动平台上并可沿着激光光源的光路朝向或远离所述第一聚焦透镜移动。本申请公开的多波横向剪切干涉系统可实现连续变换的剪切比调整，从而十分方便快捷的对待测物体进行检测。测物体进行检测。测物体进行检测。


技术研发人员：李优 张秀平 张军勇 殷长志
受保护的技术使用者：帛度光电科技（苏州）有限公司
技术研发日：2021.12.13
技术公布日：2022/5/25