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一种硅片金属层电镀设备的制作方法

2022-05-26 08:58:20 来源:中国专利 TAG:


1.本实用新型涉及电镀设备技术领域,具体为一种硅片金属层电镀设备。


背景技术:

2.电镀时的表面状况和加工要求,选择其中适当的几个步骤,对零件表面进行必要的修整加工,使零件具有平整光洁的表面,这是能否获得优质镀层的重要环节。镀前处理工艺中,所用的主要设备有磨、抛光机、刷光机、喷砂机、滚光机和各类固定槽。电镀处理是整个生产过程中的主要工艺。根据零件的要求,有针对性选择某一种或几种单金属或合金电镀工艺对零件进行电镀或浸镀等加工,以达到防蚀、耐磨和美观的目的。电镀处理过程中所用的设备主要有各类固定槽、滚镀槽、挂具、吊篮等。
3.现有的电镀设备,在对硅片进行电镀时,通常都是将被电镀的产品浸泡在电解液里,这种方式不能很好的将产品进行电镀,且电镀的产品在电镀的过程中,通常需要人工将其提起并往复的将产品从电解液中提取出来再放入其中,费时费力。


技术实现要素:

4.本实用新型提供了一种硅片金属层电镀设备,具备可以让产品与电解液更全面的进行接触,且在电镀的过程中不需要人工往复的将产品从电解液中拿取的有益效果,解决了上述背景技术中所提到的较难让产品与电解液更全面的进行接触,通常需要人工将其提起往复的将产品,从电解液中提取出来再放入其中,费时费力的问题。
5.本实用新型提供如下技术方案:一种硅片金属层电镀设备,包括电镀框和固定安装在电镀框一端的支撑框架,所述电镀框的侧表面相互连通有出水管道,所述电镀框的下端设置有万向轮,所述支撑框架的侧表面固定安装有固定外壳,所述固定外壳内设置有传动组件,所述支撑框架的一端设置有活动组件;
6.所述活动组件包括滑动设置在支撑框架内的支撑杆,所述支撑杆的下端固定安装有支撑外壳,所述支撑外壳内固定安装有第一电机,所述第一电机的输出端设置有旋转轴,所述旋转轴的侧壁固定安装有支撑台,所述支撑台的底壁贯穿有活动杆,所述活动杆的下端固定安装有挂环。
7.作为本实用新型所述硅片金属层电镀设备的一种可选方案,其中:所述支撑框架的侧壁开设有活动口,所述活动口内固定安装有滑动杆,所述滑动杆与所述支撑杆滑动连接,所述支撑台内设置有旋转组件。
8.作为本实用新型所述硅片金属层电镀设备的一种可选方案,其中:所述旋转组件包括固定安装在所述旋转轴上的第一齿轮,所述第一齿轮啮合连接有第二齿轮,所述第二齿轮的中部固定安装有活动杆,所述活动杆与所述支撑台活动连接。
9.作为本实用新型所述硅片金属层电镀设备的一种可选方案,其中:所述传动组件包括固定安装在固定外壳一侧的第二电机,所述第二电机的输出端设置有转动轴,所述转动轴的另一端固定连接有第三齿轮,所述第三齿轮啮合连接有齿条板,所述齿条板的下端
固定连接有弹簧,所述弹簧的另一端与支撑框架内壁固定连接,所述齿条板与所述支撑杆固定连接。
10.作为本实用新型所述硅片金属层电镀设备的一种可选方案,其中:所述第三齿轮为不完全齿轮。
11.作为本实用新型所述硅片金属层电镀设备的一种可选方案,其中:所述第二齿轮、活动杆和挂环设置有多组,且多组所述的第二齿轮、活动杆和挂环沿所述旋转轴中心周向设置。
12.本实用新型具备以下有益效果:
13.1、该硅片金属层电镀设备,将电镀的产品挂在挂环上,开启第一电机工作,第一电机带动旋转轴转动,旋转轴带动支撑台转动,通过支撑台的转动,带动产品跟随支撑台一起转动,随后通过旋转轴带动第一齿轮转动,第一齿轮带动第二齿轮转动,第二齿轮带动活动杆在支撑台上转动,即可带动将电镀的产品实现自转,更进一步地将产品进行电镀,不会因与电解液接触不完全而导致电镀不均匀,让硅片进行更好的电镀,操作简单,使用方便。
14.2、该硅片金属层电镀设备,开启第二电机动作,第二电机通过转动轴带动第三齿轮转动,第三齿轮带动齿条板拉伸弹簧运动,通过支撑杆的限制下,即可实现齿条板上下往复的运动,即可支撑杆带动支撑外壳和支撑台在滑动杆上往复运动,让电镀的产品在电解液中往复的进出,经一步地让产品进行更好的电镀,不需要过多的人力,省时省力。
附图说明
15.图1为本实用新型的整体结构示意图。
16.图2为本实用新型支撑框架和固定外壳平面剖视图。
17.图3为本实用新型支撑外壳和支撑台平面剖视图。
18.图中:1、电镀框;11、水管道;12、万向轮;2、支撑框架;3、固定外壳;4、传动组件;41、第二电机;42、转动轴;43、第三齿轮;44、齿条板;45、弹簧;5、活动组件;51、支撑杆;52、活动口;53、支撑外壳;54、支撑台;55、第一电机;56、旋转轴;57、旋转组件;58、滑动杆;571、第一齿轮;572、第二齿轮;573、活动杆;574、挂环。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
20.实施例1
21.请参阅图1和图3,一种硅片金属层电镀设备,包括电镀框1和固定安装在电镀框1一端的支撑框架2,电镀框1的侧表面相互连通有出水管道11,当产品电镀结束后,电解液通过出水管道11将其对外排出,电镀框1的下端设置有万向轮12,通过设置的万向轮12,可以将该装置推送到指定的位置,支撑框架2的侧表面固定安装有固定外壳3,固定外壳3内设置有传动组件4,支撑框架2的一端设置有活动组件5。
22.活动组件5包括滑动设置在支撑框架2内的支撑杆51,支撑杆51的下端固定安装有
支撑外壳53,支撑外壳53内固定安装有第一电机55,第一电机55的输出端设置有旋转轴56,旋转轴56的侧壁固定安装有支撑台54,所述支撑台54的底壁贯穿有活动杆573,所述活动杆573的下端固定安装有挂环574。
23.在本实施例中:将产品挂在挂环574上,开启第一电机55工作,第一电机55带动旋转轴56转动,旋转轴56带动支撑台54转动,通过支撑台54的运动带动挂环574转动,让硅片进行更好的电镀,操作简单,使用方便。
24.实施例2
25.本实施例是在实施例1的基础上作出的改进,根据图1所示,支撑框架2的侧壁开设有活动口52,活动口52内固定安装有滑动杆58,滑动杆58与支撑杆51滑动连接,支撑台54内设置有旋转组件57。
26.本实施例中:支撑杆51带动支撑外壳53和支撑台54在滑动杆58上往复运动,让电镀的产品在电解液中往复的进出,进一步地让产品进行电镀。
27.实施例3
28.本实施例是在实施例2的基础上作出的改进,根据图3所示,旋转组件57包括固定安装在旋转轴56上的第一齿轮571,第一齿轮571啮合连接有第二齿轮572,第二齿轮572的中部固定安装有活动杆573,活动杆573与支撑台54活动连接。
29.本实施例中:将电镀的产品挂在挂环574上,随后通过旋转轴56带动第一齿轮571转动,第一齿轮571带动第二齿轮572转动,第二齿轮572带动活动杆573在支撑台54上转动,即可带动将电镀的产品实现自转,更进一步地将产品进行电镀,不会因与电解液接触不完全而导致电镀不均匀。
30.实施例4
31.本实施例是在实施例3的基础上作出的改进,根据图2所示,传动组件4包括固定安装在固定外壳3一侧的第二电机41,第二电机41的输出端设置有转动轴42,转动轴42的另一端固定连接有第三齿轮43,第三齿轮43为不完全齿轮,当第三齿轮43转动到无齿一侧时,齿条板44将解除束缚,即受到弹簧45的反作用力,将其拉回原来的位置,第三齿轮43啮合连接有齿条板44,齿条板44的下端固定连接有弹簧45,弹簧45的另一端与支撑框架2内壁固定连接,齿条板44与支撑杆51固定连接。
32.本实施例中:开启第二电机41动作,第二电机41通过转动轴42带动第三齿轮43转动,第三齿轮43带动齿条板44拉伸弹簧45运动,通过支撑杆51的限制下,即可实现齿条板44上下往复的运动。
33.实施例5
34.本实施例是在实施例4的基础上作出的改进,根据图3所示,第二齿轮572、活动杆573和挂环574设置有多组,且多组的第二齿轮572、活动杆573和挂环574沿所述旋转轴56中心周向设置。
35.本实施例中:通过安装多组第二齿轮572、活动杆573和挂环574,当电镀时,可以同时将多个产品进行电镀,操作简单,效率高。
36.需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖
非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
37.以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型技术原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
再多了解一些

本文用于企业家、创业者技术爱好者查询,结果仅供参考。

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