一种PVD法生产硒化锌用密封件的制作方法

一种pvd法生产硒化锌用密封件
技术领域
1.本实用新型涉及硒化锌的生产装置领域，尤其涉及一种pvd法生产硒化锌用密封件。


背景技术：

2.利用传统的物理气相沉积法(pvd)生产硒化锌多晶板料时，通常使用耐高温胶体将石英管罩端部与导流管粘盘密封粘接在一起。这种传统的固定方式，在实际使用时是存在一定问题的，例如密封胶中存在有害的化学成分，在粘结固定时会对操作人员造成身体伤害，尤其pvd生产硒化锌多晶板料是在高温条件下进行的，有害的化学成分更易挥发，不仅对操作人员造成伤害，而且也会污染环境。而且在高温条件下，密封胶耐热氧老化性能变差，导致密封胶的粘结密封效果变差，导致石英管罩与导流管粘盘容易发生脱离，而无法实现紧密管道间的结合。同时，该操作方法需要人工进行粘结，导致生产效率较低。
3.因此，需要研发一款新型的石英管罩与导流管粘盘，以解决现有技术中两者密封连接不牢固以及操作效率低的技术问题。


技术实现要素：

4.本实用新型实施例公开了一种pvd法生产硒化锌用密封件，该密封件包括管罩和端盖，两者能够通过自身的结构实现密封连接，解决了现有技术中密封固定效果差、生产效率低的技术问题。
5.本实用新型实施例提供了一种pvd法生产硒化锌用密封件，包括中空的管罩和端盖；所述管罩的外侧壁具有径向向外突出的第一法兰和第一台阶面；所述端盖具有环形侧壁和底壁，所述底壁具有连通内部的凸管，所述环形侧壁的外侧壁具有径向向外突出的第二法兰，且所述环形侧壁的内侧壁具有径向向内突出的第二台阶面，所述第二台阶面相对于底壁倾斜朝上延伸设置。
6.进一步的，所述管罩的外侧壁罩设有密封圈，所述密封圈与第一台阶面相邻，于管罩与端盖固定连接时，所述密封圈受到第一台阶面与第二台阶面的挤压力，使得第一台阶面与第二台阶面密封压持在一起。
7.进一步的，所述第一法兰与第二法兰在对位处设置有螺孔，所述第一法兰与第二法兰通过螺栓固定连接。
8.进一步的，所述螺孔的数量为8个。
9.进一步的，所述第二台阶面的倾斜角度为30
°‑
60
°
。
10.进一步的，所述第二台阶面在水平面上的投影与第一台阶面在水平面上的投影重合。
11.进一步的，于管罩与端盖固定连接时，位于第一台阶面下方的管罩部分插设到位于第二台阶面下方的端盖部分内。
12.进一步的，于管罩与端盖固定连接时，所述管罩的下端面与所述底壁相抵靠。
13.进一步的，所述第二法兰沿所述端盖的外边沿延伸设置。
14.进一步的，所述密封圈为橡胶圈。
15.从以上技术方案可以看出，本实用新型实施例具有以下优点：
16.本实用新型实施例提供了一种pvd法生产硒化锌用密封件，包括中空的管罩和端盖，管罩的外侧壁具有径向向外突出的第一法兰、以及位于第一法兰下方的第一台阶面，而端盖具有环形侧壁和底壁，底壁上设置有连通内部的凸管，该凸管用来与外部的导流管连通。在环形侧壁的外侧壁具有径向向外突出的第二法兰，而在环形侧壁的内侧壁具有径向向内突出的第二台阶面，其中第二台阶面是倾斜设置的，且相对于底壁是倾斜朝上延伸设置的。当需要将管罩与端盖固定在一起时，第一台阶面与第二台阶面相抵，同时将第一法兰与第二法兰固定在一起，由于第二台阶面为倾斜朝上延伸设置的，当第一台阶面压持在第二台阶面上时，倾斜的第二台阶面能够增加与第一台阶面的接触密封的面积，而且随着第一法兰与第二法兰的固定锁紧，使得第一台阶面能够对第二台阶面产生向下的作用力，增加了两者的密封效果。
附图说明
17.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
18.图1为本实用新型实施例中提供的一种pvd法生产硒化锌用密封件的结构示意图。
19.1-管罩，11-第一法兰，12-第一台阶面，2-端盖，21-底壁，22-环形侧壁，23-第二法兰，24-第二台阶面，25-凸管，3-密封圈。
具体实施方式
20.本实用新型实施例公开了一种pvd法生产硒化锌用密封件，用于解决现有技术中管罩与端盖需要使用密封胶粘结固定的技术问题，在保证两者连接牢固的同时，又能保证两者的密封效果。
21.请参阅图1，本实用新型实施例中提供的一种pvd法生产硒化锌用密封件的一个实施例包括：中空的管罩1和端盖2，管罩的外侧壁设置有径向向外突出的第一法兰11，以及位于第一法兰11的下方、径向向外突出的第一台阶面12。而端盖2包括有底壁21和环形侧壁22，在底壁21的中央设置有突出于底壁21外表面的凸管25，该凸管25用来将外部的导流管与端盖2进行连通。
22.在环形侧壁22的外侧壁上设置有径向向外突出的第二法兰23，在环形侧壁22的内侧壁上设置有径向向内突出的第二台阶面24，该第二台阶面24相对于底壁21是倾斜朝上延伸设置的，当第一台阶面12与第二台阶面24相互抵靠在一起时，倾斜设置的第二台阶面24能增加与第一台阶面12的密封面积，保证两者的密封效果。其中第一法兰11和第二法兰23上分别设置有八个螺孔，即第一法兰11与第二法兰23是通过螺栓固定连接的。当然，本领域技术人员应当知道，第一法兰11与第二法兰23的固定方式并不仅局限于螺栓的固定方式，可以更换为本领域中常见的连接方式。
23.进一步的，第二台阶面24相对于端盖2的中轴线的锐角夹角在30
°‑
60
°
之间，在该角度范围内的第二台阶面24与第一台阶面12接触时，可以保证有效的密封接触面积，密封效果更好。而在本实施例中，第二法兰23是沿着端盖2的上边沿径向向外突出设置的，而第一法兰11和第一台阶面12是设置在管罩1外侧壁的上的，并不与管罩1的两端接触。即当管罩1插入与到端盖2内时，第一台阶面12与第二台阶面24相抵接，位于第一台阶面12下方的管罩部分则继续插入到端盖2内，直到管罩1的下端面与端盖2的底壁相抵接，从而使得管罩1与端盖2的配合固定具有限位和提醒作用，即当管罩1的下端面与底壁21抵靠在一起时，表明管罩1与端盖2之间的配合完成。进一步的，该第二台阶面24受到第一台阶面12的压持时，能够产生形变，使得其与第一台阶面12的密封效果更好。而且，该第二台阶面24在水平面上的投影与第一台阶面12在水平面上的投影相重合，即第二台阶面24在水平面上的投影的直径与第一台阶面12的直径相同，进一步保证了两者的密封接触面积，使得管罩1与端盖2的密封效果更好。
24.由于管罩1与端盖2之间的密封主要依靠第一台阶面12与第二台阶面24之间的密封配合，为了进一步增加密封效果，在本实施例中，管罩1的外侧壁罩设有橡胶材质的密封圈3，当第一台阶面12与第二台阶面24压持在一起时，密封圈3分别收到第一台阶面12与第二台阶面24的挤压而发生形变，保证管罩1与端盖2的密封效果。
25.以上对本实用新型所提供的一种pvd法生产硒化锌用密封件进行了详细介绍，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型实施例的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。