晶棒运输车的制作方法

1.本技术涉及半导体材料运输技术领域，尤其涉及一种晶棒运输车。


背景技术：

2.晶棒从生产车间加工完成后，需要运输至截断设备上进行进一步加工，通常情况下，采用晶棒运输车来运输晶棒，以节约人力。


技术实现要素：

3.本技术提供了一种晶棒运输车，能够提高晶棒运输车运输晶棒的过程的安全性。
4.本技术提供一种晶棒运输车，包括：
5.车架，车架设置有车轮，沿晶棒运输车的高度方向，晶棒运输车设置有第一安装空间和第二安装空间，车架围成第一安装空间；
6.传动组件，传动组件安装于车架，传动组件围成第二安装空间，晶棒放置于第二安装空间，传动组件包括滚轮，滚轮能够与晶棒的周壁抵接，以驱动晶棒沿晶棒运输车的长度方向运动；
7.固定件，固定件安装于第一安装空间，且固定件的一部分伸入第二安装空间，以限制晶棒沿晶棒运输车的长度方向的运动；
8.其中，传动组件的数量为一个或多个，多个传动组件沿晶棒运输车的长度方向间隔设置，相邻传动组件之间具有第一间隙，第一间隙用于提供机械手抓取晶棒的空间，和/或，第一间隙能够便于固定件的至少部分伸入第一安装空间。
9.在本技术中，晶棒能够与固定件抵接，避免晶棒脱离晶棒运输车，从而提升晶棒运输车使用过程中的安全性。设置传动组件，能够减小推动晶棒所需要的力，从而降低推动晶棒的难度。
10.在一种可能的设计中，传动组件还包括安装架，安装架安装于车架，滚轮安装于安装架；
11.安装架设置有沿晶棒运输车长度方向延伸的第一安装槽，滚轮的至少部分伸出第一安装槽并与晶棒的周壁抵接；
12.沿晶棒运输车的宽度方向，多个第一安装槽间隔设置。
13.在一种可能的设计中，安装架具有沿晶棒运输车高度方向延伸的第一臂和第二臂，第一臂和第二臂沿晶棒运输车的宽度方向相对设置；
14.第一臂的侧壁和/或第二臂的侧壁能够限制晶棒沿晶棒运输车的宽度方向的运动。
15.在一种可能的设计中，第一臂包括第一本体部和第一延伸部，第一延伸部和所第一本体部存在夹角，且沿晶棒运输车的宽度方向，第一延伸部向远离第二臂的方向延伸；
16.第二臂包括第二本体部和第二延伸部，第二延伸部和第二本体部存在夹角，且沿晶棒运输车的宽度方向，第二延伸部向远离第一臂的方向延伸。
17.在一种可能的设计中，滚轮的轴线的延伸方向与晶棒运输车的宽度方向存在预设夹角。
18.在一种可能的设计中，车架设置有第二安装槽，第二安装槽沿晶棒运输车的高度方向延伸，固定件的至少部分位于第二安装槽内；
19.沿晶棒运输车的长度方向，车架具有相对设置的第一限位部和第二限位部，第一限位部和第二限位部围成第二安装槽。
20.在一种可能的设计中，第二安装槽的数量为多个，沿晶棒运输车的长度方向，多个第二安装槽间隔设置。
21.在一种可能的设计中，晶棒运输车还设置有驱动组件，驱动组件安装于第一安装空间；驱动组件能够驱动晶棒沿晶棒运输车的长度方向运动。
22.在一种可能的设计中，驱动组件包括驱动件和推杆，推杆的一端与驱动件连接，推杆的另一端伸入第二安装空间，以便于推杆与晶棒抵接；
23.沿晶棒运输车的长度方向，驱动件能够驱动推杆运动，以推动晶棒相对于晶棒运输车运动。
24.在一种可能的设计中，传动组件包括沿晶棒运输车的宽度方向相对设置的第一传动部和第二传动部，第一传动部和第二传动部之间具有第二间隙，推杆的至少部分穿过第二间隙。
25.应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性的，并不能限制本技术。
附图说明
26.图1为本技术所提供的晶棒运输车在一种具体实施例中的结构示意图；
27.图2为图1的另一视角的结构示意图；
28.图3为图1中i部分的放大图；
29.图4为图2中安装架的结构示意图；
30.图5为图1中车架的结构示意图；
31.图6为本技术所提供的晶棒运输车在另一种具体实施例中的结构示意图；
32.图7为图6的另一视角的结构示意图；
33.图8为图7的另一视角的结构示意图；
34.图9为图6中ii部分的放大图；
35.图10为图9中安装架的结构示意图；
36.图11为图6中车架的结构示意图；
37.图12为图11中iii部分的放大图；
38.图13为图6中驱动组件的结构示意图。
39.附图标记：
40.1-车架；
41.11-车轮；
42.12-第二安装槽；
43.13-操作部；
也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。
76.应当理解，本文中使用的术语“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，a和/或b，可以表示：单独存在a，同时存在a和b，单独存在b这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
77.需要注意的是，本技术实施例所描述的“上”、“下”、“左”、“右”等方位词是以附图所示的角度来进行描述的，不应理解为对本技术实施例的限定。此外，在上下文中，还需要理解的是，当提到一个元件连接在另一个元件“上”或者“下”时，其不仅能够直接连接在另一个元件“上”或者“下”，也可以通过中间元件间接连接在另一个元件“上”或者“下”。
78.在现有技术中，将晶棒运输车运输晶棒5的过程中，易发生晶棒5倾斜、脱落等风险，容易发生安全事故。
79.为解决上述问题，本技术提供一种晶棒运输车，如图1～图5所示，晶棒运输车包括：车架1，车架1设置有车轮11，以便于晶棒运输车的运动，沿晶棒运输车的高度方向z，晶棒运输车设置有第一安装空间14和第二安装空间24，车架1围成第一安装空间14；传动组件2，传动组件2安装于车架1，传动组件2围成第二安装空间24，晶棒5放置于第二安装空间24，传动组件2包括滚轮21，滚轮21能够与晶棒5的周壁抵接，以驱动晶棒5沿晶棒运输车的长度方向x运动；固定件3，固定件3安装于第一安装空间14，且固定件3的一部分伸入第二安装空间24，以限制晶棒5沿晶棒运输车的长度方向x的运动；其中，传动组件2的数量为一个或多个，多个传动组件2沿晶棒运输车的长度方向x间隔设置，相邻传动组件2之间具有第一间隙23，第一间隙23用于提供机械手抓取晶棒5的空间，和/或，第一间隙23能够便于固定件3的至少部分伸入第一安装空间14。
80.在本实施例中，当固定件3安装于第一安装空间14时，固定件3的一部分能够伸入第二安装空间24，在晶棒运输车工作过程中，晶棒5能够与固定件3抵接，避免晶棒5沿晶棒运输车的长度方向x运动导致晶棒5脱离晶棒运输车而引发安全问题，从而提升晶棒运输车使用过程中的安全性。将晶棒运输车上的晶棒5放到截断设备时，先拆除固定件3，再推动晶棒5沿晶棒运输车的长度方向x运动，由于晶棒5的周壁与滚轮21抵接，在晶棒5运动过程中，滚轮21能够绕自身轴线转动，从而使得晶棒5与滚轮21之间产生滚动摩擦，减小推动晶棒5所需要的力，从而降低推动晶棒5的难度。因此，固定件3能够降低晶棒5运输过程中移动甚至脱离晶棒运输车的风险，从而提升了晶棒运输车的使用安全性，通过传动组件2将晶棒5从晶棒运输车上推动至截断设备上，降低了晶棒5安装至截断设备的操作难度，并降低了将晶棒5安装至截断设备的过程中晶棒5晃动导致安装偏位甚至失败的风险，从而提升了晶棒5安装的准确性，进而提升了晶棒运输车的使用性能。
81.如图1所示，设置多个传动组件2，使得晶棒5沿晶棒运输车长度方向x运动时与传动组件2保持抵接，避免晶棒5的前端或后端失去传动组件2的支撑导致晶棒5倾斜而无法放置到截断设备上，从而提升了晶棒5与传动组件2连接的稳固性，并增加了晶棒5与截断设备连接的准确性和稳定性，同时，传动组件2的数量为多个，避免了传动组件2的尺寸过大导致的加工困难的问题，从而简化了传动组件2的加工工序，进而降低传动组件2的生产成本。如图3所示，多个传动组件2沿晶棒运输车的长度方向x间隔设置，使得相邻的传动组件2之间具有第一间隙23，当机械手抓取晶棒5时，第一间隙23能够容纳机械手，避免机械手与传动组件2干涉导致传动组件2损坏，同时增加了机械手的移动距离，使得机械手在晶棒5与传动
组件2接触后再取消对晶棒5的控制，从而避免了晶棒5从高处坠落至传动组件2上而导致传动组件2或晶棒5的损坏，从而延长了传动组件2的使用寿命，并提升了晶棒5的加工质量；同时，当固定件3安装于车架1时，第一间隙23能够容纳固定件3的一部分，避免固定件3与传动组件2干涉导致固定件3无法伸入第二安装空间24而无法限制晶棒5的运动，从而增加了固定件3工作的稳定性。
82.其中，固定件3与车架1可拆卸连接，以便于固定件3限制晶棒5的运动，并便于固定件3解除对晶棒5运动的限制，从而简化固定件3和车架1的结构。
83.此外，如图2所示，滚轮21的轴线的延伸方向与晶棒运输车的宽度方向y存在预设夹角。
84.在本实施例中，滚轮21倾斜设置，能够增加滚轮21与晶棒5之间的接触面积，避免晶棒5与滚轮21之间接触面积过小导致滚轮21局部受力而发生损坏，从而延长了滚轮21的使用寿命。
85.具体地，如图1、图2和图4所示，传动组件2还包括安装架22，安装架22安装于车架1，滚轮21安装于安装架22；安装架22设置有沿晶棒运输车长度方向x延伸的第一安装槽221，滚轮21的至少部分伸出第一安装槽221并与晶棒5的周壁抵接；沿晶棒运输车的宽度方向y，多个第一安装槽221间隔设置。
86.在本实施例中，安装架22设置有安装滚轮21的安装槽，能够便于滚轮21的安装，从而减少了滚轮21安装于安装架22所需要的零件的数量，使得传动组件2的尺寸降低，减小传动组件2安装所需要的空间，从而减小晶棒运输车的尺寸，增加了晶棒运输车的应用场景。沿晶棒运输车的宽度方向y，多个第一安装槽221间隔设置，使得传动组件2设置有多排滚轮21，在晶棒5沿晶棒运输车的长度方向x运动时，多排滚轮21能够避免晶棒5单侧受力导致晶棒5偏离而无法与滚轮21抵接，从而增加了晶棒5与滚轮21接触的稳固性，且增加了传动组件2工作的稳定性。
87.其中，如图3和图4所示，沿晶棒运输车的长度方向x，安装槽贯通安装架22，以便于安装槽的加工，从而降低安装架22的生产成本。
88.此外，如图4所示，安装架22具有沿晶棒运输车高度方向z延伸的第一臂222和第二臂223，第一臂222和第二臂223沿晶棒运输车的宽度方向y相对设置；第一臂222的侧壁和/或第二臂223的侧壁能够限制晶棒5沿晶棒运输车的宽度方向y的运动。
89.在本实施例中，当晶棒5放置于传动组件2上时，晶棒5的周壁能够与第一臂222和/或第二臂223抵接，放置晶棒5在运输过程中沿晶棒运输车的宽度方向y运动，从而增加了晶棒5放置于晶棒运输车上的稳固性，避免晶棒5晃动导致晶棒5或晶棒运输车损坏，且避免了晶棒5从晶棒运输车上掉落的风险，从而提升了晶棒5的加工质量，延长了晶棒运输车的使用寿命，并提升了晶棒运输车的使用安全性。
90.更具体地，如图4所示，第一臂222包括第一本体部222a和第一延伸部222b，第一延伸部222b和所第一本体部222a存在夹角，且沿晶棒运输车的宽度方向y，第一延伸部222b向远离第二臂223的方向延伸；第二臂223包括第二本体部223a和第二延伸部223b，第二延伸部223b和第二本体部223a存在夹角，且沿晶棒运输车的宽度方向y，第二延伸部223b向远离第一臂222的方向延伸。
91.在本实施例中，沿晶棒运输车的宽度方向y，第一延伸部222b向远离第二臂223的
方向延伸，第二延伸部223b向远离第一臂222的方向延伸，即第一延伸部222b和第二延伸部223b之间的沿晶棒运输车的宽度方向y的距离逐渐增加，当晶棒5的直径大于第一本体部222a和第二本体部223a之间的距离时，晶棒5能够与第一延伸部222b和/或第二延伸部223b抵接，以限制晶棒5沿晶棒运输车的宽度方向y的运动，使得晶棒运输车能够运送较大直径的晶棒5，从而增加了晶棒运输车的适用范围。同时，在机械手将晶棒5放置在传动组件2的过程中，第一延伸部222b和第二延伸部223b能够起到导向作用，从而简化了机械手放置晶棒5的操作，进而提升晶棒运输车的使用性能。
92.以上任一实施例中，如图1和图5所示，车架1设置有第二安装槽12，第二安装槽12沿晶棒运输车的高度方向z延伸，固定件3的至少部分位于第二安装槽12内；沿晶棒运输车的长度方向x，车架1具有相对设置的第一限位部15和第二限位部16，第一限位部15和第二限位部16围成第二安装槽12。
93.在本实施例中，固定件3安装于第二安装槽12内，且第一限位部15和第二限位部16能够限制固定件3沿晶棒运输车长度方向x的运动。需要固定晶棒5时，将固定件3插入第二安装槽12内，需要解除对晶棒5运动的限制时，将固定件3从第二安装槽12拔出。因此，设置第二安装槽12，简化了固定件3与车架1的连接方式，同时简化了固定件3与车架1的结构，降低固定件3和车架1的生产成本。
94.在本实施例中，固定件3为板状结构，从而进一步简化固定件3的结构。
95.更具体地，如图5所示，第二安装槽12的数量为多个，沿晶棒运输车的长度方向x，多个第二安装槽12间隔设置。
96.在本实施例中，第二安装槽12的数量为多个，当晶棒运输车运送不同长度的晶棒5时，用户可以根据晶棒5的长度调整固定件3在车架1上的安全位置，使得固定件3与晶棒5的尺寸匹配，避免晶棒5沿晶棒运输车的长度方向x晃动而撞击固定件3导致固定件3损坏，从而增加了晶棒5放置于晶棒运输车的稳固性，并延长了固定件3的使用寿命。
97.以上任一实施例中，将晶棒运输车上的晶棒5放到截断设备时，可以手动推动晶棒5沿晶棒运输车的长度方向x运动，也可以通过驱动组件4自动控制晶棒5运动。
98.其中，如图6所示，晶棒5沿晶棒运输车长度方向x相对设置的两个端面中，至少一个端面为锥形，因此，如图5和图11所示，固定件3上设置有通孔31，防止晶棒5的尖端与固定件3接触导致固定件3受力面积过小而发生损坏，从而延长固定件3的使用寿命。
99.具体地，如图6～图13所示，驱动组件4安装于第一安装空间14，驱动组件4能够驱动晶棒5沿晶棒运输车的长度方向x运动。
100.在本实施例中，通过驱动组件4控制晶棒5运动，简化了用户的操作，同时避免了用户手动推动晶棒5过程中的潜在风险，从而提升了晶棒运输车的使用安全性。
101.更具体地，如图6、图11和图13所示，驱动组件4包括驱动件41和推杆42，推杆42的一端与驱动件41连接，推杆42的另一端伸入第二安装空间24，以便于推杆42与晶棒5抵接；沿晶棒运输车的长度方向x，驱动件41能够驱动推杆42运动，以推动晶棒5相对于晶棒运输车运动。
102.在本实施例中，驱动件41通过推杆42控制晶棒5的运动，简化了驱动件41与晶棒5之间的连接形式，降低了驱动组件4的结构复杂程度，使得驱动组件4的安装空间减小，从而提升了驱动组件4的适用范围。其中，如图6和图11所示，沿晶棒运输车的长度方向x，推杆42
与晶棒5尾端的底壁抵接，驱动件41能够驱动推杆42向靠近截断设备的方向运动，从而将晶棒5推送至截断设备上。
103.其中，如图13所示驱动件41具有伸缩端，驱动件41通过控制伸缩端的伸长或缩短来控制推杆42沿晶棒运输车的长度方向x的运动。推杆42具有延伸部421，延伸部421沿晶棒运输车的长度方向x向靠近驱动件41的一侧延伸，即推杆42为倒z型结构，从而增加了晶棒运输车上可放置晶棒5的空间，在减小晶棒运输车尺寸的同时，增加了晶棒运输车可运送的晶棒5的长度。
104.此外，驱动件41还包括操作件43，操作件43通过涡轮装置44与驱动件41连接。在驱动组件4工作时，用户控制操作件43运动，操作件43通过涡轮装置44控制驱动件41的伸缩部411伸长或缩短，从而控制晶棒5的运动。设置操作件43，简化了用户的操作，设置涡轮装置44，简化了操作件43与驱动件41的连接方式，从而简化了驱动组件4的结构。
105.更具体地，如图10所示，传动组件2包括沿晶棒运输车的宽度方向y相对设置的第一传动部25和第二传动部26，第一传动部25和第二传动部26之间具有第二间隙27，推杆42的至少部分穿过第二间隙27。
106.在本实施例中，由于推杆42安装于第一安装空间14，且推杆42的一部分伸入第二安装空间24与晶棒5抵接，因此，在推杆42沿晶棒运输车的长度方向x运动的过程中，在传动组件2上设置第二间隙27能够避免推杆42与传动组件2干涉导致推杆42无法运动，从而提升了驱动组件4工作的稳定性，并避免了推杆42的损坏，从而延长了推杆42使用寿命。同理，如图11所示，围成第二安装槽12的第一限位部15和第二限位部16上均设置有避让孔，沿晶棒运输车的高度方向z，固定件3上的通孔31向下延伸，避免驱动组件4运动时固定件3余推杆42干涉，以便于驱动组件4的运动；将通孔31沿晶棒运输车的高度方向z向下延伸，避免在固定件3上开设多个孔，从而减少了固定件的加工工序，同时提升了固定件3的强度，从而延长了固定件3的使用寿命。
107.将传动组件2分体设置为第一传动部25和第二传动部26，第一传动部25和第二传动部26之间的间隙为第二间隙27，简化了传动组件2的结构，并增加了传动组件2的结构强度。
108.以上任一实施例中，车架1还设置有操作臂，用户可通过操作部13控制晶棒运输车的运动，以便于用户的操作。
109.以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，对于本领域的技术人员来说，本技术可以有各种更改和变化。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。