一种垂直湿法喷淋喷头平面摇摆机构的制作方法

1.本实用新型涉及显影喷淋装置领域，尤其涉及一种垂直湿法喷淋喷头平面摇摆机构。


背景技术：

2.现有技术中，垂直显影、喷淋湿法蚀刻机在主管路上安置多个喷头，喷头布局呈正三角均匀分布，带动喷淋架移动的移动驱动机构的运动方式为上下直线运动。然而，在实际应用中，由于药水湿法腐蚀不均匀，喷淋架的运动轨迹固定的问题，导致显影效果不佳，腐蚀的均匀性不高；另一方面，喷淋架只能进行垂直方向上的运动，无法同时实现水平和垂直方向上的运动，用户无法随意控制喷淋架的运动方向，实用性较低。
3.因此，现有技术存在缺陷，需要改进。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是克服现有技术的不足，提供一种垂直湿法喷淋喷头平面摇摆机构，解决现有技术中，喷淋腐蚀不均匀的问题；解决喷淋架无法同时进行水平和垂直方向上的运动，实用性较低的问题。
5.本实用新型的技术方案如下：一种垂直湿法喷淋喷头平面摇摆机构，包括：两对称设置的喷淋架、用于驱动所述喷淋架进行上下移动的z向移动驱动组件、顶板、安装在所述顶板上的x向移动驱动组件，所述z向移动驱动组件与所述x向移动驱动组件连接，所述喷淋架与所述z向移动驱动组件连接，所述喷淋架上设置有若干喷淋口；所述x向移动驱动组件用于驱动所述z向移动驱动组件、喷淋架进行x向移动。
6.进一步地，所述x向移动驱动组件包括：第一旋转驱动装置、与所述第一旋转驱动装置输出端连接的第一丝杆、与所述第一丝杆螺纹连接的第一移动座、设置在所述顶板上的第一滑轨、设置在所述第一滑轨上的第一滑块，所述第一移动座与所述第一滑块连接。
7.进一步地，所述z向移动驱动组件包括：安装于所述第一移动座上的固定座、设置在所述固定座上的第二旋转驱动装置、与所述第二旋转驱动装置输出端连接的同步组件、与所述同步组件连接的第二丝杆、与所述第二丝杆螺纹连接的第二移动座、设置在所述第二移动座上的若干定位轴。
8.进一步地，所述z向移动驱动组件还包括：设置在所述固定座上的第二滑轨、设置在所述第二滑轨上的第二滑块，所述第二移动座与所述第二滑块连接。
9.进一步地，所述顶板上设置有若干定位孔，所述定位轴设置在所述定位孔内；所述喷淋架与所述定位轴连接。
10.进一步地，所述同步组件包括：与所述第二旋转驱动装置输出端连接的第一同步轮、第二同步轮、套在所述第一同步轮和第二同步轮上的同步带，所述第二丝杆与所述第二同步轮连接。
11.进一步地，所述的一种垂直湿法喷淋喷头平面摇摆机构，还包括：两导向架、设置
在所述导向架上的连接板、与所述导向架连接的上导轮和下导轮，所述连接板与所述第一移动座连接，所述顶板的底部设置有与所述上导轮相配合的第三滑轨，所述导向架的底侧设置有与所述下导轮相配合的第四滑轨。
12.进一步地，所述喷淋架设置在所述导向架内，所述喷淋架的两侧上设置有导向件，所述导向件套在所述导向架上。
13.进一步地，所述导向件包括：固定板、可旋转地安装于所述固定板上的两滚轮。
14.进一步地，所述第一旋转驱动装置、第二旋转驱动装置均为伺服电机。
15.采用上述方案，本实用新型提供一种垂直湿法喷淋喷头平面摇摆机构，具有以下有益效果：
16.1、降低了直线运动的固定点震荡或药水浓度不均匀等导致的腐蚀不均匀的问题，提高喷淋腐蚀效果；
17.2、用户可根据喷淋需求，控制喷淋架的运动方向，以满足不同的生产需求，实用性强。
附图说明
18.图1为本实用新型的结构示意图；
19.图2为本实用新型另一角度的结构示意图；
20.图3为本实用新型的x向移动驱动组件的结构示意图；
21.图4为本实用新型的z向移动驱动机构、喷淋架、导向架的结构示意图；
22.图5为本实用新型的z向移动驱动机构的结构示意图。
23.其中：喷淋架1、喷淋口10、导向件11、固定板110、滚轮111、x向移动驱动组件2、第一旋转驱动装置20、第一丝杆21、第一移动座22、第一滑轨23、第一滑块24、z向移动驱动组件3、固定座30、第二旋转驱动装置31、第一同步轮32、第二同步轮33、同步带34、第二丝杆35、第二移动座36、定位轴37、第二滑轨38、第二滑块39、顶板4、定位孔40、导向架5、连接板50、上导轮51、下导轮52、第三滑轨53、第四滑轨54、待喷淋工件6。
具体实施方式
24.以下结合附图和具体实施例，对本实用新型进行详细说明。
25.请参照图1-图5，本实用新型提供一种垂直湿法喷淋喷头平面摇摆机构，包括：两对称设置的喷淋架1、用于驱动所述喷淋架1进行上下移动的z向移动驱动组件3、顶板4、安装在所述顶板4上的x向移动驱动组件2，所述z向移动驱动组件3与所述x向移动驱动组件2连接，所述喷淋架1与所述z向移动驱动组件3连接，所述喷淋架1上设置有若干喷淋口10，喷头设置在喷淋口10内；所述x向移动驱动组件2用于驱动所述z向移动驱动组件3、喷淋架1进行x向移动。将待喷淋工件6设置在两喷淋架1之间，喷淋过程中，通过x向移动驱动组件2驱动z向移动驱动组件3、喷淋架1进行x向移动，通过z向移动驱动组件3驱动喷淋架1进行z向移动，可同时进行两个方向的移动，使得喷淋轨迹可以为曲线、正圆、椭圆等，降低了直线运动的固定点震荡或药水浓度不均匀等导致的腐蚀不均匀的问题，提高喷淋腐蚀效果；另一方面，用户可根据喷淋需求，控制喷淋架1的运动方向，以满足不同的生产需求，实用性强。
26.具体地，在本实施例中，所述x向移动驱动组件2包括：第一旋转驱动装置20、与所
述第一旋转驱动装置20输出端连接的第一丝杆21、与所述第一丝杆21螺纹连接的第一移动座22、设置在所述顶板4上的第一滑轨23、设置在所述第一滑轨23上的第一滑块24，所述第一移动座22与所述第一滑块24连接。启动第一旋转驱动装置20，带动第一丝杆21旋转，第一移动座22与第一丝杆21发生相对位移，第一移动座22、第一滑块24在第一滑轨23上移动，从而带动z向移动驱动组件3、喷淋架1进行x向移动。
27.具体地，在本实施例中，所述z向移动驱动组件3包括：安装于所述第一移动座22上的固定座30、设置在所述固定座30上的第二旋转驱动装置31、与所述第二旋转驱动装置31输出端连接的同步组件、与所述同步组件连接的第二丝杆35、与所述第二丝杆35螺纹连接的第二移动座36、设置在所述第二移动座36上的若干定位轴37、设置在所述固定座30上的第二滑轨38、设置在所述第二滑轨38上的第二滑块39，所述第二移动座36与所述第二滑块39连接；具体地，所述同步组件包括：与所述第二旋转驱动装置31输出端连接的第一同步轮32、第二同步轮33、套在所述第一同步轮32和第二同步轮33上的同步带34，所述第二丝杆35与所述第二同步轮33连接；具体地，所述第一旋转驱动装置20、第二旋转驱动装置31均为伺服电机。所述z向移动驱动组件3的作用过程为：启动第二旋转驱动装置31，带动同步组件旋转，在同步组件的作用下，带动第二丝杆35旋转，第二移动座36与第二丝杆35发生相对位移，带动喷淋架1上下移动，实现喷淋架1的z向移动；所述顶板4上设置有若干定位孔40，所述定位轴37设置在所述定位孔40内，定位孔40可在z向移动驱动组件3进行x向移动过程中，起到定位导向的作用，同时可起到限位作用；所述喷淋架1与所述定位轴37连接。
28.具体地，在本实施例中，所述的一种垂直湿法喷淋喷头平面摇摆机构，还包括：两导向架5、设置在所述导向架5上的连接板50、与所述导向架5连接的上导轮51和下导轮52，所述连接板50与所述第一移动座22连接，所述顶板4的底部设置有与所述上导轮51相配合的第三滑轨53，所述顶板4的底部的两端上均设置有限位柱，该限位柱用于导向架5在x向上移动过程中的限位，所述导向架5的底侧设置有与所述下导轮52相配合的第四滑轨54；所述导向架5套在所述定位轴37上，所述定位轴37可以在导向架5上自由移动，所述喷淋架1设置在所述导向架5内，所述喷淋架1的两侧上设置有导向件11，所述导向件11套在所述导向架5上，所述导向件11包括：固定板110、可旋转地安装于所述固定板110上的两滚轮111。导向架5用于喷淋架1进行x向移动和z向移动的定位，进行x向移动时，由于导向架5上的连接板50与第一移动座22连接，因此可同步进行x向移动，在上导轮51和第三滑轨53、下导轮52与第四滑轨54的配合作用下，使得z向移动驱动组件3、喷淋架1在进行x向移动时，稳定性高；在进行z向移动时，导向件11上的两滚轮111与导向架5接触，可起到导向作用。
29.综上所述，本实用新型提供一种垂直湿法喷淋喷头平面摇摆机构，具有以下有益效果：
30.1、降低了直线运动的固定点震荡或药水浓度不均匀等导致的腐蚀不均匀的问题，提高喷淋腐蚀效果；
31.2、用户可根据喷淋需求，控制喷淋架的运动方向，以满足不同的生产需求，实用性强。
32.以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。