一种传感器单晶硅刻蚀装置的送气设备的制作方法

1.本发明涉及单晶硅刻蚀送气设备安全检测技术领域，具体涉及一种传感器单晶硅刻蚀装置的送气设备。


背景技术：

2.单晶硅刻蚀分干刻法和湿刻法，干刻法主要利用化学气体辉光放电而产生等离子薄膜刻蚀的一种技术，具有选择比高，分辨率高，操作灵活，安全，可实现自动化的优点。其中，在化学性刻蚀，也即等离子体刻蚀中，需要多种气体，经过射频作用形成等离子体，冲击硅表面，从而达到刻蚀的目的。现常用的刻蚀气体为六氟化硫(sf6)，是一种剧毒气体，并且对温室效果产生影响巨大，同时其化学结构稳定，不易分解，如果送气设备发生泄漏，将会出现安全隐患，故对送气设备进行实时的安全检测时必要的。
3.目前常见的对送气设备进行检测的方法为：仅通过压力检测器对送气设备进行检测，没有考虑其他因素对送气设备的质量的影响，对送气设备是否出现故障判断不够精准。


技术实现要素：

4.为了解决上述技术问题，本发明的目的在于提供一种传感器单晶硅刻蚀装置的送气设备，所采用的技术方案具体如下：
5.本发明一个实施例提供了一种传感器单晶硅刻蚀装置的送气设备，包括送气设备本体，还包括气体流量计、温度传感器、电子显微镜和处理器构成的检测系统；
6.所述气体流量计安装至所述送气设备的进气口，用于实时采集气体的实时气体占比向量和实时气压变化序列；所述温度传感器安装至所述送气设备的送气管道上，用于采集实时温度变化序列；所述电子显微镜与所述处理器无线连接，用于采集刻蚀结果向量；所述送气设备用于传输气体；
7.所述处理器与所述气体流量计、所述温度传感器、所述电子显微镜无线连接，用于同步获取实时气体占比向量、实时气压变化序列、实时温度变化序列和实时刻蚀结果向量；
8.根据所述实时温度变化序列中温度变化的差异性计算所述温度变化序列的实时稳定程度；获取工作时和空闲时的实时气压，构建实时气压向量；根据实时气压向量和标准气压向量的差异、实时温度和标准温度的差异、实时气压变化序列和标准变化序列的差异、实时稳定程度和标准稳定程度的差异、实时气体占比向量和标准气体占比向量的差异对送气设备的质量进行评估，得到质量安全性；
9.所述实时气体占比向量和标准气体占比向量的差异、实时刻蚀结果向量和标准刻蚀结果向量的差异的乘积为可靠性；
10.所述质量安全性和所述可靠性的乘积为送气设备的评价值。
11.优选的，所述根据所述实时温度变化序列中温度变化的差异性计算所述温度变化序列的实时稳定程度，包括：
12.获取所述实时温度变化序列中相邻两个实时温度的温度差均值；
13.所述实时稳定程度为以自然常数为底，以负的所述温度差均值为指数的幂函数。
14.优选的，所述获取所述实时温度变化序列中相邻两个实时温度的温度差均值，包括：
15.所述温度差均值的计算公式为：
[0016][0017]
其中，t
rc
为所述温度差均值；ti为所述实时温度变化序列中第i个实时温度；t
i-1
为所述实时温度变化序列中第i-1个实时温度；n为所述实时温度变化序列中实时温度的数量；abs(t
i-t
i-1
)为实时温度ti和实时温度t
i-1
的差值的绝对值。
[0018]
优选的，所述实时刻蚀结果向量的获取方法为：
[0019]
获取实时的刻蚀速率和刻蚀偏差；根据所述刻蚀速率和所述刻蚀偏差得到各向异性度和选择比，所述各向异性度和所述选择比构成实时刻蚀结果向量。
[0020]
优选的，所述根据实时气压向量和标准气压向量的差异、实时温度和标准温度的差异、实时气压变化序列和标准变化序列的差异、实时稳定程度和标准稳定程度的差异、实时气体占比向量和标准气体占比向量的差异对送气设备的质量进行评估，得到质量安全性，包括：
[0021]
根据实时气压向量和标准气压向量的差异、实时温度和标准温度的差异得到设备的第一稳定量；
[0022]
根据实时气压变化序列和标准气压变化序列的差异、实时稳定程度和标准稳定程度的差异以及所述第一稳定量得到第二稳定量；
[0023]
根据实时气压变化序列中相邻的气压值的差异值和温度变化序列的实时稳定程度得到第三稳定量；
[0024]
根据实时气体占比向量和标准气体占比向量的差异、所述第二稳定量和所述第三稳定量得到送气设备的质量安全性。
[0025]
优选的，所述根据实时气压向量和标准气压向量的差异、实时温度和标准温度的差异得到设备的第一稳定量，包括：
[0026]
计算所述实时气压向量和所述标准气压向量的第一余弦相似度；
[0027]
获取所述实时气压向量的向量模和所述标准气压向量的向量模的第一差值的绝对值；
[0028]
由所述第一余弦相似度、所述第一差值的绝对值、标准温度和实时温度的差异计算设备的第一稳定量。
[0029]
优选的，所述根据实时气压变化序列和标准气压变化序列的差异、实时稳定程度和标准稳定程度的差异以及所述第一稳定量得到第二稳定量，包括：
[0030]
利用动态时间规整算法计算所述实时气压变化序列和所述标准气压变化序列的规整距离；
[0031]
根据所述规整距离、所述第一稳定量、实时稳定程度和标准稳定程度的差异得到第二稳定量。
[0032]
优选的，所述根据实时气压变化序列中相邻的气压值的差异值和温度变化序列的实时稳定程度得到第三稳定量，包括：
[0033]
所述第三稳定量的计算公式为：
[0034][0035]
其中，t为所述实时气压变化序列中实时气压的总数量；gp
t
为实时气压变化序列中第t个实时气压；gp
t-1
为实时气压变化序列中第t-1个实时气压；为第t个实时气压及其之前的所有实时气压之和；为第t-1个实时气压及其之前的所有实时气压之和；abs(gp
t-gp
t-1
)为实时气压gp
t
和实时气压gp
t-1
的差值的绝对值；为温度变化序列的实时稳定程度。
[0036]
优选的，所述质量安全性和所述可靠性的乘积为送气设备的评价值，包括：
[0037]
对所述可靠性进行三次幂处理得到评价值权重；
[0038]
所述质量安全性和所述评价值权重相乘得到送气设备的评价值。
[0039]
本发明实施例至少具有如下有益效果：
[0040]
本发明实施例涉及单晶硅刻蚀送气设备安全检测技术，包括由气体流量计、温度传感器、电子显微镜和处理器构成检测系统。处理器与气体流量计、温度传感器、电子显微镜无线连接，用于同步获取实时气体占比向量、实时气压变化序列、实时温度变化序列和实时刻蚀结果向量；根据实时温度变化序列中温度变化的差异性计算温度变化序列的实时稳定程度；获取工作时和空闲时的实时气压，构建实时气压向量；根据实时气压向量和标准气压向量的差异、实时温度和标准温度的差异、实时气压变化序列和标准变化序列的差异、实时稳定程度和标准稳定程度的差异、实时气体占比向量和标准气体占比向量的差异对送气设备的质量进行评估，得到质量安全性，不仅通过气体压力的变化情况对送气管道的质量进行评估，还通过温度的稳定性、气体占比等多个因素对送气管道的质量进行评估；实时气体占比向量和标准气体占比向量的差异、实时刻蚀结果向量和标准刻蚀结果向量的差异的乘积为可靠性；质量安全性和可靠性的乘积为送气设备的评价值。本发明通过传感器单晶硅刻蚀装置的送气设备的检测系统对送气设备进行了检测评估，确保了送气设备的可靠性，保证了刻蚀结果的稳定性。
附图说明
[0041]
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案和优点，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它附图。
[0042]
图1为本发明一个实施例所提供的一种传感器单晶硅刻蚀装置的送气设备；
[0043]
图2为本发明一个实施例所提供的一种传感器单晶硅刻蚀装置的送气设备的检测系统的流程图；
[0044]
图3为本发明一个实施例所提供的获取送气设备的质量安全性的步骤流程图。
具体实施方式
[0045]
为了更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明提出的一种传感器单晶硅刻蚀装置的送气设备，其具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如下。在下述说明中，不同的“一个实施例”或“另一个实施例”指的不一定是同一实施例。此外，一或多个实施例中的特定特征、结构、或特点可由任何合适形式组合。
[0046]
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。
[0047]
一种传感器单晶硅刻蚀装置的送气设备，包括送气设备本体，还包括由气体流量计、温度传感器、电子显微镜和处理器构成的检测系统。
[0048]
在本实施例中，气体流量计安装于送气设备的进气口，通过送气设备的进气口处安装的气体流量计采集多个不同气体的流量和气压信息，以确定接入刻蚀装置气体的输出比例，并确定各个气体来路中的气体输入总管后得到的混合气体的占比比例，由此得到构成输入气体的气体占比向量，利用气体流量计对送气总管的其他进行检测，确定气压大小。在利用气体流量计对其他进行实时的检测时，采样频率为5hz。
[0049]
请参阅图1，一种传感器单晶硅刻蚀装置的送气设备，包括送气设备本体，还包括由气体流量计、温度传感器、电子显微镜和处理器构成的检测系统。
[0050]
气体流量计安装至送气设备的进气口，用于实时采集气体的实时气体占比向量和实时气压变化序列；温度传感器安装至送气设备的送气管道上，用于采集实时温度变化序列；电子显微镜与处理器无线连接，用于采集刻蚀结果向量；送气设备用于传输气体。处理器与气体流量计、温度传感器、电子显微镜无线连接，用于同步获取实时气体占比向量、实时气压变化序列、实时温度变化序列和实时刻蚀结果向量。
[0051]
处理器根据接收到的各个数据信息，执行如图2所示的一种传感器单晶硅刻蚀装置的送气设备的检测系统的流程图，具体步骤如下：
[0052]
步骤s100，同步获取实时气体占比向量、实时气压变化序列、实时温度变化序列和实时刻蚀结果向量。
[0053]
在刻蚀中，不同的气体组成会对最终的刻蚀效率有直接的影响。一般的化学性刻蚀中，所用的主要气体是六氟化硫(sf6)，以提供氟原子对单晶硅进行刻蚀，而加入一定量的氧气(o2)的情况下，可以实现高刻蚀选择性的各向异性刻蚀，如果再加入一定量的三氟甲烷(chf3)的情况下还可以获得平滑的刻蚀表面。因此不同的气体占比对最终的刻蚀效果有直接的影响。
[0054]
通过送气设备的进气口处安装的气体流量计采集多个不同气体的流量和气压信息，以确定接入刻蚀装置气体的比例。同时还确定各个气体来路中的气体输入总管后得到的混合气体的占比比例，由此得到构成输入气体的气体占比向量。
[0055]
利用气体流量计对送气总管的气压进行检测，确定气压大小，为了确保整个刻蚀过程的安全可靠，对该气压进行实时的监测，采样频率为5hz，即每0.2秒采样一次。得到气压变化序列，该气压变化序列对应的时间长度为1分钟。
[0056]
由于单晶硅刻蚀精度非常细小，普通的测量手段无法观测到具体的刻蚀结果，因此需要借助电子显微镜进行测量。在得到了实时气体占比向量和实时气压变化序列之后，
通过电子显微镜观测对应的实时刻蚀结果，获取刻蚀的各向异性度和选择比。具体的：
[0057]
获取实时的刻蚀速率和刻蚀偏差。根据刻蚀速率和刻蚀偏差得到各向异性度和选择比。
[0058]
该各向异性度af的计算公式为：
[0059][0060]
其中，v
横
为横向的刻蚀速率；v
纵
为纵向的刻蚀速率。
[0061]
选择比s
fn
的计算公式为：
[0062][0063]
其中，rf对薄膜的刻蚀速率；rn为对掩膜版或者衬底的刻蚀速率。
[0064]
由此得到该送气设备刻蚀单晶硅的实时刻蚀结果，由各向异性度和选择比构成实时刻蚀结果向量r＝{af，s
fm
}。
[0065]
进一步的，通过温度传感器采集送气设备的送气管道的温度，环境的温度变化不仅会对管内气压的大小产生影响，且还会对最终的刻蚀结果产生一定的影响。故采集送气设备的送气管道的环境温度，确定其对送气设备性能的影响。
[0066]
温度的采样频率和总管气压的采集频率保持一致，均为5hz，即每0.2秒采样一次。得到实时温度变化序列。该温度变化序列对应的时间长度为1分钟。
[0067]
步骤s200，根据实时温度变化序列中温度变化的差异性计算温度变化序列的实时稳定程度；获取工作时和空闲时的实时气压，构建实时气压向量；根据实时气压向量和标准气压向量的差异、实时温度和标准温度的差异、实时气压变化序列和标准变化序列的差异、实时稳定程度和标准稳定程度的差异、实时气体占比向量和标准气体占比向量的差异对送气设备的质量进行评估，得到质量安全性。
[0068]
根据实时温度变化序列中温度变化的差异性计算温度变化的实时稳定程度，具体的：获取实时温度变化序列中相邻两个实时温度的温度差均值，该温度差均值也即为温度变化序列的温度变化率。
[0069]
该温度差均值t
rc
的计算公式为：
[0070][0071]
其中，ti为实时温度变化序列中第i个实时温度；t
i-1
为实时温度变化序列中第i-1个实时温度；n为实时温度变化序列中实时温度的数量；abs(t
i-t
i-1
)为实时温度ti和实时温度t
i-1
的差值的绝对值。
[0072]
进一步，根据温度差均值对温度变化序列进行衡量，得到温度变化序列的实时稳定程度。该实时稳定程度是以自然常数e为底，以负的温度差均值为指数的幂函数。
[0073]
温度差均值越小，说明温度比较平稳，实时温度变化序列的中实时温度的变化越小，其对应的实时稳定程度越大，实时稳定程度的取值越接近于1；温度差均值越大，说明温度发生波动，其对应的实时稳定程度越小，实时稳定程度的取值越接近于0。
[0074]
送气设备在对刻蚀装置上气的过程中，气压的大小应该是一个平稳的过程，如果
出现管道破裂，则气压会缓缓降低，其气压会低于常规大小；如果出现管道堵塞，其气压会高于常规大小。
[0075]
首先根据一个确知安全的送气设备，测量其工作时的气压大小和空闲时的气压大小，即得到了标准的工作时气压和空闲时气压，构建标准气压向量。需要说明的是，该测量得到的标准的工作时气压和空闲时气压均为送气稳定后的大小。
[0076]
获取该确知安全的送气设备从启动到稳定过程对应的气压变化序列，记为标准气压变化序列。同时，利用温度传感器采集正常工作下的送气设备的送气管道的温度作为标准温度。
[0077]
获取标准气压变化序列的步骤，具体的：对于稳定状态的确定，要对管内气压大小的变化进行衡定，即对气压变化序列进行衡定。
[0078]
根据确知安全的送气设备的气压变化序列，获取其对应的正常稳定量。
[0079]
该正常稳定量s
′
的计算公式为：
[0080][0081]
其中，gp
t
为安全的送气设备的实时气压变化序列中第t个实时气压；gp
t-1
为安全的送气设备的实时气压变化序列中第t-1个实时气压；为第t个实时气压及其之前的所有实时气压之和；为第t-1个实时气压及其之前的所有实时气压之和；abs(gp
t-gp
t-1
)为实时气压gp
t
和实时气压gp
t-1
的差值的绝对值。
[0082]
当正常稳定量的大小为1且保持在5个测量单位内不变时，即可认为当前送气管道内气压已经稳定，记录下当前的稳定时刻t
′
。获取稳定时刻t
′
之前的气压变化序列为标准气压变化序列。
[0083]
利用气体流量计实时获取工作时和空闲时的实时气压，构建实时气压向量。需要说明的是，实时获取的工作时和空闲时两种情况下的气压，除了工作状态不同之外其他的温度等之类的外界环境均相同。
[0084]
对一个运行状态的送气设备，对其送气的安全性进行评估。
[0085]
请参阅图3，获取送气设备的质量安全性的步骤，具体的：
[0086]
步骤s210，根据实时气压向量和标准气压向量的差异、实时温度和标准温度的差异得到设备的第一稳定量。
[0087]
计算实时气压向量和标准气压向量的第一余弦相似度。
[0088]
获取实时气压向量的向量模和标准气压向量的向量模的第一差值的绝对值。
[0089]
由第一余弦相似度、第一差值的绝对值、标准温度和实时温度的差异计算设备的第一稳定量。
[0090]
该第一稳定量s1的计算公式为：
[0091][0092]
其中，similarity(gp
测
，gp
标
)为第一余弦相似度；gp
测
为实时气压向量；gp
标
为标准气压向量；abs(|gp
测
|-|gp
标
|）为第一差值的绝对值；|gp
测
|为实时气压向量的向量模；|gp
标
|
为标准气压向量的向量模；tw
测
为实时温度；tw
标
为标准温度；abs(tw
测-tw
标
)为实时温度和标准温度的差值的绝对值；e为自然常数。
[0093]
该第一稳定量的计算公式中第一余弦相似度为实时送气设备和标准送气设备之间气压的相近性。该比较过程均为稳定时刻，即稳定工作一段时间或者空闲一段时间之后的量。
[0094]
实时得到的实时气压向量与标准气压向量越相似，则该送气设备越稳定；得到的实时温度与标准温度越接近，则该送气设备也越稳定。第一稳定量越趋近于1，则该送气设备越稳定。该第一稳定量是对实时测得到实时气压向量和标准气压向量进行一一对比得到测量时刻送气设备的稳定性。
[0095]
步骤s220，根据实时气压变化序列和标准气压变化序列的差异、实时稳定程度和标准稳定程度的差异以及第一稳定量得到第二稳定量。
[0096]
在步骤s210的基础上，进一步的，对送气设备的整个运行过程进行比较，确定当前变化过程的稳定性，从而更进一步的说明送气设备运行情况的安全性。
[0097]
利用动态时间规整算法计算实时气压变化序列和标准气压变化序列的规整距离。
[0098]
根据规整距离、第一稳定量、实时稳定程度和标准稳定程度的差异得到第二稳定量。
[0099]
第二稳定量s2的计算公式为：
[0100][0101]
其中，dtw(gp
测
，gp
标
)为规整距离；gp
测
为实时气压变化序列；gp
标
为标准气压变化序列；为实时稳定程度；为标准稳定程度；为实时稳定程度和标准稳定程度的差值的绝对值；s1为第一稳定量。
[0102]
其中，气压变化序列是随时间而变化的序列，实时气压变化序列gp
测
是从送气设备启动开始到测量时刻的整个气压变化序列。
[0103]
在第二稳定量中引入实时稳定程度和标准稳定程度是因为温度的变化同样能够影响到气压的变化，故引入温度的变化因素对气压的变化进行修正。
[0104]
第二稳定量表示当前送气设备的气压和温度变化相较于正常设备在整体工作时气压和温度变化的相近程度，当两者越相近，则表示当前送气设备的工作状态正常，则对应的第二稳定量的值越接近于0；反之，两者越不相近，则表示当前送气设备的工作状态不趋近于标准，即工作状态不正常，对应的第二稳定量的值越接近于1。
[0105]
步骤s230，根据实时气压变化序列中相邻的气压值的差异值和温度变化序列的实时稳定程度得到第三稳定量。
[0106]
实时气压变化序列中相邻的气压值的差异值越大，则反映送气管道内气压越不稳定，则对应的送气管道的密封性较差。同样的温度变化序列的稳定程度也会影响送气管道的密封性。
[0107]
第三稳定量s3的计算公式为：
[0108][0109]
其中，t为实时气压变化序列的中实时气压的总数量；gp
t
为实时气压变化序列中第t个实时气压；gp
t-1
为实时气压变化序列中第t-1个实时气压；为第t个实时气压及其之前的所有实时气压之和；为第t-1个实时气压及其之前的所有实时气压之和；abs(gp
t-gp
t-1
)为实时气压gp
t
和实时气压gp
t-1
的差值的绝对值；为温度变化序列的实时稳定程度。
[0110]
如果管道密封性良好，则气压大小几乎保持不变，即当前时刻和前一时刻的气压差值大小几乎为零，并且均值差同样接近于零，从而使得第三稳定量的大小保持为1。如果气压发生变化，则第三稳定量会小于1，当前时刻的气压和前一时刻的气压的变化程度越大，其大小越接近于0。
[0111]
通过对该送气设备的气压变化的稳定性进行评价，确定送气管道的第三稳定量，第三稳定量的取值越接近于1，其送气管道密闭程度越高，送气管道越稳定；第三稳定量的取值越接近于0，其送气管道密闭程度越低，送气管道越不稳定。
[0112]
第三稳定量反映了送气设备的送气管道的密封性。
[0113]
步骤s240，根据实时气体占比向量和标准气体占比向量的差异、第二稳定量和第三稳定量得到送气设备的质量安全性。
[0114]
当实时气体占比向量与标准气体占比向量的差异越大，则当前状态下送气设备质量越差，对应的得到的质量安全性的取值越小；当实时气体占比向量与标准气体占比向量的差异越小，则当前状态下送气设备质量越好，对应的得到的质量安全性的取值越大。同时，第一稳定程度和第二稳定程度也会影响送气设备的质量安全性。
[0115]
该质量安全性qs的计算公式：
[0116][0117]
其中，s2为第二稳定量；s3为第三稳定量；gas
测
为实时气体占比向量；gas
设
为标准气体占比向量；similarity(gas
测
，gas
设
)为实时气体占比向量和标准气体占比向量的余弦相似度；|gas
测
|为实时气体占比向量的向量模；|gas
设
|为标准实时气体占比向量的向量模；abs(|gas
测
|-|gas
设
|）为实时气体占比向量的向量模和标准实时气体占比向量的向量模的差值的绝对值。
[0118]
需要说明的是，标准气体占比向量是预先设定好的，当实时气体占比向量和标准气体占比向量的比例出现较大差异时，表示当前送气设备出现某些故障，对应的质量安全性会变小。
[0119]
步骤s300，实时气体占比向量和标准气体占比向量的差异、实时刻蚀结果向量和标准刻蚀结果向量的差异的乘积为可靠性。
[0120]
实时气体占比向量和标准气体占比向量的差异、实时刻蚀结果向量和标准刻蚀结果向量的差异、第一稳定量的乘积为可靠性。
[0121]
影响单晶硅刻蚀结果的因素主要是充入气体的成分和气压大小，以及射频功率大小。在本发明实施例中默认射频大小为正常水准，对最终结果不会产生影响。故根据气体的气体占比向量，也即充入气体的成分构成、气压的大小和刻蚀结果来确定当前刻蚀的可靠性。
[0122]
可靠性m的计算公式为：
[0123]
m＝similarity(gas
测
，gas
设
)*similarity(r
测
，r
设
)*s1[0124]
其中，similarity(gas
测
，gas
设
)为实时气体占比向量和标准气体占比向量的余弦相似度；gas
测
为实时气体占比向量；gas
设
为标准气体占比向量；r
测
为实时刻蚀结果向量；r
测
为标准刻蚀结果向量；similarity(r
测
，r
设
)为实时刻蚀结果向量和标准刻蚀结果的余弦相似度；s1为第一稳定量。
[0125]
在该可靠性的计算公式中加入第一稳定量的目的是为了能够进一步确定气压的因素对刻蚀结果的影响情况，特别是送气设备稳定时的气压大小。
[0126]
需要说明的是，标准刻蚀结果向量是预先设定好的，是在正常可信的设备在工作稳定的情况下得到的刻蚀结果向量。
[0127]
通过和正常可信的设备工作稳定时的标准气压大小、标准气压变化序列和标准的刻蚀结果向量进行比较，得到两者之间的差异，并由此作为对最终刻蚀的可靠性进行修正。
[0128]
步骤s400，质量安全性和可靠性的乘积为送气设备的评价值。
[0129]
根据步骤s300得到送气设备的质量安全性和可靠性计算送气设备的评价值。
[0130]
对可靠性进行三次幂处理，得到评价值权重。其目的是为了加强送气设备对刻蚀结果的影响权重。
[0131]
质量安全性和评价值权重相乘得到送气设备的评价值。
[0132]
该评价值c的计算公式为：
[0133]
c＝qs*m3[0134]
其中，qs为质量安全性；m为可靠性。
[0135]
根据该评价值对送气设备进行检查维护。具体的：
[0136]
如果评价值大于0.9，说明当前送气设备非常可靠，不需要进行检查；如果评价值的取值在(0.8,0.9]之间，则说明当前送气设备比较可靠，但需要定期进行检查维护；如果评价值的取值在小于等于0.8，说明当前送气设备不太可靠，需要立即进行维护操作。
[0137]
综上所述，本发明实施例涉及单晶硅刻蚀送气设备安全检测技术，包括由气体流量计、温度传感器、电子显微镜和处理器构成检测系统。处理器与气体流量计、温度传感器、电子显微镜无线连接，用于同步获取实时气体占比向量、实时气压变化序列、实时温度变化序列和实时刻蚀结果向量；根据实时温度变化序列中温度变化的差异性计算温度变化序列的实时稳定程度；获取工作时和空闲时的实时气压，构建实时气压向量；根据实时气压向量和标准气压向量的差异、实时温度和标准温度的差异、实时气压变化序列和标准变化序列的差异、实时稳定程度和标准稳定程度的差异、实时气体占比向量和标准气体占比向量的差异对送气设备的质量进行评估，得到质量安全性；实时气体占比向量和标准气体占比向量的差异、实时刻蚀结果向量和标准刻蚀结果向量的差异、第一稳定量的乘积为可靠性；质量安全性和可靠性的乘积为送气设备的评价值。本发明通过传感器单晶硅刻蚀装置的送气设备的检测系统对送气设备进行了检测评估，确保了送气设备的可靠性，保证了刻蚀结果
的稳定性。
[0138]
需要说明的是：上述本发明实施例先后顺序仅仅为了描述，不代表实施例的优劣。且上述对本说明书特定实施例进行了描述。其它实施例在所附权利要求书的范围内。在一些情况下，在权利要求书中记载的动作或步骤可以按照不同于实施例中的顺序来执行并且仍然可以实现期望的结果。另外，在附图中描绘的过程不一定要求示出的特定顺序或者连续顺序才能实现期望的结果。在某些实施方式中，多任务处理和并行处理也是可以的或者可能是有利的。
[0139]
本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处。
[0140]
以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。