一种片盒及片盒定位装置的制作方法

1.本发明涉及光刻技术领域，尤其涉及一种片盒及片盒定位装置。


背景技术：

2.在光刻机等众多半导体设备中，需要通过传输系统快速、准确、可靠地传输基底或硅片等物料，以提高生产效率、加工精度和生产工序流畅性。随着集成电路制造行业技术不断发展，光刻机能够处理的硅片种类及尺寸越来越多，从而要求传输系统可以兼容处理不同尺寸的物料。
3.光刻机能够处理的物料包括圆片及方片，其中方片尺寸类型多种多样，主要包括50
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200等多种尺寸。方片尺寸的多样性导致用于存放方片的片盒尺寸也多种多样，导致传输系统对不同尺寸片盒的定位和检测难度增大。
4.现有技术提供了一种兼容不同基板装载的装载机构，其包括加载装置、装载治具、片盒及传感器，加载装置包括承载台，承载治具设置在承载台上，待加工的不同尺寸的晶圆分别设置于不同的片盒中，装有不同尺寸晶圆的片盒分别设置于加载装置的承载台和装载治具上。
5.现有技术提供的装载机构，虽然能够兼容两种不同尺寸的片盒的设置，但在使用过程中，从一种片盒的加载切换到另一种片盒的加载时，需要进行装载治具在承载台上的安装和拆卸，降低装载效率，从而导致传输系统对硅片的处理效率降低；且该种装载机构，难以实现多种尺寸片盒的兼容。


技术实现要素：

6.本发明的第一个目的在于提供一种片盒，提高片盒在片盒定位装置中的定位便利性和兼容性。
7.本发明的第二个目的在于提供一种片盒定位装置，能够兼容多种尺寸的片盒的定位和装载。
8.为实现上述目的，本发明采用下述技术方案：
9.一种片盒，所述片盒开设有容纳基底的容纳槽，所述片盒的底部沿x方向贯通设置有避让槽，所述避让槽的槽底凸设有定位条，所述片盒具有与所述x方向垂直的定位面，所述容纳槽具有贯通所述定位面的槽口，所述基底能通过所述槽口进入或退出所述容纳槽。
10.作为一种片盒的优选技术方案，所述定位条沿y方向设置，所述y方向与所述x方向垂直，且所述定位面与xy平面垂直；或所述定位条的高度小于或等于所述避让槽的槽深。
11.作为一种片盒的优选技术方案，所述片盒上设置有一个所述定位条，或所述片盒沿垂直于所述定位条的长度方向间隔设置有至少两个所述定位条；
12.所述避让槽内设置有挡块，且每个所述定位条沿其长度方向的两端外侧均有所述挡块，且同一所述定位条两端的两个所述挡块之间的最小距离为l；
13.对于设置有至少两个所述定位条的片盒，不同所述定位条对应的l值不同；
14.对于任意两个不同规格的所述片盒，其中一个所述片盒至少存在一个l值与另一所述片盒上所有所述定位条对应的l值均不同。
15.一种片盒定位装置，用于定位上述的片盒，且所述片盒定位装置包括承载板，所述承载板上沿所述x方向设置有至少两个定位槽，不同规格的所述片盒的所述定位条能插入设定的所述定位槽中，且不同规格的所述片盒对应的设定定位槽不完全相同，所述定位槽沿所述x方向的槽宽等于对应所述定位条沿所述x方向的宽度；
16.所述片盒定位装置具有与所述x方向垂直的检测面，当所述片盒装载在所述承载板上时，所述检测面与所述定位面重合。
17.作为一种片盒定位装置的优选技术方案，所述片盒上设置有m个所述定位条，所述m为大于0且小于n的整数，m个所述定位条能分别插入m个设定的所述定位槽中；
18.所述承载板上的所述定位槽的槽宽沿远离所述检测面的方向逐渐增大，所述定位槽的槽长沿远离所述检测面的方向逐渐减小；或，所述定位槽的槽宽沿远离所述检测面的方向逐渐减小，所述定位槽的槽长沿远离所述检测面的方向逐渐增大；任一所述定位条的长度与设定定位槽的槽长相等，任一所述定位条的宽度与设定定位条的槽宽相等。
19.作为一种片盒定位装置的优选技术方案，所述承载板的上表面凸设有n个x向定位块，所述n为大于或等于3的整数，n个所述x向定位块沿所述x方向平行且间隔设置，相邻两个所述x向定位块之间形成所述定位槽。
20.作为一种片盒定位装置的优选技术方案，n个所述x向定位块沿所述y方向的长度沿远离所述检测面的方向逐渐增加。
21.作为一种片盒定位装置的优选技术方案，n个所述x向定位块沿所述y方向的长度沿远离所述检测面的方向逐渐增大；
22.所述片盒上设置有m个所述定位条，所述m为大于0且小于n的整数，m个所述定位条能分别插入m个设定的所述定位槽中；
23.每一所述定位条沿其长度方向的两端均设置有挡块，所述挡块位于所述避让槽内，且同一所述定位条两端的两个所述挡块之间的最小距离为l；
24.对于任一所述定位条，若形成该所述定位条设定的所述定位槽的两个所述x向定位块中，靠近所述检测面的一个所述x向定位块的长度为l1，另一个所述x向定位块的长度为l2，则该所述定位条对应的l值大于或等于l1且小于l2。
25.作为一种片盒定位装置的优选技术方案，每个所述定位槽的槽底均设置有片盒检测传感器，所述片盒检测传感器用于检测对应所述定位槽中是否插入有所述定位条。
26.作为一种片盒定位装置的优选技术方案，所述承载板上设置有y向定位结构，所述y向定位结构用于定位所述片盒在所述承载板上的y向位置。
27.作为一种片盒定位装置的优选技术方案，所述片盒定位装置还包括：
28.调节底板，所述调节底板相对且间隔设置在所述承载板的下方；
29.水平调节组件，设置在所述调节底板和所述承载板之间，用于实现所述承载板相对所述调节底板的绕所述x方向和/或绕y方向的转动调节。
30.作为一种片盒定位装置的优选技术方案，所述水平调节组件沿所述承载板的周向间隔设置有多组，所述水平调节组件包括：
31.调节螺栓，所述承载板和所述调节底板采用竖直设置的调节螺栓连接；
32.弹性件，套设在所述调节螺栓上，且位于所述承载板和所述调节底板之间。
33.作为一种片盒定位装置的优选技术方案，所述调节底板垂直连接有竖直设置的定位销，所述调节底板通过所述定位销与设置所述片盒定位装置的工作台转动连接。
34.作为一种片盒定位装置的优选技术方案，所述承载板和所述调节底板均呈d字形结构，构成所述d字形结构的竖边与所述检测面平行，构成所述d字形结构的圆弧部分对应的圆心位于所述定位销的中心轴线上。
35.作为一种片盒定位装置的优选技术方案，所述片盒定位装置还包括：凸片传感器，所述凸片传感器相对所述承载板固定，所述凸片传感器用于检测位于所述容纳槽中的所述基底是否凸出所述定位面。
36.一种基底传输系统，包括如上所述片盒定位装置和所述片盒。
37.一种光刻系统，包括如上所述的基底传输系统。
38.本发明的有益效果在于：
39.本发明提供的片盒，通过在避让槽的槽底设置定位条，可以实现通过定位条和片盒定位装置上的槽结构配合实现片盒在片盒定位装置上的定位，且定位条的尺寸和定位位置，不会受到片盒尺寸的影响，从而可以使多种尺寸的片盒均可以采用定位条与槽结构配合的形式实现在片盒定位装置上的定位；通过设置沿x方向贯通的避让槽，将定位条设置在避让槽的槽底，可以在片盒定位装置上设置有多个槽结构用于定位不同尺寸的片盒时，多个槽结构的设置也不会对片盒片盒定位装置上的设置造成干涉。
40.本发明提供的片盒定位装置，通过设置与片盒上的定位条相适配的定位槽，使特定尺寸的片盒设置在定位槽后，检测面与定位面重合，能够实现片盒在片盒定位装置上的x向定位；且由于采用定位条与定位槽配合定位的形式，定位条设置在片盒的底部，片盒的避让槽沿x方向贯通片盒设置，使片盒定位装置中的定位槽能够位于避让槽沿y方向的相邻两槽壁之间，从而使某一尺寸片盒对应的避让槽的设置不会与其他尺寸片盒在承载板上的设置相干涉，使片盒定位装置能够适用于多种尺寸片盒的设置。
41.本发明提供的基底传输系统，通过采用上述的片盒和片盒定位装置，能够实现基底传输系统对不同尺寸基底的传输，提高基底传输系统对不同尺寸基底的兼容性和传输效率。
42.本发明提供的光刻系统，通过采用上述的基底传输系统，能够提高光刻系统对不同尺寸基底的处理能力和处理效率。
附图说明
43.图1是本发明实施例一提供的基底传输系统的结构示意图；
44.图2是本发明实施例一提供的片盒在第一视角下的结构示意图；
45.图3是本发明实施例一提供的片盒在第二视角下的结构示意图；
46.图4是本发明实施例一提供的片盒定位装置与一种尺寸的片盒的配合示意图；
47.图5是本发明实施例一提供的片盒定位装置与另一种尺寸的片盒的配合示意图；
48.图6是本发明实施例一提供的片盒定位装置与又一种尺寸的片盒的配合示意图；
49.图7是本发明实施例提供的片盒定位装置的背面结构示意图；
50.图8是本发明实施例二提供的片盒定位装置与一种尺寸的片盒的配合示意图。
51.图中标记如下：
52.1、片盒；11、安装侧框；111、固定框；1111、固定竖板部；1112、固定横板部；112、承载框；1121、连接板部；1122、搭载板部；113、限位板；114、容纳槽；115、定位面；12、顶板；13、底板；14、定位条；15、挡块；151、导向斜面；16、避让槽；
53.2、片盒定位装置；21、承载板；211、弧形避让孔；22、调节底板；221、弧形安装孔；222、减重孔；23、x向定位块；231、定位槽；24、y向定位块；241、第一y向定位块；242、第二y向定位块；243、第三y向定位块；25、水平调节组件；251、调节螺栓；252、弹性件；26、螺纹连接件；27、片盒检测传感器；28、凸片传感器；29、前挡板；291、导向板部；292、固定板部；210、定位销；220、定位标识；
54.3、基底。
具体实施方式
55.下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。
56.在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
57.在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
58.在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
59.图1为本发明实施例提供的基底传输系统的结构示意图，如图1所示，本实施例提供了一种基底传输系统，其可应用于光刻系统或者其他半导体加工系统中，在基底3加工或传输过程中，对硅片、玻璃等片状基底3进行定位、检测和传输。基底传输系统包括片盒1和片盒定位装置2，片盒1用于承载基底3，片盒定位装置2用于定位和检测片盒1，保证片盒1的设置位置精度，从而实现对基底3的快速、准确传输。
60.在本实施例中，基底3主要指方片状的硅基底，硅基底的尺寸有多种，可以为50
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200等光刻系统中常用的尺寸，也可以为其他尺寸，本发明对基底3的具体尺寸不做具体限制。
61.为方便后续描述，以图1所示方向建立坐标系，其中，x方向为基底3的长度方向，y
方向为基底3的宽度方向，z方向为基底3的厚度方向，x、y和z满足右手法则。
62.图2是本发明实施例一提供的片盒在第一视角下的结构示意图，图3是本发明实施例一提供的片盒在第二视角下的结构示意图，如图2和3所示，片盒片盒1具有容纳基底3的容纳槽114，片盒1的底部沿第x方向贯通设置有避让槽16，避让槽16的槽底凸设有定位条14，定位条14的高度小于或等于避让槽16的槽深；片盒1具有与x方向垂直的定位面115，容纳槽114具有贯通定位面115的槽口，基底3能通过槽口进入或退出容纳槽114。
63.本实施例提供的片盒1，通过在避让槽16的槽底设置定位条14，可以实现通过定位条14和片盒定位装置2上的槽结构配合实现片盒1在片盒定位装置2上的定位，且定位条14的尺寸和定位位置，不会受到片盒1尺寸的影响，从而可以使多种尺寸的片盒1均可以采用定位条14与槽结构配合的形式实现在片盒定位装置2上的定位；通过设置沿第一方向贯通的避让槽16，将定位条14设置在避让槽16的槽底，可以在片盒定位装置2设置有多个槽结构用于定位不同尺寸的片盒1时，多个槽结构的设置也不会对片盒1在片盒定位装置2上的设置造成干涉。
64.优选地，定位条14沿y方向延伸，可以更好地提高片盒1在片盒定位装置2上的定位准确性，且更加有利于片盒定位装置2上的槽结构的设置。
65.在本实施例中，由于基底3为方片状结构，片盒1大致呈六面体结构，六面体结构的一个侧面与yz平面平行并形成定位面115。可以理解的是，当基底3为圆形或者其他形状时，片盒1和/或容纳槽114的外形可以根据基底3的形状进行更改。
66.容纳槽114沿x方向贯通片盒1的相对两侧，且片盒1于容纳槽114远离定位面115的一端开口处设置有防止基底3脱出的限位结构。优选地，容纳槽114沿x方向的尺寸等于基底3沿x方向的尺寸，以使基底3搭设在容纳槽114中时，基底3远离定位面115的一端抵靠在限位结构上，基底3朝向定位面115的一端与定位面115重合，实现基底3在片盒1中的位置定位，方便用于抓取基底3的机械手片叉能够快速、准确地对基底3进行抓取。
67.进一步地，片盒1包括相对且间隔设置两个安装侧框11、连接于两个安装侧框11顶部的顶板12及连接于两个安装侧框11底部的底板13，顶板12和底板13均与安装侧框11可拆卸连接，每个安装侧框11朝向另一安装侧框11的一侧沿x方向开设有凹槽，两个安装侧框11的凹槽的槽口相对设置且共同形成容纳槽114。该种设置方式，能够简化片盒1的加工，降低对片盒1整体加工精度的要求，且能够有效减轻片盒1的重量；同时，该种设置，能够通过调节两个安装侧框11之间的距离，以适用x方向尺寸相同而y方向尺寸不同的基底3，提高片盒1的模块化设置，降低片盒1的加工和设计成本。在其他实施例中，片盒1也可以呈整体式结构。
68.更进一步地，每个安装侧框11均包括可拆卸连接的固定框111、承载框112及限位板113，固定框111呈f型结构，其包括构成f型结构竖边的固定竖板部1111和构成f型结构横边的两个固定横板部1112，固定竖板部1111与xz平面平行，固定横板部1112与xy平面平行，且固定横板部1112位于固定竖板部1111朝向另一安装侧框11的一侧。
69.承载框112设置在两个固定横板部1112之间，且承载框112包括竖直设置的连接板部1121和与沿z方向平行且均匀间隔设置在连接板部1121上的搭载板部1122，连接板部1121与固定竖板部1111贴合且连接，搭载板部1122与连接板部1121垂直且相邻两个搭载板部1122之间形成上述凹槽，位于容纳槽114的基底3搭设在位于对应凹槽下方的搭载板部
1122上，且承载框112最上侧和最下侧的两个搭载板部1122分别与固定横板部1112可拆卸连接。
70.限位板113位于凹槽的一端开口处且与固定框111可拆卸连接，限位板113形成限制基板脱出容纳槽114的限位结构。在本实施例中，限位板113与yz平面平行，且限位板113的高度大于承载框112的高度，以使位于同一侧的凹槽共用一个限位板113进行限位，简化结构。
71.上述设置，通过将安装侧框11设置成可拆卸连接的固定框111、承载框112和限位板113，可以在保证承载框112的两侧侧面的加工精度的同时，降低对固定框111和限位板113的加工精度要求，提高安装侧框11的加工便利性，降低安装侧框11的加工成本。同时，可以通过在不改变其他结构的基础上，更改承载框112上搭载板部1122的数量，获得具有不同凹槽高度的安装侧框11，以适配不同的基底3传输需求，提高片盒1的使用灵活性和使用通用性。在其他实施例中，安装侧框11也可以采用一体式结构。
72.顶板12设置在安装侧框11的顶部且与安装侧框11可拆卸连接，底板13设置在两个安装侧框11之间，且底板13与位于下侧的固定横板部1112可拆卸连接。在本实施例中，底板13高于安装侧框11的底面，底板13与两个安装侧框11之间形成有上述的避让槽16，定位条14设置在底板13的下表面上。
73.图4是本发明实施例一提供的片盒定位装置与一种尺寸的片盒的配合示意图，图5是本发明实施例一提供的片盒定位装置与另一种尺寸的片盒的配合示意图，图6是本发明实施例一提供的片盒定位装置与又一种尺寸的片盒的配合示意图，如图1及图4-6可知，片盒定位装置2包括沿xy平面设置的承载板21，承载板21沿x方向平行间隔设置有至少两个定位槽231，定位槽231沿x方向的槽宽等于定位条14沿x方向的尺寸；不同规格的片盒1的定位条14可以插设在设定的定位槽231中，且不同规格的所述片盒1对应的设定定位槽不完全相同；承载板21上设有与yz平面平行的检测面，当不同尺寸的片盒1装载在承载板21上时，检测面与定位面115重合。
74.上述不同规格的片盒对应的设定定位槽不完全相同，具体指：当每个片盒上仅存在一个定位条14时，不同规格的片盒的定位条14分别插入不同的定位槽231中；对于任意两个不同规格的片盒1中，若至少存在一个片盒1上的定位条231设置有两个或两个以上，则该片盒1上至少存在一个定位条1的设定定位槽与另一片盒1上所有定位条1的设定定位槽不同。且可以理解的是，此处定位槽不同主要指定位槽在承载板上的位置不同，不涉及到定位槽的尺寸方面，即不同的定位槽231即在承载板21上位置不同的定位槽231。
75.本实施例提供的片盒定位装置2，通过设置与片盒1上的定位条14相适配的定位槽231，使特定尺寸的片盒1设置在设定的定位槽231后，检测面与定位面115重合，能够实现片盒1在片盒定位装置2上的x向定位；且由于采用定位条14与定位槽231配合定位的形式，定位条14设置在片盒1的底部，多个定位槽231沿x方向并排设置，片盒1的避让槽16沿x方向贯通片盒1设置，使片盒定位装置2中的定位槽231能够位于避让槽16沿y方向的相邻两槽壁之间，从而使某一尺寸片盒1对应的避让槽16的设置不会与其他尺寸片盒1在承载板21上的设置相干涉，使片盒定位装置2能够适用于多种尺寸片盒1的设置。
76.更为优选地，在本实施例中，承载板21上沿x方向平行且间隔设置有n个x向定位块23，n为大于或等于3的整数。x向定位块23凸设在承载板21的上表面且沿y方向延伸，相邻两
个x向定位块23之间形成上述的定位槽231，x向定位块23的长度小于适用片盒1中最小尺寸的片盒1的避让槽16沿y方向的槽长。该种设置，可以在片盒1设置在承载板21上时，片盒1的底面与承载板21上表面抵接，至少在承载板21上的投影与片盒1在承载板21上的投影重合的x向定位块23容纳于避让槽16，方便定位槽231的设置的同时，避免定位条14的设置对片盒1的设置造成干涉。在其他实施例中，也可以是在承载板21的上表面凸设凸台，凸台的高度小于避让槽16的槽深，在凸台上沿x方向平行且间隔设置多个上述的定位槽231。
77.更为优选地，每个x向定位块23均与承载板21可拆卸连接，该种设置方式，能够调节每个x向定位块23距离检测面的距离，从而调节每个定位槽231相距检测面的距离以及调节定位槽231的槽宽，有效保证与该定位槽231适配的片盒1装载在承载板21上时，检测面与该片盒1的定位面115重合，保证片盒1在承载板21上的定位精度和调节灵活性。在其他实施例中，x向定位块23也可以与承载板21焊接连接或者一体成型。
78.在本实施例中，x向定位块23的长度沿远离检测面的方向逐渐增大，且所有x向定位块23的长度中心的连线与x方向平行。
79.片盒1上设置有m个定位条14，m为大于0且小于n的整数，m个定位条14能分别插入m个设定的定位槽231中。每一定位条14沿其长度方向的两端均设置有挡块15，挡块15位于避让槽16内，且同一定位条14两端的两个挡块15之间的最小距离为l。对于任一定位条14，若形成该定位条14设定的定位槽16的两个x向定位块23中，靠近检测面的一个x向定位块23的长度为l1，另一个x向定位块23的长度为l2，则该定位条14对应的l值大于或等于l1且小于l2。对于任意两个不同规格的片盒1，其中一个片盒1至少存在一个定位条14对应的设定定位槽与另一个片盒1中所有定位条14对应的设定定位槽均不同。
80.上述设置，能够保证定位面115不超出检测面的前提下，特定尺寸的片盒1只能放置在与该片盒1对应的定位槽231中，而无法放置在其他定位槽231中，有效防止片盒1错放导致的定位不准确的问题。
81.在其他一个实施例中，可以通过设置定位槽231的槽宽配合定位条14的宽度实现片盒1的防错位。如使承载板21上的定位槽231的槽宽沿远离检测面的方向逐渐增大，且定位槽231的槽长沿远离检测面的方向逐渐减小；或者，使定位槽的槽宽沿远离检测面的方向逐渐减小，定位槽的槽长沿远离检测面的方向逐渐增大。且任一定位条14的长度和宽度均与设定定位槽的槽长和槽宽对应相等时，同样能够起到任意定位条14仅能放入与设定定位槽的防错误功能。
82.在本实施例中，每个片盒1的底部设置有一个定位条14，定位槽231的个数为n-1个，则片盒定位装置2能够定位和识别的片盒1的个数为n-1个。在其他实施例中，片盒1的底部可以沿x方向并排设置多于一个的定位条14，若片盒1的底部具有一个定位条14，则n-1个定位槽231可以对应识别n-1种不同尺寸的片盒1；若片盒1的底部具有两个定位条14，则n-1个定位槽231中任意两个定位槽231均可识别一种尺寸的片盒1，即n-1个定位槽231总共可识别个不同尺寸且底部具有两个定位条14的片盒1；若片盒1底部具有三个定位条14，则n-1个定位槽231中任意三个定位槽231的组合可识别一种尺寸的片盒1，即n-1个定位槽231总共可识别个不同尺寸且底部具有三个定位条14的片盒1
……
。即，若承载板21上设置有n-1个定位槽231，片盒定位装置2最多可兼容和识别的片盒1总数为
83.在本实施例中，x向定位块23的数量为7个，定位槽231的个数为6个，但本发明对此不做限制，定位槽231的个数可以根据需要兼容的片盒1的尺寸和个数进行具体设置。
84.可以理解的是，不同规格的片盒上的定位条的个数可以相同，也可以不同，本发明对此不做限制。
85.在本实施例中，检测面为虚拟形成的竖直平面，其难以对片盒1的定位提供机械限定，因此，进一步地，承载板21上设置有前挡板29，前挡板29位于片盒1的前侧(片盒1远离限位板113的一侧)且沿y方向设置，前挡板29用于防止片盒1错放至设定定位槽231靠近检测面一侧的其他定位槽231中。
86.更为优选地，前挡板29包括相对yz平面倾斜设置的导向板部291，导向板部291凸出承载板21的上表面，且其由下至上沿远离检测面及片盒的方向倾斜设置。导向板部291的设置，能够为片盒1装载在承载板21上进行导向，提高片盒1在片盒定位装置2中的设置稳定性。
87.为进一步地提高片盒1在片盒定位装置2上的定位准确性，片盒定位装置2的承载板21上还设置有y向定位结构，y向定位结构用于定位片盒1在承载板上的y向位置。
88.在本实施例中，y向定位结构包括凸设在承载板21上表面的y向定位块24，y向定位块24至少设置一对，当片盒1装载在承载板21上时，片盒1沿y方向相对设置的两侧面分别与一对y向定位块24中的两个y向定位块抵接。更为优选地，每对y向定位块24中的两个y向定位块24相对n个x向定位块23的长度中心连线对称设置，以保证片盒1沿y方向的中心线与x向定位块23的中心连线重合，提高定位准确性。
89.进一步地，y向定位块24以n个x向定位块23的长度中心连线为基准由内向外依次套设有多组，每组y向定位块24包括一对y向定位块24或包括沿x方向间隔设置的至少两对y向定位块24。且为避免位于内侧的y向定位块24影响大尺寸的片盒1的设置，y向定位块24凸出承载板21的高度小于避让槽16的槽深，从而使片盒1在用到外侧的y向定位块24进行定位的同时，位于内侧的y向定位块24能够位于该片盒1的避让槽16中。
90.在本实施例中，承载板21上设置有三个y向定位块组，分别为第一y向定位块组、第二y向定位块组和第三y向定位块组。第二y定位块组的两个第二y向定位块242设置在第三y向定位块组的两个第三y向定位块243之间，第一y向定位块组的两个第一y向定位块241位于两个第二y向定位块组的两个第二y向定位块242之间。第一y向定位块组、第二y向定位块组及第三y向定位块组分别用于对具有不同宽度的片盒1进行x向定位。即，本实施例提供的y向定位块24的设置，能够实现对三中不同宽度类型的片盒1进行定位。
91.通常情况下，片盒1在y方向的尺寸越大，其在x方向的尺寸同样越大，为提高y向定位块24对片盒1的定位准确定，在本实施例中，第一y向定位块组于靠近检测面的位置设置有一组，第二y向定位块组沿x方向间隔设置有两组，第三y向定位块组沿x方向间隔设置有三组。在其他实施例中，y向定位块组的组数及每组y向定位块组中两个y向定位块24之间的间距可以根据需要适用的片盒1的尺寸进行具体设置。
92.在本实施例中，y向定位块24与承载板21可拆卸连接，以根据所需适用的片盒1的尺寸具体设置y向定位块24在y方向的位置，提高片盒定位装置2对片盒1的适用性和通用性，降低设计成本。优选地，可拆卸连接方式优选为螺钉连接，稳定性强。在其他实施例中，y
向定位块24也可以与承载板21焊接连接或者一体成型。
93.在本实施例中，x向定位块23和y向定位块24在承载板21上的投影面积均为矩形，结构简单，设置方便，定位可靠。在其他实施例中，x向定位块23和y向定位块24的形状还可以采用其他形状，本发明对此不做具体限制。
94.更为优选地，在本实施例中，承载板21的上表面设置有定位标识220，定位标识220用于在视觉上为片盒1在承载板21上的安装提供大致定位。定位标识220不凸出承载板21的上表面，其可采用带颜色的记号笔在承载板21上形成的颜色和图案标记，或可以在承载板21表面形成的凹槽标记。
95.为对片盒1进行位置和类型检测，每个定位槽231的槽底均设置有片盒检测传感器27，片盒检测传感器27用于检测对应定位槽231中是否插设有定位条14。为方便片盒检测传感器27的设置，定位槽231的槽底贯通承载板21开设有安装槽，承载板21的下表面设置有电路板，电路板上设置有多个片盒检测传感器27，片盒检测传感器27的位置和个数与定位槽231一一对应，且片盒检测传感器27至少部分容置在安装槽中。
96.在本实施例中，片盒检测传感器27为机械式传感器，在定位槽231内未设置片盒1时，其弹性挡片的自由端凸出定位槽231的槽底；当片盒1的定位条14插入定位槽231中时，弹性挡片被定位条14压下，从而触发片盒检测传感器27，识别该定位槽231插设有定位条14，从而识别设置有该定位条14的片盒1。采用机械式的片盒检测传感器27，能够在检测某一定位槽231是否插入定位条14时，避免其他定位槽231插入的片盒1对该定位槽231中的片盒检测传感器27造成干涉，提高检测精度，降低检测成本。
97.进一步地，为提高片盒1在片盒定位装置2中的定位准确定，片盒定位装置2还包括相对承载板21设置的调节底板22，调节底板22位于承载板21的下方，且承载板21与调节底板22之间设置有水平调节组件25，水平调节组件25用于实现承载板21相对调节底板22的rx和/或ry向调节，从而调节承载板21的水平度。
98.具体地，在本实施例中，水平调节组件25沿承载板21的周向间隔设置有多组，且水平调节组件25包括调节螺栓251和弹性件252，承载板21和调节底板22采用竖直设置的调节螺栓251连接，弹性件252套设在调节螺栓251上，且位于承载板21和调节底板22之间。通过调节每一组调节螺栓251的旋拧程度，调节对应调节螺栓251处承载板21和调节底板22之间的距离，从而调节承载板21的水平度；弹性件252的设置，能够在拧紧或放松调节螺栓251时，依靠弹性件252的变形，在保证承载板21和调节底板22的连接可靠性的同时，调节承载板21和调节底板22对应位置处之间的距离。
99.在本实施例中，优选地，弹性件252采用球面垫圈。且更为优选地，球面垫圈包括沿调节螺栓251的轴向方向相对设置的凹型球面垫圈和凸型球面垫圈，凹形球面垫圈设置在凸型球面垫圈的下面，且凹陷部朝向凸型球面垫圈，凸型球面垫圈的凸出部朝向承载板21，以提高弹性件252的变形能力。在其他实施例中，弹性件252还可以采用其他结构，如可以采用弹簧或者其他能够压缩变形的结构。
100.在本实施例中，基底传输系统还包括用于放置片盒定位装置2的工作台及用于取放片盒1中的片盒1的机械手片叉，机械手片叉从容纳槽114的前端开口处对容纳槽114中的基底3进行取放。为提高机械手片叉对基底3的取放便利性，机械手片叉安装在工作台上且通常正对片盒1的定位面115设置。为保证机械手片叉进入片盒1时不与片盒1干涉，提高机
械手片叉对基底3的取放效率和取放精度，片盒定位装置2优选与工作台转动连接，以使片盒定位装置2能够相对工作台绕z轴转动，从而调节定位面115的朝向，进而调节定位面115和机械手片叉的相对位置。
101.图7是本发明实施例提供的片盒定位装置的背面结构示意图，如图7所示，具体地，调节底板22与工作台通过竖直设置的定位销210转动连接。在本实施例中，定位销210固定在工作台上，能够在实现片盒定位装置2的转动连接外，还能为片盒定位装置2在工作台上的安装提供定位。调节板上开设有定位孔，定位销210穿设在定位孔中。在其他实施例中，也可以是定位销210与调节底板22固定，且定位销210与工作台转动连接。
102.为实现片盒定位装置2在工作台上的固定，调节底板22上开设有弧形安装孔221，弧形安装孔221对应的圆心与定位销210的中心轴线重合，工作台上对应弧形安装孔221设置有连接螺纹孔，调节底板22与工作台通过穿设在弧形安装孔221与连接螺纹孔中的螺纹连接件26连接。通过设置弧形安装孔221，在调节底板22相对工作台转动的过程中，通过旋松螺纹连接件26即可实现调节底板22相对工作台的转动，同时，弧形安装孔221的长度决定调节底板22相对工作台能够调节的角度。
103.优选地，弧形安装孔221绕定位销210的中心轴线间隔设置有多个，以提高片盒定位装置2与工作台的连接稳定性。在本实施例中，弧形安装孔221设置有四个，但本发明并不限于此，弧形安装孔221的个数可以根据安装需求自行设定。
104.优选地，为方便对螺纹连接件26进行操作，承载板21上对应弧形安装孔221的位置开设有弧形避让孔211，弧形避让孔211的中心弧线与弧形安装孔221的中心弧线在水平面上重合，且弧形避让孔211的长度和宽度分别大于弧形安装孔221的长度和宽度。弧形避让孔211的个数和位置与弧形安装孔221一一对应。
105.优选地，如图1所示，调节底板22和承载板21均呈形状和大小基本相同的“d”字形结构，片盒1的定位面115朝向并靠近“d”字形结构的竖边设置，且与“d”字形结构的竖边平行，以从视觉上更好地为片盒1在片盒定位装置2上的设置提供定位。n个x向定位块23的长度中心连线与“d”字形结构的对称轴线重合，以提高承载板21上结构的布局合理性和空间利用率，减小承载板21的面积。同时，构成“d”字形结构的弧形部对应的圆心位于定位销210的中心轴线上，以为弧形安装孔221和弧形避让孔211的开设提供定位参考，简化承载板21和调节底板22的结构。
106.进一步地，为提高机械手片叉对片盒1中基底3的取放精度和可靠性，同时防止基底3从片盒掉落，片盒定位装置2上设置有凸片传感器28，凸片传感器28用于检测片盒1中的片盒1是否凸出定位面115外部。凸片传感器28设置在“d”字形结构的竖边中心处，且与承载板21或调节底板22可拆卸连接。在本实施例中，凸片传感器28为反射式光电传感器，其发射端能够沿竖直方向发射检测光线，且发射的检测光线与检测面之间的距离为大于0且小于10mm。
107.更进一步地，为方便前挡板29与承载板21的连接，前挡板29还包括与yz平面平行的固定板部292，固定板部292沿y方向延伸且与承载板21的d型结构竖边的侧面平行贴合，且固定板部292与该侧面可拆卸连接。该种设置，能够更加有利于前挡板29的定位和安装准确性。且为防止前挡板29的设置干涉凸片传感器28的检测，前挡板29于凸片传感器28沿y方向的两侧各设置有一个。
108.本实施例还提供了一种光刻系统，包括上述的基底传输系统，本实施例提供的光刻系统，通过采用上述的基底传输系统，能够提高光刻效率。
109.实施例二
110.图8是本发明实施例二提供的片盒定位装置与一种尺寸的片盒的配合示意图，如图8所示，本实施例提供了一种基底传输系统，包括片盒1和片盒定位装置2。与实施例一相比，本实施例提供的片盒1和片盒定位装置2的结构与实施例一中的基本结构相同，仅y向定位结构和挡块15的设置存在差异，本实施例不再对与实施例一相同的结构进行赘述。
111.如图8所示，在本实施例中，片盒1上两个挡块15间的最小距离为l0，形成与该片盒1对应的定位槽231的两个x向定位块23中，靠近检测面的一个x向定位块23的长度为l1，则l0＝l1。该种设置方式，可以使片盒1的定位条14插入对应的定位槽231后，片盒1上的两个挡块15分别与x向定位块23的两端端面抵接，从而实现片盒1在承载板21上x方向的位置定位。即在本实施例中，挡块15形成y向定位结构，片盒1在承载板21上的x方向的定位可参考实施例一，此处不再赘述。
112.更为优选地，在本实施例中，挡块15包括沿x方向设置的第一部和第二部，第一部位于第二部朝向检测面的一端，且第一部朝向另一挡块15的一面与对应定位槽231朝向检测面的x向定位块23的端面抵接，第二部朝向另一挡块15的一面与对应定位槽231远离检测面一侧的x向定位块23的端面抵接，由此，挡块15与形成对应定位槽231的两个x向定位块23的端面均抵接，以更好地实现片盒1在片盒定位装置2上的定位作用。
113.本实施例还提供了一种光刻系统，包括上述的基底传输系统，本实施例提供的光刻系统，通过采用上述的基底传输系统，能够提高光刻效率。
114.注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。