一种新型扩散炉机架的制作方法

1.本实用新型属于扩散炉技术领域，尤其涉及一种新型扩散炉机架。


背景技术：

2.扩散炉是集成电路生产线前工序的重要工艺设备之一，它的主要用途是对半导体进行掺杂，即在高温条件下将掺杂材料扩散入硅片，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，以便建立起不同电特性区域，虽然某些工艺可以使用离子注入的方法进行掺杂，但是热扩散仍是最主要、最普通的掺杂方法。
3.炉体加热系统共有六层。顶层配置有水冷散热器及排热风扇，每层加热炉体间也配置一层水冷系统，隔绝每层炉管的温度相互影响，废气室顶部设有抽风口，与外接负压抽风管道连接后，可将工艺过程残余的废气带走,中间部分分四层放置四个加热炉体，每层由四个坡面支架托起并固定住加热炉体。
4.扩散炉机架是扩散炉的重要组成部分，其用于放置炉管、元器件等设备，目前的扩散炉机架中的坡面支架多是与机架固定在一起，呈一体化设置，用于提高炉管的稳定性，但是在配装炉管、元器件等设备时，由于空间限制，为安装带来不便，影响炉管的配装效率。


技术实现要素：

5.基于上述背景，本实用新型的目的是提供一种新型扩散炉机架，将坡面支架与机架设置为分体式结构，方便安装。
6.为实现以上目的，本实用新型采用以下的技术方案：
7.一种新型扩散炉机架，包括：
8.架体；
9.以及通过定位组件连接于所述架体内部的炉管托架；
10.所述定位组件包括：
11.滑槽以及活动连接于所述滑槽内部的框架；其中，所述滑槽固定连接于所述的架体内侧，所述框架的底部通过铰链安装有加固块；
12.所述框架与所述滑槽之间设有水平方向调节组件；
13.所述炉管托架与所述框架之间设有垂直方向调节组件。
14.优选的，所述加固块包括：
15.固定块以及连接于所述固定块底部的活动块；其中，所述活动块的底部开设有与炉管外形相匹配的凹槽，所述固定块和活动块之间设有压力调节组件。
16.优选的，所述压力调节组件包括：
17.通孔以及活动连接于所述通孔内部的螺杆；其中，所述通孔开设于所述固定块的底部，所述螺杆的外部螺纹连接有调节螺母，所述通孔中开设有用于放置调节螺母的开口。
18.优选的，所述固定块和活动块之间设有导杆和导孔；其中，导杆的上端固定连接于所述固定块的顶部，所述导孔开设于所述活动块的顶部，所述导杆活动插接于所述导孔的
内部。
19.优选的，所述炉管托架包括：
20.底板以及连接于所述底板顶部的托板；其中，所述托板的顶部形状与炉管外形相匹配，所述底板通过垂直方向调节组件与所述框架连接在一起。
21.优选的，所述垂直方向调节组件包括：
22.第一螺纹孔以及螺纹连接于所述第一螺纹孔内部的胶头螺丝；其中，第一螺纹孔开设于所述框架的顶部，所述胶头螺丝的上端与所述底板的底部转动连接。
23.优选的，所述胶头螺丝的上端固定连接有转轴，所述转轴的上端通过轴承座转动安装于底板的底部。
24.优选的，所述水平方向调节组件包括：
25.调节板以及开设于所述调节板表面的第二螺纹孔和开设于所述框架边部的第三螺纹孔；其中，所述第二螺纹孔和第三螺纹孔的内部螺纹连接有调节螺栓。
26.优选的，所述滑槽的端部开设有隐藏槽，所述调节板活动连接所述隐藏槽的内部。
27.本实用新型具有以下有益效果：
28.1、本技术中将炉管托架与机架设置为分体式结构，两者之间通过定位组件之间连接，使得炉管托架与机架可拆分、可固定，方便了炉管托架的安装，方便了炉管的配装，提高炉管的配装效率；
29.2、本技术中的定位组件主要由滑槽和框架构成，炉管托架连接在框架上，将框架插入到滑槽中，即可将炉管托架安放在机架中，并在框架与所述滑槽之间设置水平方向调节组件、炉管托架与所述框架之间设置垂直方向调节组件，方便进行调节炉管的水平、竖直方向的位置，便于炉管的定位；
30.3、本技术在框架的底部设置加固块，在多组炉管安装完成之后，通过加固块压住炉管，利于提高炉管的稳定性，方便了对炉管的固定。
附图说明
31.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其它的附图。
32.图1为本实用新型的扩散炉机架结构示意图；
33.图2为本实用新型定位组件和垂直方向调节组件的结构示意图；
34.图3为本实用新型水平方向调节组件的结构示意图；
35.图4为本实用新型炉管托架的结构示意图；
36.图5为本实用新型压力调节组件的结构示意图；
37.图6为本实用新型通孔的剖面结构示意图。
38.附图标号说明：
39.1为架体；
40.2为定位组件；21为滑槽；22为框架；23为加固块；231为固定块；232为活动块；233为凹槽；234为导杆；235为导孔；
41.3为炉管托架；31为底板；32为托板；
42.4为水平方向调节组件；41为调节板；42为第二螺纹孔；43为第三螺纹孔；44为调节螺栓；45为隐藏槽；
43.5为垂直方向调节组件；51为第一螺纹孔；52为胶头螺丝；53为转轴；
44.6为压力调节组件；61为通孔；62为螺杆；63为调节螺母；64为开口。
45.本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
46.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
47.需要说明，本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
48.另外，在本实用新型中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。
49.实施例1
50.本实用新型实施例中提供了一种新型扩散炉机架，如图1所示，包括：架体1、定位组件2、炉管托架3、水平方向调节组件4、垂直方向调节组件5。其中，炉管托架3通过过定位组件2连接于架体1内部，用于放置炉管；水平方向调节组件4用于调节炉管托架3的水平位置；垂直方向调节组件5用于调节调节炉管托架3的高度位置。将炉管托架3与架体1设置为分体式结构，两者之间通过定位组件2之间连接，使得炉管托架3与机架1可拆分、可固定，方便了炉管托架3的安装，方便了炉管的配装，提高炉管的配装效率。
51.值得说明的是，本实施例中的定位组件2包括：滑槽21、框架22、加固块23，如图2所示。其中，滑槽21固定连接于的架体1内侧，框架22活动连接于滑槽21内部，加固块23通过铰链安装在框架22的底部，便于进行收纳加固块23。在安装炉管托架3的时候，将框架22插入到滑槽21中，从而将炉管托架3放置在架体1中。另外，炉管托架3可以根据实际需要进行设定多组，在配装时，从上到下依次安装。
52.进一步的，为了更好的对炉管进行固定，本技术中的加固块23包括：固定块231、活动块232、凹槽233，如图5所示。活动块232连接于固定块231底部，活动块232的底部开设有与炉管外形相匹配的凹槽233，利于更好的贴合炉管。在炉管安装在炉管托架3上之后，将活动块232压在炉管上，并通过压力调节组件6下压活动块232，对炉管进行固定，利于提高炉管的稳定性。
53.另外，在固定块231和活动块232之间设有导杆234和导孔235；其中，导杆234的上
端固定连接于固定块231的顶部，导孔235开设于活动块232的顶部，导杆234活动插接于导孔235的内部。通过导杆234和导孔235之间的配合，利于限制住固定块231、活动块232之间的角度，如图5所示。
54.作为优选的，本实施例中的压力调节组件6包括：通孔61、螺杆62、调节螺母63、开口64，如图6所示。其中，通孔61开设于固定块231的底部，螺杆62活动连接于通孔61内部，螺杆62的外部螺纹连接调节螺母63，在压紧活动块232的时候，通过转动调节螺母63带动螺杆62下压活动块232压紧在炉管表面。另外，在通孔61中开设有用于放置调节螺母63的开口64，用于限制调节螺母63的位置。
55.作为优选的，为了方便调节炉管托架3的水平位置，并对框架22进行固定，本实施例在框架22与滑槽21之间设有水平方向调节组件4，包括调节板41、第二螺纹孔42、第三螺纹孔43、调节螺栓44，如图3所示。其中，第二螺纹孔42开设于调节板41表面，第三螺纹孔43开设于框架22边部，第二螺纹孔42和第三螺纹孔43的内部螺纹连接有调节螺栓44。在将框架22放入到滑槽21中之后，将调节螺栓44拧入到第三螺纹孔43中，将调节板41和框架22连接，通过转动调节螺栓44进行调节炉管托架3的水平位置，同时还可以起到将框架22固定在滑槽21中的作用。
56.进一步的，为了限制住调节板41的位置，同时为了方便调节板41的隐藏，在滑槽21的端部开设有隐藏槽45，调节板41活动连接隐藏槽45的内部，如图3所示。隐藏槽45可以进行隐藏调节板41和限制调节板41的位置。
57.炉管托架3包括：底板31、托板32，如图4所示。托板32固定连接于底板31顶部的，其中，托板32的顶部形状与炉管外形相匹配，利于放置炉管，底板31通过垂直方向调节组件5与框架22连接在一起。
58.作为优选的，本实施例中的垂直方向调节组件5包括：第一螺纹孔51、胶头螺丝52、转轴53，如图2所示。其中，第一螺纹孔51开设于框架22的顶部，胶头螺丝52螺纹连接于第一螺纹孔51内部，胶头螺丝52的上端固定连接有转轴53，转轴53的上端通过轴承座转动安装于底板31的底部。在需要调节炉管托架3高度时，可以通过转动胶头螺丝52带动炉管托架3上下移动，便于炉管的定位。
59.实施例2
60.在本实施例中，与实施例1不同的是，在具体实施时，最下层的框架22的底部不带有加固块23，避免占用空间。另外，在架体1的内侧顶部设置加固块23，用于压制最上层的炉管，提高了炉管在架体1中的稳定性。
61.当然，上述说明并非是对本实用新型的限制，本实用新型也并不仅限于上述举例，本技术领域的技术人员在本实用新型的实质范围内所做出的变化、改型、添加或替换，也应属于本实用新型的保护范围。