一种主副双波动环形单结构陀螺阵列的制作方法

技术特征：
1.一种主副双波动环形单结构陀螺阵列，其特征在于，包括：基底、多个第一电极组、多个第二内电极和环形谐振子，所述环形谐振子包括键合于所述基底的主锚点结构以及分别以所述主锚点结构为中心的主波动圆环和副波动圆环，所述副波动圆环位于所述主锚点结构和所述主波动圆环之间，且所述主锚点结构通过所述副波动圆环与所述主波动圆环连接，每个所述第一电极组均包括设置于所述基底且通过所述基底上的金属线相互连接的第一内电极和第一外电极，所述第一内电极位于所述主波动圆环和所述副波动圆环之间，所述第一外电极位于所述主波动圆环的外侧，以使所述第一外电极和第一内电极分别与所述主波动圆环配合形成第一电容器，多个所述第二内电极设置于所述基底且均位于所述副波动圆环内侧，多个所述第二内电极与多个所述第一电极组中的第一内电极一一对应，以使所述第二内电极和所述第一内电极分别与所述副波动圆环配合形成第二电容器。2.如权利要求1所述的主副双波动环形单结构陀螺阵列，其特征在于，所述环形谐振子还包括连接于所述主波动圆环和所述副波动圆环之间的多个冗余子陀螺结构，多个所述冗余子陀螺结构以所述主锚点结构为中心旋转对称，多个所述冗余子陀螺结构一一对应的嵌设于多个所述第一内电极，所述主副双波动环形单结构陀螺阵列还包括设置于所述基底且与所述多个冗余子陀螺结构一一对应的多个第三电极组，每个所述第三电极组和每个所述第一内电极分别用于配合对应的所述冗余子陀螺结构形成第三电容器。3.如权利要求2所述的主副双波动环形单结构陀螺阵列，其特征在于，所述环形谐振子还包括分别与所述多个冗余子陀螺结构一一对应的多个第一弹性振动梁以及多个第二弹性振动梁，每个所述冗余子陀螺结构的一端通过对应的所述第一弹性振动梁与所述主波动圆环连接，每个所述冗余子陀螺结构的另一端通过对应的所述第二弹性振动梁与所述副波动圆环连接以使多个所述冗余子陀螺结构以所述主锚点结构为中心呈放射状分布。4.如权利要求3所述的主副双波动环形单结构陀螺阵列，其特征在于，多个所述第一弹性振动梁和多个所述第二弹性振动梁分别一一对应的嵌设于多个所述第一内电极中，且所述第一内电极分别与对应的所述第一弹性振动梁和所述第二弹性振动梁具有间隙。5.如权利要求3所述的主副双波动环形单结构陀螺阵列，其特征在于，每个所述第一弹性振动梁均包括第一框架梁以及分别连接于所述第一框架梁相对两端的第一直梁和第二直梁，以使每个所述冗余子陀螺结构均通过所述第一直梁、所述第一框架梁和所述第二直梁分别与所述主波动圆环连接。6.如权利要求2所述的主副双波动环形单结构陀螺阵列，其特征在于，所述环形谐振子包括8个所述冗余子陀螺结构，相邻两个所述冗余子陀螺结构分别与所述主锚点结构连线的夹角为45度。7.如权利要求2所述的主副双波动环形单结构陀螺阵列，其特征在于，每个所述冗余子陀螺结构均包括冗余波动圆环、位于所述冗余波动圆环中心的冗余锚点结构以及连接于所述冗余波动圆环和所述冗余锚点结构之间的多个冗余弹性振动梁，所述冗余锚点结构键合于所述基底，且所述冗余波动圆环的相对两端分别与所述主波动圆环和所述副波动圆环连接；每个所述第三电极组均包括通过所述基底上的金属线与对应的所述第一内电极连接的多个第三内电极，所述第一内电极位于对应的所述冗余波动圆环的外侧，多个所述第三内电极均位于对应的所述冗余波动圆环的内侧，以与对应的所述冗余子陀螺结构配合形成第三电容器。
8.如权利要求1至7任一项所述的主副双波动环形单结构陀螺阵列，其特征在于，所述环形谐振子还包括多个第三弹性振动梁，所述多个第三弹性振动梁分别一一对应的嵌设于所述多个第二内电极中，且所述第二内电极与对应的所述第三弹性振动梁具有间隙，所述多个第三弹性振动梁的相对两端分别连接于所述副波动圆环和所述主锚点结构，以使多个所述第三弹性振动梁以所述主锚点结构为中心呈放射状分布。9.如权利要求8所述的主副双波动环形单结构陀螺阵列，其特征在于，每个所述第三弹性振动梁均包括第二框架梁以及分别连接于所述第二框架梁相对两端的第三直梁和第四直梁以使所述第二框架梁分别通过所述第三直梁与所述副波动圆环连接、通过所述第四直梁与所述主锚点结构连接。10.如权利要求8所述的主副双波动环形单结构陀螺阵列，其特征在于，所述环形谐振子包括8个所述第三弹性振动梁，相邻两个所述第三弹性振动梁之间的夹角为45度。

技术总结
本申请提供一种主副双波动环形单结构陀螺阵列，涉及惯性导航技术领域，包括：基底、多个第一电极组、多个第二内电极和环形谐振子，环形谐振子包括键合于基底的主锚点结构以及分别以主锚点结构为中心的主波动圆环和副波动圆环，副波动圆环位于主锚点结构和主波动圆环之间，且主锚点结构通过副波动圆环与主波动圆环连接，第一外电极和第一内电极分别与主波动圆环配合形成第一电容器，第二内电极和第一内电极分别与副波动圆环配合形成第二电容器。由于波动陀螺仪能够形成主副双波动的驱动模态，配合第一电容器和第二电容器能够提供更多的电容值变化数据，从而有效的提高主副双波动环形单结构陀螺阵列的冗余度。环形单结构陀螺阵列的冗余度。环形单结构陀螺阵列的冗余度。


技术研发人员：许图
受保护的技术使用者：重庆天箭惯性科技股份有限公司
技术研发日：2022.03.15
技术公布日：2022/5/10