一种晶圆侧边影像检测装置的制作方法

1.本发明属于半导体检测领域，涉及晶圆影像采集技术，具体涉及一种晶圆侧边影像检测装置。


背景技术：

2.在半导体的前道生产工序中，晶圆的质量保证尤为关键，其中晶圆表面检测中的周边检测也是其中的重要工艺保障之一。传统的检测台中，进设置一套相机组件固定于晶圆外周，对于晶圆侧边的影像采集机构相对单一，且调节不灵活，一周检测效率低，已不能满足当前的高精、高效的检测需求。


技术实现要素：

3.为了克服现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种晶圆侧边影像检测装置，其能解决上述问题。
4.一种晶圆侧边影像检测装置，装置包括影像采集机构、晶圆载台和控制器，所述影像采集机构距离可调的正对晶圆载台设置，所述晶圆载台高度可调的旋转支撑多种规格的晶圆，通过控制器控制晶圆载台带动被测晶圆旋转，并控制影像采集机构完成对晶圆全周侧的影像采集。
5.进一步的，所述晶圆载台包括载台底座、升降台柱和旋转载盘；其中，所述升降台柱用于调节旋转载盘的高度以使其上承载的晶圆侧边厚度完全落入影像采集机构的影像采集范围；所述旋转载盘支撑定位待测晶圆，并使待测晶圆按规定角速度旋转以适于检测。
6.进一步的，所述影像采集机构包括采集底座、主安装板、相机移动载件、相机转接块、相机、镜头、方光组件、环光调节架和环光组件；所述主安装板固定至所述采集底座上，所述相机移动载件安装于所述主安装板上，所述相机通过相机转接块安装于所述相机移动载件上，并由所述相机移动载件驱动所述相机和镜头前后移动实现影像采集距离粗调；在所述相机移动载件前方设置所述方光组件、环光调节架和环光组件，所述环光调节架前后位置可调的设置在所述相机移动载件的侧边，通过方光组件、环光组件、相机移动载件和镜头的调节实现影像采集机构的焦距调整。
7.进一步的，所述影像采集机构还包括柔性防尘遮光罩，所述柔性防尘遮光罩将镜头、方光组件、环光调节架和环光组件包覆密封，并在影像采集投影方向上伸缩可调。
8.相比现有技术，本发明的有益效果在于：通过本技术的晶圆侧边影像检测装置，可以适应不同规格的晶圆进行侧边影像采集，多个影像采集机构的设置可以提高影像采集和检测效率，便于在半导体制造的晶圆质量控制中推广应用。
附图说明
9.图1为晶圆侧边影像检测装置的结构示意图；
10.图2为影像采集机构影像投影于晶圆侧边的示意图；
11.图3为设置柔性防尘遮光罩的影像采集机构示意图；
12.图4为第三实施例的示意图。
13.图中：
14.100、影像采集机构；
15.1、底板；
16.2、立板；
17.3、顶板；
18.4、主安装板；
19.5、相机移动载件；
20.6、限位调节组件；
21.7、相机转接块；
22.8、相机；
23.9、镜头；
24.12、环光调节架；
25.13、环光固定板；
26.14、环形光源；
27.15、柔性防尘遮光罩；
28.200、晶圆载台；
29.201、载台底座；
30.202、升降台柱；
31.203、旋转载盘。
具体实施方式
32.为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
33.第一实施例
34.一种晶圆侧边影像检测装置，参见图1和图2，装置包括影像采集机构100、晶圆载台200和控制器(图未示)。
35.布置关系：影像采集机构100距离可调的正对晶圆载台200设置，所述晶圆载台200高度可调的旋转支撑多种规格的晶圆，通过控制器控制晶圆载台200带动被测晶圆旋转，并控制影像采集机构100完成对晶圆全周侧的影像采集。
36.其中，晶圆载台200包括载台底座201、升降台柱202和旋转载盘203。具体的，所述升降台柱202用于调节旋转载盘203的高度以使其上承载的晶圆侧边厚度完全落入影像采集机构100的影像采集范围；所述旋转载盘203支撑定位待测晶圆，并使待测晶圆按规定角速度旋转以适于检测。
37.进一步的，所述升降台柱202上设有高度传感器，所述旋转载盘203处设有角度传感器，分别用于晶圆的高度调节和转动角速度调节，以便于影像采集和检测。
38.其中，所述影像采集机构100包括采集底座、主安装板4、相机移动载件5、相机转接块7、相机8、镜头9、方光组件、环光调节架12和环光组件。
39.连接关系：主安装板4固定至所述采集底座上，所述相机移动载件5安装于所述主安装板4上，所述相机8通过相机转接块7安装于所述相机移动载件5上，并由所述相机移动载件5驱动所述相机8和镜头9前后移动实现影像采集距离粗调；在所述相机移动载件5前方设置所述方光组件、环光调节架12和环光组件，所述环光调节架12前后位置可调的设置在所述相机移动载件5的侧边，通过方光组件、环光组件、相机移动载件5和镜头9的调节实现影像采集机构100的焦距调整。
40.进一步的，所述采集底座包括底板1、立板2和顶板3，构成门架结构，当然也可以采用其他形式的支撑底座结构。
41.其中，相机移动载件5可采用精密滑台机构、滑槽滑块光栅尺机构等。
42.进一步的，影像采集机构100还包括限位调节组件6，例如采用限位螺钉、限位光纤传感器等，以此控制相机移动载件5的后端位。
43.进一步的，所述方光组件包括l型的方光支架10和安装于方光支架10前方的方形光源11，所述方光支架10安装于所述相机移动载件5上并位于相机转接块7前方以及环光调节架12内侧设置。
44.进一步的，所述环光组件包括环光固定板13和环形光源14，所述环光固定板13固定连接至l型的所述环光调节架12的前端，并使得所述环形光源14随着环光调节架12前后行程可调的布置。
45.第二实施例
46.参见图3，影像采集机构100还包括柔性防尘遮光罩15，所述柔性防尘遮光罩15将镜头9、方光组件、环光调节架12和环光组件包覆密封，并在影像采集投影方向上伸缩可调。
47.具体的，柔性防尘遮光罩15可采用全遮光的类似波纹管的伸缩结构进行空间包覆，防止灰尘进入和外光影像检测效果。
48.第三实施例
49.参见图4，一个晶圆侧边影像检测装置设置多个影像采集机构100和一个晶圆载台200，影像采集机构100围绕所述晶圆载台200周向均布的设置，优选两个对称设置的影像采集机构100，以此提高影像采集效率。
50.最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。