一种水性剥离液回收系统的制作方法

1.本实用新型涉及电子化学品技术领域，特别涉及一种水性剥离液回收系统。


背景技术：

2.目前，在半导体、液晶显示面板等制造过程中，往往会有光刻技术的使用，在掩膜、显影、刻蚀等工序进行完毕后，对光刻胶的去除就需要用到专用的剥离液；剥离液主要由有机溶剂、有机胺、20％左右的水及其他占比较少的缓蚀剂等微组分组成；有机溶剂、有机胺价格昂贵，是目前面板行业最大的耗材之一，且环保性较差，容易造成水质等污染，目前常用的处理方式为焚烧，造成了资源浪费，因此，急需一种能有效的分离并回收其有效成分，实现资源再利用，变废为宝的水性剥离液回收系统。


技术实现要素：

3.为解决以上技术问题，本实用新型提供一种水性剥离液回收系统。
4.本实用新型采用的技术方案如下：一种水性剥离液回收系统，关键在于：包括多组处理单元，多组所述处理单元的进液端连接同一废液储罐，多组所述处理单元的出液端连接同一调配罐；
5.所述处理单元包括依次管道连接的双级过滤器、pr颗粒过滤装置、树脂吸附塔及精馏塔，所述双级过滤器与所述废液储罐连通，所述精馏塔与所述调配罐连通。该方案的效果是使水性剥离液依次通过双级过滤器、pr颗粒过滤装置、树脂吸附塔和精馏塔，可分别将剥离液中的颗粒物、pr有机物及金属离子去除并精制得到电子级有机溶剂和有机胺的混合物，回收其有效成分，实现资源再利用。
6.优选的，所述双级过滤器包含孔径为50μm的滤芯和孔径为5μm的滤芯。该方案的效果是对废玻璃液中的大颗粒物进行过滤去除，降低后续处理的负荷。
7.优选的，所述pr颗粒过滤装置为分子筛过滤器。该方案的效果是利用分子筛对剥离液废液中的pr等大分子颗粒物进行过滤去除，同时去除其他颗粒物。
8.优选的，所述pr颗粒过滤装置为硅藻土过滤器。该方案的效果是利用硅藻土对剥离液废液中的pr等大分子颗粒物进行过滤去除，同时去除其他颗粒物。
9.优选的，所述树脂吸附塔中填充有阳离子型大孔吸附树脂。该方案的效果是吸附残余的pr并选择性去除金属离子。
10.优选的，所述处理单元至少为两组。
11.有益效果：与现有技术相比，本实用新型提供的一种水性剥离液回收系统，实现剥离液中绝大部分有效成分的在线回收，实现资源再利用，使供应系统、回收系统形成闭环，降低生产成本。
附图说明
12.图1为本实用新型一实施例的结构示意图；
13.图2为本实用新型另一实施例的结构示意图。
具体实施方式
14.为使本领域技术人员更好的理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作详细说明。
15.实施例1
16.如图1所示，一种水性剥离液回收系统，包括两组处理单元2，两组所述处理单元的进液端连接同一废液储罐1，两组所述处理单元的出液端连接同一调配罐3；所述处理单元2包括依次管道连接的双级过滤器21、pr颗粒过滤装置22、树脂吸附塔23及精馏塔24，所述双级过滤器21与所述废液储罐1连通，所述精馏塔24与所述调配罐3连通；所述双级过滤器21包含孔径为50μm的滤芯和孔径为5μm的滤芯；
17.所述pr颗粒过滤装置22为分子筛过滤器；
18.所述树脂吸附塔23中填充有阳离子型大孔吸附树脂。
19.实施例2
20.如图2所示，一种水性剥离液回收系统，包括两组处理单元2，两组所述处理单元的进液端连接同一废液储罐1，两组所述处理单元的出液端连接同一调配罐3；所述处理单元2包括依次管道连接的双级过滤器21、pr颗粒过滤装置22、树脂吸附塔23及精馏塔24，所述双级过滤器21与所述废液储罐1连通，所述精馏塔24与所述调配罐3连通；所述双级过滤器21包含孔径为50μm的滤芯和孔径为5μm的滤芯；
21.所述pr颗粒过滤装置22为硅藻土过滤器；
22.所述树脂吸附塔23中填充有阳离子型大孔吸附树脂。
23.最后需要说明，上述描述仅为本实用新型的优选实施例，本领域的技术人员在本实用新型的启示下，在不违背本实用新型宗旨及权利要求的前提下，可以做出多种类似的表示，这样的变换均落入本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种水性剥离液回收系统，其特征在于：包括多组处理单元(2)，多组所述处理单元的进液端连接同一废液储罐(1)，多组所述处理单元的出液端连接同一调配罐(3)；所述处理单元(2)包括依次管道连接的双级过滤器(21)、pr颗粒过滤装置(22)、树脂吸附塔(23)及精馏塔(24)，所述双级过滤器(21)与所述废液储罐(1)连通，所述精馏塔(24)与所述调配罐(3)连通。2.根据权利要求1所述的一种水性剥离液回收系统，其特征在于：所述双级过滤器(21)包含孔径为50μm的滤芯和孔径为5μm的滤芯。3.根据权利要求1所述的一种水性剥离液回收系统，其特征在于：所述pr颗粒过滤装置(22)为分子筛过滤器。4.根据权利要求1所述的一种水性剥离液回收系统，其特征在于：所述pr颗粒过滤装置(22)为硅藻土过滤器。5.根据权利要求1所述的一种水性剥离液回收系统，其特征在于：所述树脂吸附塔(23)中填充有阳离子型大孔吸附树脂。6.根据权利要求1所述的一种水性剥离液回收系统，其特征在于：所述处理单元(2)至少为两组。

技术总结
本实用新型涉及电子化学品技术领域，特别涉及一种水性剥离液回收系统，包括多组处理单元，多组所述处理单元的进液端连接同一废液储罐，多组所述处理单元的出液端连接同一调配罐；所述处理单元包括依次管道连接的双级过滤器、PR颗粒过滤装置、树脂吸附塔及精馏塔，所述双级过滤器与所述废液储罐连通，所述精馏塔与所述调配罐连通。与现有技术相比，本实用新型提供的一种水性剥离液回收系统，实现剥离液中绝大部分有效成分的在线回收，实现资源再利用，使供应系统、回收系统形成闭环，降低生产成本。本。本。


技术研发人员：宋凯 郑圣弘
受保护的技术使用者：深圳融科科技有限公司
技术研发日：2021.12.24
技术公布日：2022/5/8