一种反应腔系统及其实现AlGaN组分调制的方法

技术特征：
1.一种反应腔系统，用于实现平面内algan组分调制，其特征在于，包括：反应腔本体，旋转系统，设置在所述反应腔本体的底面，带动工件进行旋转，并可输出转速信号；激光系统，设置在所述反应腔本体的上部，通过激光控制模组进行控制，其包括：激光器，其设置在所述激光系统的上部；第一扫描器，在所述激光控制模组的控制下可沿水平或垂直方向旋转对所述激光器的激光进行反射；第二扫描器，在所述激光控制模组的控制下可沿水平或垂直方向旋转接收第一扫描器反射的激光进行再次反射到既定位置；控制系统，接收所述转速信息，并通过激光控制模组对所述激光器及第一扫描器和第二扫描器进行控制，使所述工件在特定区域曝光。2.如权利要求1所述的反应腔系统，其特征在于，所述激光系统还包括：掩膜板，所述掩膜板设置在激光器的出射区，用于控制激光的形状。3.如权利要求1或2所述的反应腔系统，其特征在于，所述激光系统还包括：第一聚焦透镜和第二聚焦透镜，所述第一聚焦透镜设置在所述激光器与所述第一扫描器之间；所述第二聚焦透镜设置在所述第二扫描器与工件之间。4.如权利要求1所述的反应腔系统，其特征在于，所述第一扫描器由两个平行并相对放置的平面反射镜构成，两个反射镜可以同时沿水平或垂直方向旋转。5.如权利要求4所述的反应腔系统，其特征在于，所述第二扫描器由两个平行并相对放置的平面反射镜构成，两个反射镜可以同时沿水平或垂直方向旋转。6.如权利要求1所述的反应腔系统，其特征在于，所述旋转系统包括石墨托盘，所述石墨托盘可高速旋转。7.如权利要求1所述的反应腔系统，其特征在于，所述控制系统通过激光控制模组对所述激光器的开关和频闪，对所述第一扫描器和第二扫描器的角度进行控制，使所述工件在特定区域曝光。8.如权利要求1所述的反应腔系统，其特征在于，所述旋转系统的转速在0-1500rpm之间可调。9.如权利要求1所述的反应腔系统，其特征在于，所述控制系统通过控制激光器的频闪和扫描器的角度，在生长过程中对旋转托盘上的工件实现跟踪。10.一种使用权利要求1-9任一所述的反应腔系统来实现平面内algan组分调制的方法，其特征在于，包括如下步骤：s1,将工件放入到旋转系统上，控制旋转系统进行旋转；s2,控制系统接收旋转系统的转速信息，待转速信息到达预定区间后，控制所述激光控制模组调整激光器的开关和频闪，以及第一扫描器、第二扫描器的角度；s3，控制系统通过控制第一扫描器和第二扫描器的角度，对工件实现跟踪，并结合激光频闪使所述工件在特定区域曝光，以实现algan组分调制。

技术总结
本发明公开了一种反应腔系统，其包括反应腔本体，旋转系统，激光系统以及控制系统。旋转系统，激光系统以及控制系统可相互配合，控制系统接收旋转系统转速信息，并通过激光控制模组控制所述激光器及第一扫描器和第二扫描器，使所述工件在特定区域曝光。通过该系统可实现在工件平面内存在人为设置温度差异的功能，进而实现在平面内AlGaN材料组分调制。本发明还公开了一种上述反应腔系统来实现AlGaN组分调制的方法。制的方法。制的方法。


技术研发人员：黎大兵 张恩韬 孙晓娟 贲建伟 蒋科 张山丽 陈洋
受保护的技术使用者：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
技术研发日：2022.01.11
技术公布日：2022/4/26