隔膜泵

1.本技术涉及隔膜泵的技术领域，特别涉及一种采用新材料驱动的静音隔膜泵。


背景技术：

2.传统的气泵、真空泵、液体泵等动力设备，由于需要采用电机和传动结构，会导致设备整体的体积和重量过大，同时还存在电机转动的噪音和振动问题。因此，在诸如软体机器人、医疗服务设备等高端领域中，传统的气泵、真空泵、液体泵等动力设备无法满足它们的小型化和静音要求。
3.针对上述缺陷，现有技术中出现了一类基于智能材料的隔膜泵，其借助智能材料直线循环变形以驱动隔膜型腔循环压缩扩张，以将流体单向压出而输出动力，该隔膜泵不仅可以减小设备的体积和重量，同时也避免了电机转动产生的振动噪音。
4.然而，上述的基于智能材料的隔膜泵虽然具有诸多优点，但是由于设计缺陷还是存在驱动频率低的技术问题。


技术实现要素：

5.本技术提供了一种隔膜泵，通过特殊的结构设计以将记忆合金拉件与弹性板组合使用，在保证隔膜泵输出背压的前提下，同时还能够提高隔膜泵的驱动频率，解决了现有技术中隔膜泵存在的技术问题。
6.本技术提供的一种隔膜泵，包括支撑梁、记忆合金拉件、泵壳及隔膜。
7.所述支撑梁设有弹性板，所述弹性板的两端与所述支撑梁滑动连接。
8.所述记忆合金拉件的两端与所述弹性板的两端相连，且设于所述弹性板之上。
9.所述泵壳穿设有与所述弹性板的中部相连的活塞。
10.所述隔膜设于所述泵壳内且与所述泵壳围设形成压缩腔，所述隔膜可被所述活塞挤压以压缩所述压缩腔。
11.对所述记忆合金拉件上电可使两端收缩，以弯折所述弹性板使中部向下凸出挤压所述活塞；对所述记忆合金拉件断电，所述弹性板复位并拉拽所述记忆合金拉件使两端扩张。
12.现有技术中的记忆合金拉件并不具有诸如弹性板的辅助复位部件，在活塞完成一次下压动作后，需要等待记忆合金拉件降温以自然地复位，活塞的下压动作的间隔时间较长，由此导致隔膜泵的驱动频率较低。本技术提供的隔膜泵，将记忆合金拉件与弹性板两端相连接，在活塞完成一次下压动作后，断电后的记忆合金拉件马上在弹性板的带动下复位，活塞的下压动作的间隔时间很短，由此使隔膜泵可以获得较高的驱动频率。
13.在一种可能的设计方式中，所述隔膜的材质为介电弹性体，对所述记忆合金拉件上电时，也同步对所述隔膜上电使所述隔膜可被所述活塞自然地推挤延展。
14.在一种可能的设计方式中，所述弹性板呈弧形，凸面朝向所述活塞。
15.在一种可能的设计方式中，所述支撑梁设有滑动连接的滑轨和两个滑块，所述弹
性板的两端分别与两个所述滑块相连。
16.在一种可能的设计方式中，所述记忆合金拉件的两端与所述弹性板通过销子相连，所述记忆合金拉件的电极设置于所述销子上。
17.在一种可能的设计方式中，所述压缩腔具有与所述压缩腔相通的进料孔道和出料孔，所述进料孔道设于所述活塞上，所述隔膜设有与所述进料孔道相通的过孔，所述出料孔设于所述泵壳上。
18.在一种可能的设计方式中，所述进料孔道配置有单向阀一，所述出料孔配置有单向阀二。
19.在一种可能的设计方式中，所述活塞包括上活塞体和下活塞体，所述单向阀一压合在所述上活塞体和所述下活塞体之间且设于所述进料孔道内；
20.所述单向阀一包括阀膜一以及与所述阀膜一周边密封的阀膜二，所述阀膜一具有与所述进料孔道相通的通孔一，所述阀膜二具有多个与所述通孔一偏离布置、相对于所述通孔一而孔径较小的通孔二；
21.所述上活塞体对应于所述通孔二的位置开设有避让槽一，以为所述阀膜一受压隆起而提供避让空间；所述下活塞体对应于所述阀膜二的位置开设有避让槽二，以为所述阀膜二受压向下凸出而提供避让空间。
22.在一种可能的设计方式中，所述泵壳位于所述出料孔处还设有带出料嘴的压盖，所述单向阀二由所述压盖压合在所述出料孔处；
23.所述单向阀二包括阀膜三以及与所述阀膜三周边密封的阀膜四，所述出料孔包括多个，所述阀膜三具有多个与所述出料孔相通的通孔三，所述阀膜四具有与所述通孔三偏离布置、相对于所述通孔三而孔径较大的通孔四；
24.所述泵壳对应于所述通孔四的位置开设有避让槽三，以为所述阀膜三受压隆起而提供避让空间；所述压盖对应于所述阀膜四的位置开设有避让槽四，以供所述阀膜四受压向下凸出而提供避让空间。
25.在一种可能的设计方式中，所述泵壳包括相连的上泵壳和下泵壳，所述上泵壳与所述下泵壳的壳口边沿压合所述隔膜。
附图说明
26.为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
27.图1是本技术实施例提供的隔膜泵的一例的爆炸图；
28.图2是图1中隔膜泵的装配图；
29.图3是本技术实施例提供的隔膜泵的一例的剖视图；
30.图4是图3中活塞的剖视图；
31.图5是图3中下泵壳的剖视图；
32.图6是本技术实施例提供的隔膜泵的工作原理图。
33.附图标记：10、支撑梁；11、弹性板；111、抵接部；12、滑轨；13、滑块；14、销子；20、记
忆合金拉件；；30、泵壳；31、活塞；311、上活塞体；311a、避让槽一；312、下活塞体；312a、避让槽二；32、进料孔道；33、单向阀一；331、阀膜一；331a、通孔一；332、阀膜二；332a、通孔二；34、出料孔；35、单向阀二；351、阀膜三；351a、通孔三；352、阀膜四；352a、通孔四；36、压盖；361、出料嘴；362、避让槽四；37、避让槽三；38、上泵壳；381、螺栓；39、下泵壳；40、隔膜；41、压缩腔；42、过孔；43、柔顺电极。
具体实施方式
34.为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
35.在本技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
36.在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
37.在本技术的描述中，需要理解的是，术语“内”、“外”、“上”、“底”、“前”、“后”等指示的方位或者位置关系(若有的话)为基于附图1所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或者暗示所指的装置或者元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
38.还需说明的是，本技术实施例中以同一附图标记表示同一组成部分或同一零部件，对于本技术实施例中相同的零部件，图中可能仅以其中一个零件或部件为例标注了附图标记，应理解的是，对于其他相同的零件或部件，附图标记同样适用。
39.传统的气泵、真空泵、液体泵等动力设备，由于需要采用电机和传动结构，会导致设备整体的体积和重量过大，同时还存在电机转动的噪音和振动问题。因此，在诸如软体机器人、医疗服务设备等高端领域中，传统的气泵、真空泵、液体泵等动力设备无法满足它们的小型化和静音要求。
40.现有技术中发展出了基于智能材料的泵，其借助智能材料的驱动力替代了传统电机，进而可以减小体积、重量，同时也避免了电机转动产生的振动噪音。智能材料泵有多种结构，隔膜泵是常见的一种。隔膜泵在循环作动中，通过隔膜(腔体体积)的变形，将液态或气态的物料单向压出。在隔膜泵中，最常使用的智能材料有压电陶瓷、形状记忆合金以及介电弹性体等材料。
41.其中，压电陶瓷是一种能够将机械能和电能互相转换的信息功能陶瓷材料，压电
陶瓷除具有压电性外，还具有介电性、弹性等，已被广泛应用于医学成像、声传感器、声换能器、超声马达等。压电效应有正压电效应和逆压电效应两种，正压电效应是给压电陶瓷片施加一个外力时，压电片会产生电荷，这种现象称为正压电效应。反之，当给压电陶瓷片施加电场时，压电陶瓷片会产生机械变形，而且其应变与电场强度成正比，这称为逆压电效应，施加的电场强度越强，振动的幅度越大，各种压电陶瓷的器件均是利用这一特性而工作的。
42.形状记忆合金是能将自身的塑性变形在某一特定温度下自动恢复为原始形状的特种合金。它的伸缩率在20％以上，疲劳寿命达1*10的7次方，阻尼特性比普通的弹簧高10倍，其耐腐蚀性优于目前最好的医用不锈钢，因此可以满足各类工程和医学的应用需求，是一种非常优秀的功能材料。记忆合金除具有独特的形状记忆功能外，还具有耐磨损、抗腐蚀、高阻尼和超弹性等优异特点。
43.介电弹性体(dielectric elastomers，de)是一种新型电活性功能材料(electro-active polymers，eaps)，具有柔性好、变形大、能量密度高，易与机械能量源直接耦合，耐冲击抗疲劳等多种优点，是制造主动驱动器最有潜力的电活性聚合物材料。还具有超大变形、超快响应速度、高弹性能密度、良好的负载匹配性、高机电转化效率、超强的环境适应性、高疲劳寿命以及好的仿生性能等特点。介电弹性体薄膜其上下表面均匀覆盖有导电性良好的柔顺电极，当在柔顺电极上施以偏置电压，介电弹性体薄膜将在静电力作用下发生变形，即在厚度方向产生收缩，在薄膜平面内扩展延伸，从而呈现一种“电致伸缩”特性。
44.现有技术中的隔膜泵，便是采用了上述的某一种智能材料在通电的情况下提供驱动力，以代替传统电机。然而，对于压电陶瓷的隔膜泵和介电弹性体的隔膜泵，均存在输出背压低的问题。形状记忆合金的隔膜泵虽然输出背压相对较高，但由于散热问题的限制，其驱动频率较低(小于1hz)。
45.综上，现有技术中的隔膜泵存在驱动频率低的技术问题。
46.因此，为解决上述问题，本技术提供了一种隔膜泵，通过特殊的结构设计以将记忆合金拉件与弹性板组合使用，在保证隔膜泵输出背压的前提下，同时还能够提高隔膜泵的驱动频率，解决了现有技术中隔膜泵存在的技术问题。
47.图1是本技术实施例提供的隔膜泵的一例的爆炸图。图2是图1中隔膜泵的装配图。图3是本技术实施例提供的隔膜泵的一例的剖视图。图6是本技术实施例提供的隔膜泵的工作原理图。
48.如图1-图3、图6所示，本技术实施例提供了一种隔膜泵，包括支撑梁10、记忆合金拉件20、泵壳30及隔膜40。
49.支撑梁10设有弹性板11，弹性板11的两端与支撑梁10滑动连接。弹性板11由弹性材料制成，弹性板11可以是平板或者弧形板，当弹性板11是平板时，要保证弹性板11的中部弯折时能够朝向活塞31。将弹性板11的两端相对拉拽后，弹性板11的中部向下凸出挤压活塞31，当弹性板11两端的拉拽力撤销之后，弹性板11复位。
50.记忆合金拉件20的两端与弹性板11的两端相连，且设于弹性板11之上。记忆合金拉件20的材质为形状记忆合金，记忆合金拉件20在转变温度以上时的长度小于弹性板11的长度，在室温下，记忆合金拉件20的长度等于弹性板11的长度。当给记忆合金拉件20上电后，通过电流热效应而使记忆合金拉件20受热，当温度达到转变温度以上时，记忆合金拉件20便会自动地恢复到原先在转变温度以上加工成的形状，即长度小于弹性板11的长度的状
态，进而对弹性板11的两端进行相对拉拽。
51.泵壳30穿设有与弹性板11的中部相连的活塞31。活塞31被弹性板11驱动，用于挤压压缩腔41。
52.隔膜40设于泵壳30内且与泵壳30围设形成压缩腔41，隔膜40可被活塞31挤压以压缩压缩腔41。隔膜40的材质可以为常规的泵膜材料。压缩腔41具有进料孔道32和出料孔34，用来进料和出料，进料孔道32和出料孔34可以都开设在泵壳30上。
53.本技术实施例中的隔膜泵，初始状态时，记忆合金拉件20断电，压缩腔41呈扩张状态且内部没有物料，隔膜泵的工作过程为：
54.动作一，对记忆合金拉件20上电，记忆合金拉件20会发生奥氏体相变，长度方向的两端收缩，收缩的拉力会作用在弹性板11的两端以拉动弹性板11的两端在支撑梁10上相对滑动，进而使弹性板11弯曲，中部向下凸起并带动活塞31向下挤压隔膜40，在活塞31下压的过程中压缩腔41被压缩；
55.动作二，对记忆合金拉件20断电，弹性板11复位并拉拽记忆合金拉件20使两端扩张，并且记忆合金拉件20和弹性板11不再施力于活塞31，使隔膜40能够逐渐向上回弹复位，使压缩腔41扩张产生负压，进料孔道32从外部吸入物料而进入压缩腔41内；
56.动作三，重复动作一，压缩腔41压缩以将物料经出料孔34挤出，出料孔34外接有管路导引物料至目的地，然后不断地重复动作二和动作一，即不断地对记忆合金拉件20和隔膜40进行上电和断电，可连续不断地将物料加压泵出。
57.现有技术中的记忆合金拉件20并不具有诸如弹性板11的辅助复位部件，在活塞31完成一次下压动作后，需要等待记忆合金拉件20降温以自然地复位，活塞31的下压动作的间隔时间较长，由此导致隔膜泵的驱动频率较低。本技术实施例提供的隔膜泵，将记忆合金拉件20与弹性板11两端相连接，在活塞31完成一次下压动作后，断电后的记忆合金拉件20马上在弹性板11的带动下复位，活塞31的下压动作的间隔时间很短，由此使隔膜泵可以获得较高的驱动频率。
58.可选地，泵送的物料可以为液体或者气体。
59.可选地，单向阀一33和单向阀二35可以为弹簧式单向阀、重力式单向阀、旋启式单向阀、膜片式单向阀。
60.可选地，记忆合金拉件20的形状可以为丝状、条状、板状等。
61.可选地，记忆合金拉件20的材质可以是镍钛合金，例如钛镍铜、钛镍铁、钛镍铬等镍钛系形状记忆合金；除此以外还可以是其他种类的形状记忆合金，例如铜镍系合金、铜铝系合金、铜锌系合金、铁系合金等。
62.可选地，弹性板11的材质为金属或者树脂，具有一定的弹性形变能力。
63.如图1所示，在一种实施例中，隔膜40的材质为介电弹性体，对记忆合金拉件20上电时，也同步对隔膜40上电使隔膜40可被活塞31自然地推挤延展。
64.在上述的动作一中，对记忆合金拉件20上电，记忆合金拉件20会发生奥氏体相变，长度方向的两端收缩，收缩的拉力会作用在弹性板11的两端以拉动弹性板11的两端在支撑梁10上相对滑动，进而使弹性板11弯曲，中部向下凸起并带动活塞31向下挤压隔膜40，在活塞31下压的过程中压缩腔41被压缩，与此同时，对介电弹性体隔膜40上电使其产生麦克斯韦应力，厚度减薄且具有表面积变大的趋势，在活塞31下压的过程中介电弹性体隔膜40自
然地被推挤而延展开，进而使压缩腔41收缩。
65.在上述的动作二中，对记忆合金拉件20断电时，也同时对介电弹性体隔膜40断电，记忆合金拉件20和弹性板11复位而不再施力于活塞31，使介电弹性体隔膜40能够逐渐向上回弹复位，使压缩腔41扩张产生负压，进料孔道32从外部吸入物料并经过孔42而进入压缩腔41内，不断地对记忆合金拉件20和介电弹性体隔膜40进行上电和断电，可连续不断地将物料加压泵出。
66.本实施例中的隔膜泵，由于介电弹性体隔膜40本身受到电压激励会产生的麦克斯韦应力，其厚度减薄且具有表面积变大的趋势，在活塞31下压的过程中隔膜会自然地向下变形，减少或消除了自身变形所需的外作用力，即减小或消除对活塞31下压产生的阻力，使活塞31的下压作用力充分地作用在压缩腔41上，进而保证了压缩腔41的对于物料的输出能力，从而提高了隔膜泵的输出背压。
67.可选地，在一些实施例中，介电弹性体隔膜40的柔顺电极43分设与隔膜40的两侧面。当在柔顺电极43上施以偏置电压，隔膜40将在静电力作用下发生变形，即在厚度方向产生收缩，在隔膜平面内扩展延伸，从而呈现一种“电致伸缩”特性。
68.如图1所示，在一种实施例中，弹性板11呈弧形，凸面朝向活塞31。
69.如前所述，弹性板11可以是平板或者弧形板。若弹性板11是平板时，需要在弹性板11的上侧中部设置凸块，以防止弹性板11被拉拽时的凸出方向背离了活塞31。因此，本实施例中优选采用弧形板结构，可以避免在增设凸块，以便节约加工成本，并且可以使弹性板11在被拉拽之后，中部向下凸出而更好的指向活塞31。
70.如图1所示，在一种实施例中，支撑梁10设有滑动连接的滑轨12和两个滑块13，弹性板11的两端分别与两个滑块13相连。
71.在另一些实施例中，记忆合金拉件20的两端也与滑块13相连。
72.为了便于实施和制造，弹性板11的两端以及记忆合金拉件20的两端通过滑块13和滑轨12连接在支撑梁10上，以使弹性板11的两端以及记忆合金拉件20的两端在进行复位或者驱动时，能够被滑轨12和滑块13导引。
73.如图2所示，在一种实施例中，记忆合金拉件20的两端与弹性板11通过销子14相连，记忆合金拉件20的电极设置于销子14上。
74.两个销子14连接电源的正负极，用于为记忆合金拉件20提供电流。
75.如图1所示，在一种实施例中，弹性板11的中部具有与活塞31的端面形状相应的抵接部111。
76.为了使活塞31所受到的下压作用力能够保持均衡，避免活塞31卡死或者活塞31外壁过度磨损的情况出现，弹性板11的中部具有与活塞31的端面形状相应的抵接部111，弹性板11的中部向下凸出使，由地接部均匀的施力于活塞31的端面，使活塞31在泵壳30上进行精确的轴向运动。
77.如图3所示，在一种实施例中，压缩腔41具有与压缩腔41相通的进料孔道32和出料孔34，进料孔道32设于活塞31上，隔膜40设有与进料孔道32相通的过孔42，出料孔34设于泵壳30上。
78.如前所述，压缩腔41具有进料孔道32和出料孔34，用来进料和出料，进料孔道32和出料孔34可以都开设在泵壳30上。当然，进料孔道32和出料孔34也可以分开设置，如本实施
例中，进料孔道32设于活塞31上，出料孔34设于泵壳30上，如此设计还需要考虑到隔膜40的进料通道，因此，在隔膜40上与进料孔道32相对的位置开设过孔42，用于使物料能够进入压缩腔41内。
79.如图3所示，在一种实施例中，进料孔道32配置有单向阀一33，出料孔34配置有单向阀二35。
80.隔膜泵的单向阀可以布置在进料管路和出料管路上，在本实施例中，为了使隔膜泵的整体结构紧凑，可以将单向阀均布置在泵的内部，具体地，进料孔道32配置有单向阀一33，出料孔34配置有单向阀二35。
81.图4是图3中活塞31的剖视图。
82.如图4所示，在一种实施例中，活塞31包括上活塞体311和下活塞体312，单向阀一33压合在上活塞体311和下活塞体312之间且设于进料孔道32内。单向阀一33包括阀膜一331以及与阀膜一331周边密封的阀膜二332，阀膜一331具有与进料孔道32相通的通孔一331a，阀膜二332具有多个与通孔一331a偏离布置、相对于通孔一331a而孔径较小的通孔二332a。上活塞体311对应于通孔二332a的位置开设有避让槽一311a，以为阀膜一331受压隆起而提供避让空间；下活塞体312对应于阀膜二332的位置开设有避让槽二312a，以为阀膜二332受压向下凸出而提供避让空间。
83.为了便于实施和制造，本实施例中对于单向阀一33和活塞31的连接方式进行了限定，活塞31由上活塞体311和下活塞体312两部分构成，单向阀一33为膜片式单向阀，单向阀一33压合在上活塞体311和下活塞体312之间且横置于进料孔道32上。
84.在本实施例中，具体限定了单向阀一33的结构，其包括依次贴合的阀膜一331和阀膜二332。阀膜一331的中部具有与进料孔道32相通的通孔一331a，阀膜二332具有多个周向分布、孔径较小的通孔二332a，其中，通孔一331a与通孔二332a偏离布置，即通孔一331a与通孔二332a在同一平面的投影没有重合处。
85.以气体物料为例，在本实施例中单向阀一33的工作过程为：当进气时，气体从进料孔道32和通孔一331a而进入，由于气压作用，将阀膜二332压至避让槽二312a内向下凸起变形，使阀膜一331与阀膜二332之间出现间隙，进而气体从阀膜二332四周均布的4个通孔二332a流出，依次进入避让槽二312a、进料孔道32的末端、过孔42，乃至最后进入压缩腔41内部；如果气体欲从通孔二332a向上流出，则气压作用在阀膜一331对应通孔二332a的位置，并将阀膜一331压至避让槽一311a内向上凸起变形，然而并不能使阀膜一331与阀膜二332之间出现间隙，也就无法使气体从通孔一331a流出，从而实现单向流通。
86.可选地，避让槽一311a可以为环形槽。
87.图5是图3中下泵壳39的剖视图。
88.如图5所示，在一种实施例中，泵壳30位于出料孔34处还设有带出料嘴361的压盖36，单向阀二35由压盖36压合在出料孔34处。单向阀二35包括阀膜三351以及与阀膜三351周边密封的阀膜四352，出料孔34包括多个，阀膜三351具有多个与出料孔34相通的通孔三351a，阀膜四352具有与通孔三351a偏离布置、相对于通孔三351a而孔径较大的通孔四352a。泵壳30对应于通孔四352a的位置开设有避让槽三37，以为阀膜三351受压隆起而提供避让空间；压盖36对应于阀膜四352的位置开设有避让槽四362，以供阀膜四352受压向下凸出而提供避让空间。
89.为了便于实施和制造，本实施例中对于单向阀二35和泵壳30的连接方式进行了限定，泵壳30位于出料孔34处还设有带出料嘴361的压盖36，单向阀二35为膜片式单向阀，单向阀二35由压盖36压合在出料孔34处。
90.在本实施例中，具体限定了单向阀二35的结构，其包括依次贴合的阀膜三351和阀膜四352。阀膜四352的中部具有通孔四352a，阀膜三351具有多个周向分布、孔径较小的通孔三351a，其中，通孔四352a与通孔三351a偏离布置，即通孔四352a与通孔三351a在同一平面的投影没有重合处。
91.以气体物料为例，在本实施例中单向阀二35的工作过程为：当出气时，气体从压缩腔41向通孔三351a流动，由于气压作用，将阀膜四352压至避让槽四362内向下凸起变形，使阀膜三351与阀膜四352之间出现间隙，进而气体从阀膜四352中部的通孔四352a流出，依次进入避让槽四362和出料嘴361；如果气体欲从外部经过通孔四352a而向上流出，则气压作用在阀膜三351对应通孔四352a的位置，并将阀膜三351压至避让槽三37内向上凸起变形，然而并不能使阀膜三351与阀膜四352之间出现间隙，也就无法使气体从通孔三351a流入，从而实现单向流通。
92.如图1所示，在一种实施例中，泵壳30包括相连的上泵壳38和下泵壳39，上泵壳38与下泵壳39的壳口边沿压合隔膜40。
93.为了便于实施和制造，泵壳30包括上泵壳38和下泵壳39，上泵壳38、下泵壳39以及合隔膜40的周边开设有连接孔，通过螺栓381及螺母将三者相连。
94.以上所述，仅为本技术的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本技术揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本技术的保护范围之内。因此，本技术的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。