一种晶片切削机专用夹具的制作方法

1.本实用新型涉及晶片加工设备的技术领域,更具体地说，它涉及一种晶片切削机专用夹具。


背景技术：

2.晶片是led最主要的原物料之一，是led的发光部件，led最核心的部分，晶片的好坏将直接决定led的性能。在生产晶片时需要用到切削机，通过切削机晶片切削，现有的切削机的夹具是通过抽真空来吸附晶片的，该种结构造价很高，而且容易损坏，不方便维修。


技术实现要素：

3.针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种结构合理简单，实用性强，造价便宜的晶片切削机专用夹具。
4.为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：
5.一种晶片切削机专用夹具，所述夹具其包括底座及承载部件，承载部件，用于承载晶片，其包括支撑座及位移单元，位移单元和支撑座滑动连接，支撑座置于底座的中心位置上，对放置在其端面上的晶片首先支撑；
6.位移单元包括底盘和托盘，该底盘置于支撑座的外周壁上，且和支撑座滑动连接；
7.所述托盘置于底盘上，且和底盘滑动连接，托盘具有两个，该两个托盘镜像设置，当两个托盘同步向支撑座方向位移后和支撑座配合将晶片位置固定。
8.本实用新型进一步设置为：底座上设有步进电机，步进电机的输出端具有丝杆，底盘和丝杆连接，步进电机控制底盘相对支撑座沿着y轴方向做往复运动；
9.所述底盘上对应两个托盘分别设有两个平移气缸，平移气缸的输出端连接托盘，以便控制托盘沿着x轴方向位移，而对晶片位置的固定。本实用新型进一步设置为：所述支撑座内具有腔体，支撑座的外周壁上开设有和腔体导通的进液端口，支撑座的顶端面上具有和腔体连通的出液端口，在进液体端口上设有用于注入冷却液的接头。
10.本实用新型进一步设置为：所述支撑座和托盘的和晶片抵触的端面上具有复数个触点，以便对晶片形成复数个支撑点。
11.本实用新型进一步设置为：所述支撑座的顶端具有用于承载晶片的支撑部，该支撑部的直径大于支撑座的本体，支撑部的下端面和支撑座的之间构成有凹部。
12.本实用新型进一步设置为：所述托盘对应支撑部及凹部设有与两者适配的台阶部，凹部和支撑部上设有供台阶部抵触的橡胶圈。
13.对比现有技术的不足，本实用新型的有益效果为：
14.1、通过位移单位和支撑座配合实现对晶片的夹持，利用气缸和马达控制托盘两个方向的位移，无需采用抽真空吸附的方式就可牢牢夹紧晶片。
15.2、在支撑座内设有可以输出冷却液的腔道，能有效降低对晶片在切削时产生的热量。
附图说明
16.图1为本实用新型的结构示意图；
17.图2为位移单元的俯视示意图；
18.图3为支撑座端面示意图。
19.图中：w、晶片；1、底座；10、支撑部；2、支撑座；20、腔体；21、进液体端口；200、出液端口；3、位移单元；31底盘；(32，33)托盘；41、步进电机；5、平移气缸；1a、触点；6、橡胶圈。
具体实施方式
20.参照图1至图3对本实用新型的实施例做进一步说明。
21.本实施例具体结构：包括底座及承载部件。
22.承载部件，用于承载晶片w，其包括支撑座2及位移单元3，位移单元3和支撑座2滑动连接，支撑座2置于底座1的中心位置上，对放置在其端面上的晶片w首先支撑。
23.位移单元3：包括底盘31和托盘(32，33)，该底盘31置于支撑座2的外周壁上，且和支撑座2滑动连接。托盘(32，33)置于底盘31上，且和底盘31滑动连接，托盘(32，33)具有两个，该两个托盘(32，33)镜像设置。
24.底座1上设有步进电机41，步进电机41的输出端具有丝杆，底盘31和丝杆连接，步进电机41控制底盘31相对支撑座2沿着y轴方向做往复运动。
25.底盘31上对应两个托盘(32，33)分别设有两个平移气缸5，平移气缸5的输出端连接托盘(32，33)，以便控制托盘(32，33)沿着x轴方向位移。
26.将晶片w放置在支撑座2的端面上后，步进电机41控制底盘31带着托盘(32，33)升起对晶片w下端面支撑后，两个托盘(32，33)同步向支撑座2方向位移后(沿着x轴方向位移)和支撑座2配合将晶片w位置固定。
27.支撑座2内具有腔体，支撑座2的外周壁上开设有和腔体20导通的进液端口21，支撑座2的顶端面上具有和腔体20连通的出液端口200，在进液体端口21上设有用于注入冷却液(可以为水或者其他冷凝用的液体，一般采用水冷)的接头。
28.支撑座2和托盘(32，33)的和晶片w抵触的端面上具有复数个触点1a，以便对晶片w形成复数个支撑点。触点1a的构成能够起到更好的支撑作用，保证了晶片w在托盘(32，33)及支撑座2上的稳定，而且触点之间形成的间隙，方便了冷却水的活动，更好的对晶片w散热，降温。
29.支撑座2的顶端具有用于承载晶片w的支撑部10，该支撑部10的直径大于支撑座2的本体，支撑部的下端面和支撑座2的之间构成有凹部。托盘(32，33)对应支撑部及凹部设有与两者适配的台阶部30，凹部和支撑部上设有供台阶部抵触的橡胶圈6。橡胶圈6的设置能降低托盘(32，33)和支撑座2在抵触时产生的刚性接触力，而且增强了接触位置的密封性。在支撑座2内的冷却水对晶片w冷却时，橡胶圈起到密封支撑座2和托盘(32，33)之间的接触部位。
30.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，本领域的技术人员在本实用新型技术方案范围内进行通常的变化和替换都应包含在本实用新型的保护范围内。


技术特征：
1.一种晶片切削机专用夹具，其特征在于：所述夹具其包括底座及承载部件，承载部件，用于承载晶片，其包括支撑座及位移单元，位移单元和支撑座滑动连接，支撑座置于底座的中心位置上，对放置在其端面上的晶片首先支撑；位移单元包括底盘和托盘，该底盘置于支撑座的外周壁上，且和支撑座滑动连接；所述托盘置于底盘上，且和底盘滑动连接，托盘具有两个，该两个托盘镜像设置，当两个托盘同步向支撑座方向位移后和支撑座配合将晶片位置固定。2.根据权利要求1所述一种晶片切削机专用夹具，其特征在于：所述底座上设有步进电机，步进电机的输出端具有丝杆，底盘和丝杆连接，步进电机控制底盘相对支撑座沿着y轴方向做往复运动；所述底盘上对应两个托盘分别设有两个平移气缸，平移气缸的输出端连接托盘，以便控制托盘沿着x轴方向位移，而对晶片位置的固定。3.根据权利要求2所述一种晶片切削机专用夹具，其特征在于：所述支撑座内具有腔体，支撑座的外周壁上开设有和腔体导通的进液端口，支撑座的顶端面上具有和腔体连通的出液端口，在进液体端口上设有用于注入冷却液的接头。4.根据权利要求2所述一种晶片切削机专用夹具，其特征在于：所述支撑座和托盘的和晶片抵触的端面上具有复数个触点，以便对晶片形成复数个支撑点。5.根据权利要求2所述一种晶片切削机专用夹具，其特征在于：所述支撑座的顶端具有用于承载晶片的支撑部，该支撑部的直径大于支撑座的本体，支撑部的下端面和支撑座的之间构成有凹部。6.根据权利要求5所述一种晶片切削机专用夹具，其特征在于：所述托盘对应支撑部及凹部设有与两者适配的台阶部，凹部和支撑部上设有供台阶部抵触的橡胶圈。

技术总结
本实用新型涉及晶片加工设备的技术领域,更具体地说，它涉及一种晶片切削机专用夹具，夹具其包括底座及承载部件，其包括支撑座及位移单元，支撑座置于底座的中心位置上，对放置在其端面上的晶片首先支撑，位移单元包括底盘和托盘，该底盘置于支撑座的外周壁上，且和支撑座滑动连接，托盘置于底盘上，且和底盘滑动连接，托盘具有两个，该两个托盘镜像设置，当两个托盘同步向支撑座方向位移后和支撑座配合将晶片位置固定。本实用新型结构合理简单，实用性强，造价便宜。造价便宜。造价便宜。


技术研发人员：黄松龙
受保护的技术使用者：海宁幻威电子科技有限公司
技术研发日：2021.10.25
技术公布日：2022/4/13