基板收纳容器的制作方法

1.本发明涉及一种具备搬送零件的基板收纳容器。


背景技术：

2.半导体晶片等的基板在被收纳于基板收纳容器的内部空间的状态下，进行仓库中的保管、半导体加工装置之间的搬送或者工厂之间的输送等。该基板收纳容器在容器主体的顶棚安装有搬送零件，以便可由顶棚行驶装置或机器人等的自动搬送装置进行处理。
3.例如，在专利文献1中公开了一种基板收纳容器，其在容器主体的顶棚设置有将导引片和干涉卡合部件组合而形成两股部的安装机构，在安装机构的两股部以能够拆卸自如地安装设置于搬送用的搬送零件上的弹性卡合片。
4.现有技术
5.专利文献
6.专利文献1：日本特许公开2011-181867号公报


技术实现要素：

7.发明要解决的技术问题
8.然而，如专利文献1中所述的在通过弹性卡合片卡合的安装结构中，存在因基板收纳容器的搬送中的突然停止或移动引起的冲击导致搬送零件从容器主体脱落的可能性。此外，期望即使在操作者进行处理的情况下，搬送零件也不会轻易地从容器主体脱落。
9.因此，在本发明的一个技术方案中，目的在于提供一种提高了搬送零件的安装力的基板收纳容器。
10.解决技术问题的技术手段
11.本发明的一个技术方案提供如下的解决方法。
12.(1)一种基板收纳容器，其特征在于具备：主体部件；以及搬送零件，通过使其相对于所述主体部件在第一方向上从第二侧向第一侧相对位移而能够安装于所述主体部件；其中，所述主体部件具有向与所述第一方向垂直的第二方向的第三侧突出的第一突起部件及第一卡合部件；所述搬送零件具有在所述第二方向上向与所述第三侧相反的第四侧突出的第二突起部件及第二卡合部件；在所述搬送零件安装于所述主体部件的安装状态下，所述第二卡合部件在所述第二方向上通过与所述第一卡合部件卡合，来限制所述第二方向上的所述主体部件与所述搬送零件之间的相对位移；在所述安装状态下，所述第二突起部件相对于所述第一突起部件位于所述第一方向的所述第一侧，在所述第一方向上通过与所述第一突起部件卡合，来限制所述搬送零件相对于所述主体部件向所述第一方向的所述第二侧的相对位移；对所述第二突起部件在所述第二方向上朝向所述第三侧施加所定载荷时，所述第二突起部件的所述第二方向上的位移量小于对所述第一突起部件在所述第二方向上朝向所述第四侧施加同样的所定载荷时所述第一突起部件的所述第二方向上的位移量。
13.(2)在上述(1)所构成的基板收纳容器中，其特征在于，在所述安装状态下，所述第
一突起部件的所述第三侧的顶部与所述第二突起部件的所述第四侧的顶部在所述第二方向上的重叠范围为1.5mm～3.5mm。另外，在本说明书中，α～β所表示的数值范围表示α以上且β以下的范围。
14.(3)在上述(1)或(2)所构成的基板收纳容器中，其特征在于，从与所述第一方向及所述第二方向的两个方向垂直的第三方向上观察时，所述第一突起部件具有顶点位于所述第三侧的三角形形状；从所述第三方向上观察时，所述第二突起部件的所述第四侧的顶部具有顶点位于所述第四侧的三角形形状。
15.(4)在上述(3)所构成的基板收纳容器中，其特征在于，在所述安装状态下从所述第三方向上观察时，所述第一突起部件的所述三角形形状的所述第二侧的边比所述第一侧的边相对于所述第二方向的倾斜角度大；在所述安装状态下从所述第三方向上观察时，所述第二突起部件的所述顶部的所述三角形形状的所述第一侧的边比所述第二侧的边相对于所述第二方向的倾斜角度大。
16.(5)在上述(4)所构成的基板收纳容器中，其特征在于，在所述安装状态下从所述第三方向上观察时，所述第二突起部件的所述顶部的所述三角形形状的所述第一侧的边的所述倾斜角在60
°
～80
°
的范围内。
17.(6)在上述(4)或(5)所构成的基板收纳容器中，其特征在于，在所述安装状态下从所述第三方向上观察时，所述第二突起部件的所述顶部的所述三角形形状的所述第二侧的边的所述倾斜角在0
°
～5
°
的范围内。
18.(7)在上述(3)～(6)的任意一个所构成的基板收纳容器中，其特征在于，从所述第三方向上观察时，所述第二突起部件的所述第三侧的基部相对于所述第二方向倾斜。
19.(8)在上述(7)所构成的基板收纳容器中，其特征在于，从所述第三方向上观察时，所述基部相对于所述第二方向在所述第一侧形成40
°
～50
°
的范围内的角度，并且相对于所述第二方向在所述第二侧形成40
°
～50
°
的范围内的角度。
20.(9)在上述(1)～(8)的任意一个所构成的基板收纳容器中，其特征在于，所述第二突起部件的所述第三侧的基部具有向所述第一方向凹陷的孔或者所述第一方向上的贯通孔。
21.(10)在上述(1)～(9)的任意一个所构成的基板收纳容器中，其特征在于，所述第一突起部件的高度在6.5mm～10mm的范围内。
22.(11)在上述(1)～(10)的任意一个所构成的基板收纳容器中，其特征在于，对所述主体部件的所述第一突起部件在所述第二方向上朝向所述第四侧施加所述所定载荷时，所述第一突起部件的周围的部位发生弹性形变，由此实现所述第一突起部件的所述第二方向上的位移。
23.发明效果
24.根据本发明的一个技术方案，能够提供一种提高了搬送零件的安装力的基板收纳容器。
附图说明
25.图1是表示本发明的实施方式所涉及的基板收纳容器的分解立体图。
26.图2是表示基板收纳容器的安装有搬送零件的部分的俯视图。
27.图3是表示从下侧观察搬送零件的立体图。
28.图4是表示搬送零件的零件侧突起部件的立体图。
29.图5是表示搬送零件的零件侧突起部件的侧视图。
30.图6是表示容器主体的搬送零件安装部件的立体图。
31.图7是表示搬送零件的安装方法的说明图，是沿图2的a-a线剖开的局部剖视图。
32.图8是表示搬送零件的安装方法的说明图，是沿图2的b-b线剖开的局部剖视图。
具体实施方式
33.以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。另外，在本说明书的整个实施方式中，对相同的构件赋予相同的附图标记。此外，在图中，将前后方向表示为x轴方向(第一方向)，将上下方向表示为y轴方向(第二方向)，将与x轴方向和y轴方向正交的左右方向表示为z轴方向(第三方向)。
34.[基板收纳容器]
[0035]
以下，对基板收纳容器进行说明。图1是表示本发明的实施方式所涉及的基板收纳容器的分解立体图。图2是表示基板收纳容器的安装有搬送零件的部分的俯视图。
[0036]
图1所示的基板收纳容器1具备盖体10以及收纳两枚以上的基板w的容器主体20(主体部件一个的示例)。作为收纳于基板收纳容器1中的基板w，可以列举直径为300mm或450mm的半导体晶片或掩模玻璃等。
[0037]
容器主体20是由形成开口部21的正面开口框、背面、左右的侧面23和顶面22以及底面形成的所谓的前开口箱型容器。该容器主体20的开口部21由盖体10封闭。在容器主体20的顶面22安装有后述的搬送零件30。
[0038]
该等盖体10以及容器主体20是通过将含有所定的树脂的成形材料分别注射成形形成多个零件，并组装多个零件而构成。作为成形材料中所定的树脂，例如可以列举机械特性或者耐热性等优异的聚碳酸酯、聚醚醚酮、聚醚酰亚胺、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚缩醛、液晶聚合物或环状烯烃树脂等。此外，根据需要还可以向这些树脂中选择性地添加碳、金属纤维、导电性聚合物、抗静电剂或阻燃剂等。
[0039]
[搬送零件]
[0040]
以下，对搬送零件进行说明。图3是表示从下侧观察搬送零件的立体图。图4是表示搬送零件的第二突起部件的立体图。图5是表示搬送零件的第二突起部件的侧视图。
[0041]
图3所示的搬送零件30是安装于容器主体20的顶面22的大致中央部的零件。搬送零件30也称为机器人凸缘，在被安装于容器主体20上的状态下，例如被顶棚搬送装置把持而进行搬送。从可靠地支承收纳有基板w的基板收纳容器1的观点出发，该搬送零件30由与盖体10及容器主体20相同的成形材料而成形。
[0042]
在俯视时，搬送零件30具备呈大致中空框状的零件主体31。在该零件主体31的下端部两侧，左右一对的被夹持板32(第二卡合部件一个的示例)沿水平方向延伸出。另一方面，在零件主体31的开口的上端部一体地形成有被顶棚搬送装置把持的凸缘33。
[0043]
左右一对的被夹持板32形成为与容器主体20的顶面22重叠的平坦的板状，并且其外侧面以在容器正面侧接近的方式倾斜。
[0044]
凸缘33形成为四个角部经过倒角的平面矩形，在顶面中央部形成有凹部330，并通
过顶棚搬送装置进行感测或定位。
[0045]
在凸缘33的下表面中央部的被零件主体31包围的区域，形成有向下方突出的零件侧突起部件34(第二突起部件一个的示例)。从左右方向观察时，零件侧突起部件34的下侧的顶部340具有顶点位于下侧的三角形形状。在安装状态下从左右方向上观察时，零件侧突起部件34的顶部340的三角形形状的前侧的边341比后侧的边342相对于上下方向上的倾斜角大。例如，前侧的边341的相对于上下方向上的倾斜角θ1在60
°
～80
°
的范围内，而后侧的边342的相对于上下方向上的倾斜角θ2在0
°
～5
°
的范围内。其理由将在后面进行说明。
[0046]
从左右方向上观察时，零件侧突起部件34的上侧的基部343相对于上下方向倾斜。例如，从左右方向上观察时，基部343的前侧的面344相对于上下方向形成40
°
～50
°
的范围内的角度θ3，此外，基部343的后侧的面345相对于上下方向形成40
°
～50
°
的范围内的角度θ4。也就是说，从左右方向上观察时，基部343具有越靠近上侧前后宽度越宽的梯形形状。
[0047]
此外，基部343具有贯通前后方向的贯通孔346。根据这样的贯通孔346，通过抑制成形时的缩痕、空隙等的外观不良，不仅能够提高搬送零件30的成形性，而且还能够抑制清洗后的水残留。另外，基部343也可以具有向前后方向凹陷的孔来代替贯通孔346。
[0048]
[搬送零件安装部件]
[0049]
接下来，对搬送零件安装部件进行说明。图6是表示容器主体的搬送零件安装部件的立体图。
[0050]
用于安装搬送零件30的搬送零件安装部件24一体地形成于容器主体20的顶面22。因此，搬送零件安装部件24由与容器主体20相同的成形材料而成形。
[0051]
搬送零件安装部件24具备：支承轨道25(第一卡合部件一个的示例)，其在安装状态下限制搬送零件30的向上下方向及左右方向的位移；以及第一止动件26～第三止动件28，其在安装状态下限制搬送零件30的向前方的位移；以及主体侧突起部件29(第一突起部件一个的示例)，其在安装状态下限制搬送零件30的向后方的位移。
[0052]
支承轨道25具备以沿着前后方向且于左右方向上并列的方式形成于容器主体20的顶面22上的第一轨道部件251～第四轨道部件254。第一轨道部件251支承搬送零件30的左侧的被夹持板32的外侧面部，第二轨道部件252支承搬送零件30的左侧的被夹持板32的内侧面部，第三轨道部件253支承搬送零件30的右侧的被夹持板32的内侧面部，第四轨道部件254支承搬送零件30的右侧的被夹持板32的外侧面部。
[0053]
第一轨道部件251与第二轨道部件252以及第三轨道部件253与第四轨道部件254以随着朝向容器主体20的正面侧而使轨道之间的宽度逐渐变窄的方式倾斜地设置。此外，为了与容器主体20的顶面22之间形成卡合槽，各轨道部件251～254弯曲形成为从顶面22立起的大致呈l字状截面(参照图7))，并沿前后方向直线延伸。根据这样的支承轨道25，在安装状态下，通过将搬送零件30的左右一对的被夹持板32的外侧面部和内侧面部卡合支承，至少能够限制搬送零件30的上下方向及左右方向的位移。
[0054]
在容器主体20的顶面22上，第一止动件26沿左右方向形成于第一轨道部件251的前端部与第二轨道部件252的前端部之间，第二止动件27沿左右方向形成于第三轨道部件253的前端部与第四轨道部件254的前端部之间。第一止动件26和第二止动件27具有与支承轨道25类似的大致l字状截面，并且在安装状态下，与搬送零件30的左右一对的被夹持板32的前端部卡合，至少限制搬送零件30的向前方的位移。
[0055]
在容器主体20的顶面22上，第三止动件28沿左右方向形成于第二轨道部件252的后端部与第三轨道部件253的后端部之间。第三止动件28具有与支承轨道25类似的大致l字状截面(参照图8)，在安装状态下与搬送零件30的零件主体31的后端部卡合，至少限制搬送零件30的向前方的位移。
[0056]
在容器主体20的顶面22上，主体侧突起部件29形成于第二轨道部件252与第三轨道部件253之间。主体侧突起部件29以具有所定的高度h1的方式从容器主体20的顶面22向上方突出而形成。例如，主体侧突起部件29的高度h1被限定在6.5mm～10mm的范围内。
[0057]
主体侧突起部件29为沿左右方向的板形状，从左右方向上观察时，其顶部290形成为带有圆角。此外，主体侧突起部件29具备沿左右方向的板形状的突起主体291和从突起主体291的左右两端部向后方延伸出的左右一对的加强肋292。从左右方向上观察时，左右一对的加强肋292呈三角形，通过扩大突起主体291与容器主体20的顶面22的接合区域，从而提高主体侧突起部件29的倾倒强度。
[0058]
[搬送零件的安装方法]
[0059]
以下，对搬送零件的安装方法进行说明。图7是表示搬送零件的安装方法的说明图，是以图2的a-a线剖开的局部剖视图。图8是表示搬送零件的安装方法的说明图，是以图2的b-b线剖开的局部剖视图。
[0060]
为了将搬送零件30安装于容器主体20的搬送零件安装部件24，将搬送零件30配置于容器主体20的顶面22的后方侧，将搬送零件30的被夹持板32从后方向前方滑动地插入到构成搬送零件安装部件24的支承轨道25的多个轨道部件251～254之间。当搬送零件30被插入到所定的安装位置时，被夹持板32的左右两侧面部被支承轨道25卡合支承，并且被夹持板32的前端部及零件主体31的后端部被各挡块26～28卡合支承。据此，安装状态的搬送零件30向上下方向、左右方向及前后方向的位移受到限制。
[0061]
此外，当使搬送零件30从后方向前方滑动时，搬送零件30的零件侧突起部件34的顶部340越过搬送零件安装部件24的主体侧突起部件29的顶部290，零件侧突起部件34的顶部340卡合于主体侧突起部件29的顶部290的前侧。据此，安装状态的搬送零件30向后方的位移也受到限制。
[0062]
为了使搬送零件30的零件侧突起部件34的顶部340越过搬送零件安装部件24的主体侧突起部件29的顶部290，主体侧突起部件29及零件侧突起部件34的至少一方需要在上下方向上弹性位移。在本发明的基板收纳容器1中，对零件侧突起部件34朝向上方施加所定载荷时的零件侧突起部件34向上方的位移量小于对主体侧突起部件29朝向下方施加同样的所定载荷时的主体侧突起部件29向下方的位移量。
[0063]
例如，在本实施方式的基板收纳容器1中，对主体侧突起部件29朝向下方施加所定载荷时，主体侧突起部件29的周边部位(顶面22的一部分)向下方弹性形变，由此实现主体侧突起部件29的向下方的位移。此外，对零件侧突起部件34朝向上方施加所定载荷时，零件侧突起部件34的向上方的位移量远小于主体侧突起部件29的向下方的位移量。
[0064]
根据这样的基板收纳容器1，并非像以往的弹性卡合片与突起部件的卡合，而是通过突起部件29、34彼此的卡合使搬送零件30安装于容器主体20，因此可以提高搬送零件30的安装力。由此，能够防止因基板收纳容器1的搬送中的突然停止或移动引起的冲击导致搬送零件30从容器主体20脱落，或者在操作者进行处理时搬送零件30从容器主体20脱落。
[0065]
在上述的安装状态下，主体侧突起部件29的顶部290与零件侧突起部件34的顶部340在上下方向上的重叠范围为1.5mm～3.5mm。其原因是，如果上下方向上的重叠范围小于1.5mm，则无法实现所需的安装力(拆卸载荷)，此外，如果超过3.5mm，则安装时的载荷(安装载荷)增大，搬送零件30的安装性下降。
[0066]
此外，如前所述，由于主体侧突起部件29的高度h1被限定在6.5mm～10mm的范围内，因此可以优化主体侧突起部件29的顶部290和零件侧突起部件34的顶部340的上下方向上的重叠范围，并且可以防止主体侧突起部件29的破损。也就是说，当主体侧突起部件29的高度h1小于6.5mm的情况时，主体侧突起部件29的顶部290与零件侧突起部件34的顶部340的上下方向上的重叠范围有变小的可能性，此外，当超过10mm的情况时，则存在主体侧的突起部件29的强度不足，在安装时有破损，或者在安装状态下无法维持所需的卡合力的可能性。
[0067]
此外，如前所述，从左右方向上观察时，零件侧突起部件34的基部343的前侧的面344相对于上下方向形成40
°
～50
°
的范围内的角度θ3，此外，后侧的面345相对于上下方向形成40
°
～50
°
范围内的角度θ4，从而当从左右方向观察时，越靠上侧前后宽度越宽，并且具有强度优异的梯形形状，因此，不仅可以防止零件侧突起部件34因安装时的载荷而破损，而且可以维持安装状态下所需的卡合力。
[0068]
此外，如前所述，在安装状态下从左右方向上观察时，由于零件侧突起部件34的顶部340的三角形形状的前侧的边341比后侧的边342相对于上下方向的倾斜角大，因此，零件侧突起部件34的顶部340容易越过主体侧突起部件29的顶部290，从而不仅能够减轻安装时的安装载荷，而且能够实现所需的卡合力。
[0069]
此外，如前所述，当前侧的边341相对于上下方向的倾斜角θ1在60
°
～80
°
的范围内的情况时，能够减轻安装时的安装载荷，并且能够将主体侧突起部件29向下方按入所定的量(例如1.5mm～3.5mm)。
[0070]
此外，如上所述，当后侧的边342相对于上下方向的倾斜角θ2在0
°
～5
°
的范围内的情况时，提高安装状态下的卡合力。
[0071]
另外，对本实施方式的基板收纳容器1和专利文献1中所示的以往的基板收纳容器就将容器主体20上所安装的搬送零件30向后方侧按压，搬送零件30是否从容器主体20脱离进行了对比实验，结果发现，与以往的基板收纳容器相比，本实施方式的基板收纳容器1进一步需要1000n以上的力才能使搬送零件30从容器主体20脱离。
[0072]
以上，对各实施方式进行了详细说明，但本发明并不限定于特定的实施方式，在权利要求中记载的范围内，能够进行各种变形和变更。另外，也可以组合上述实施方式的全部构成要素或多个构成要素。
[0073]
附图标记说明
[0074]1ꢀꢀꢀꢀ
基板收纳容器
[0075]
10
ꢀꢀꢀ
盖体
[0076]
20
ꢀꢀꢀ
容器主体
[0077]
21
ꢀꢀꢀ
开口部
[0078]
22
ꢀꢀꢀ
顶面
[0079]
23
ꢀꢀꢀ
侧面
[0080]
24
ꢀꢀꢀ
搬送零件安装部件
[0081]
25
ꢀꢀꢀ
支承轨道
[0082]
251
ꢀꢀ
第一轨道部件
[0083]
252
ꢀꢀ
第二轨道部件
[0084]
253
ꢀꢀ
第三轨道部件
[0085]
254
ꢀꢀ
第四轨道部件
[0086]
26
ꢀꢀꢀ
第一止动件
[0087]
27
ꢀꢀꢀ
第二止动件
[0088]
28
ꢀꢀꢀ
第三止动件
[0089]
29
ꢀꢀꢀ
主体侧突起部件
[0090]
290
ꢀꢀ
顶部
[0091]
291
ꢀꢀ
突起主体
[0092]
292
ꢀꢀ
加强肋
[0093]
30
ꢀꢀꢀ
搬送零件
[0094]
31
ꢀꢀꢀ
零件主体
[0095]
32
ꢀꢀꢀ
被夹持板
[0096]
33
ꢀꢀꢀ
凸缘
[0097]
330
ꢀꢀ
凹部
[0098]
34
ꢀꢀꢀ
零件侧突起部件
[0099]
340
ꢀꢀ
顶部
[0100]
341
ꢀꢀ
边
[0101]
342
ꢀꢀ
边
[0102]
343
ꢀꢀ
基部
[0103]
344
ꢀꢀ
面
[0104]
345
ꢀꢀ
面
[0105]
346
ꢀꢀ
贯通孔
[0106]wꢀꢀꢀꢀ
基板