波长选择模块、照射系统和量测系统的制作方法

技术特征：
1.一种用于量测设备的波长选择模块，包括：一个或多个滤波器元件，能够操作为接收包括多个波长的输入辐射束，以提供对相应输出辐射束的波长特性的选择控制；其中，所述一个或多个滤波器元件中的至少一个包括至少两个线性可变滤波器。2.根据权利要求1所述的波长选择模块，其中，所述至少两个线性可变滤波器包括至少一个重叠的带通线性可变滤波器对，所述带通线性可变滤波器对包括一起提供带通线性可变滤波器的短通线性可变滤波器和长波长路径线性可变滤波器。3.根据权利要求2所述的波长选择模块，包括串联的一对所述滤波器元件，其中所述滤波器元件中的至少一个包括所述至少一个重叠的带通线性可变滤波器对。4.根据权利要求3所述的波长选择模块，其中，所述一对滤波器元件中的每个包括具有不同透射特性的多个不同区域，所述区域中的至少一些包括以下之一：限定各自通带的各自带通线性可变滤波器对；限定各自阻带的各自带阻线性可变滤波器对；单个短通线性可变滤波器；或者单个长通线性可变滤波器。5.根据权利要求4所述的波长选择模块，其中，所述带通线性可变滤波器对中的每个限定所述波长选择模块的总波长范围内的不同通带。6.根据权利要求4或5所述的波长选择模块，其中，所述波长选择模块的总波长范围被划分为多个子波段，并且所述区域的透射特性为使得对于所述子波段中的每个：所述一对滤波器元件中的第一滤波器元件包括限定在所述子波段内可变的开启波长下的开启边缘的区域，并且所述一对滤波器元件中的第二滤波器元件包括限定在所述子波段内可变的截断波长下的截断边缘的区域。7.根据权利要求6所述的波长选择模块，其中，所述子波段的数量为四，并且顺序地包括：第一子波段、第二子波段、第三子波段和第四子波段，其中：所述第一滤波器元件包括：第一区域，所述第一区域包括第一重叠的带通线性可变滤波器对，其限定基本上遍及所述第一子波段和所述第二子波段可变的第一通带，并且第二区域，所述第二区域包括第二重叠的带通线性可变滤波器对，其限定基本上遍及所述第三子波段和所述第四子波段可变的第二通带；以及所述第二滤波器元件包括：第三区域，所述第三区域包括第三重叠的带通线性可变滤波器对，其限定基本上遍及所述第二子波段和所述第三子波段可变的第三通带。8.根据权利要求7所述的波长选择模块，其中，所述第二滤波器元件进一步包括：第四区域，包括截断波长在所述第一子波段内可变的至少一个短通线性可变滤波器；以及第五区域，包括开启波长在所述第四子波段内可变的至少一个长通线性可变滤波器。9.根据权利要求7所述的波长选择模块，其中，所述第二滤波器元件进一步包括：第四区域，所述第四区域包括第一重叠的带阻线性可变滤波器对，限定具有在所述第
一子波段内可变的第一边缘和在所述第四子波段内可变的第二边缘的阻带。10.根据权利要求1所述的波长选择模块，包括具有所述至少两个线性可变滤波器的单个滤波器元件，其中所述至少两个线性可变滤波器包括在所述滤波器元件上被布置为空间上和/或角度上分离的第一线性可变滤波器和第二线性可变滤波器。11.根据权利要求10所述的波长选择模块，其中，所述第一线性可变滤波器和所述第二线性可变滤波器相似或相同。12.根据权利要求11所述的波长选择模块，其中，所述第一线性可变滤波器和所述第二线性可变滤波器被布置为使得它们的相反端彼此相邻。13.根据权利要求10所述的波长选择模块，其中，所述第一线性可变滤波器包括比所述第二线性可变滤波器更窄的波长范围。14.根据权利要求13所述的波长选择模块，其中，所述第一线性可变滤波器和所述第二线性可变滤波器中的每个包括遍及所述滤波器元件的相同或相似的空间和/或角度幅度。15.根据权利要求13或14所述的波长选择模块，其中，所述第二线性可变滤波器的更窄的波长范围包括所述第一线性可变滤波器的范围中的子波段。

技术总结
描述了一种用于量测设备的波长选择模块。该波长选择模块包括：一个或多个滤波器元件，可操作为接收包括多个波长的输入辐射束，以提供对相应输出辐射束的波长特性的选择控制。所述一个或多个滤波器元件中的至少一个包括至少两个线性可变滤波器。少两个线性可变滤波器。少两个线性可变滤波器。


技术研发人员：G
受保护的技术使用者：ASML荷兰有限公司
技术研发日：2020.07.23
技术公布日：2022/4/12