具有收容环境检测的基板收容装置的制作方法

1.本发明关于一种基板收容装置，特别是一种提供有内部收容环境检测手段的基板收容装置，以及收容环境检测手段连接至基板收容装置的方法。


背景技术：

2.目前极紫外光(euv)工艺中，所涉及的光掩膜需以专用的euv光掩膜盒保护。图1显示一种用于容置所述euv光掩膜的光掩膜盒，具有由一外盒100及一内盒110所定义而成的内层和外层容置空间。外盒100包含一盒盖101和一底座102，两者结合定义出容置该内盒110的一容置空间。内盒110包含一盒盖111和一底座112，其经由特殊的手段结合以定义出具密封效果的一容置空间来容置一光掩膜120。
3.在已知清洗处理中，容置有内盒110的外盒100被送进一清洗设备中处理，清洗的液体或气体被通入外盒100中的容置空间以清洗外盒100内部及内盒110的外部，最后通入一烘干气体至外盒100内进行烘干残留的液体和水气。若残留的水气附着在内盒110，有可能会影响光掩膜的洁净度。因此，所述清洗处理的容置环境监控变成重要的动作。当外盒100是收容的状态，即盒盖101和底座102相互结合，内部收容环境无法经由电子仪器进行量测而获得环境信息，像是湿度。纵使在外盒100内侧设置一感测器，清洗的液体或烘干的气体会增加带电感测器损坏的风险。当然，要求高洁净度的芯片收容装置也可能面临同样的问题。
4.有鉴于已知基板收容装置在清洗处理中的监控限制，有必要发展一种具有收容环境检测的基板收容装置，且可有效降低清洗气体或烘干气体所造成的损坏风险。


技术实现要素：

5.本发明的目的在于提出一种基板收容装置，具有用于容置一内盒的一外盒及可拆卸地连接于该外盒的一检测装置，该内盒用于容置一基板，该检测装置包含：一感测部，具有一感测端、一腔体及一感测器，该感测部可拆卸地连接于该外盒，使该感测端暴露于该外盒内侧的一容置空间，该腔体延伸于该外盒的一外侧和该容置空间之间并容置该感测器，该腔体经由该感测端通信连接该外盒的容置空间，藉此让该感测器读取关于该容置空间的信息。
6.在一具体实施例中，该感测部的感测端具有一透气组件，使该感测部的腔体经由该透气组件与该外盒的容置空间通信连接。
7.在一具体实施例中，该感测部还具有一连接端，该连接端暴露于该外盒的外侧，且该连接端提供有与该感测器电性耦接的一第一连接器用于传输一感测信号。
8.在一具体实施例中，该第一连接器自该感测部的连接端向该外侧延伸。
9.在一具体实施例中，该感测部具有一外壳和一内壳，该外壳和该内壳彼此可拆卸地连接并定义该腔体，该外壳提供有暴露于该外盒外侧的该连接端，该内壳提供有暴露于该外盒容置空间的该感测端。
10.在一具体实施例中，该外壳的一内侧面与该内壳的一外侧面相连接，且该内壳延伸于该外盒的外侧和容置空间。
11.在一具体实施例中，该外壳的一外侧面与该内壳的一内侧面相连接，且该外壳延伸于该外盒的外侧和容置空间。
12.在一具体实施例中，该外壳与该内壳为相互转动地和拆卸地连接。
13.在一具体实施例中，该外壳和该内壳固定于该外盒的一壁上，且该壁被夹于该外壳和该内壳之间。
14.在一具体实施例中，该检测装置还包含：一配接部，具有一配接端及一壳体，该配接端自该壳体延伸且可拆卸地连接至该感测部的外壳，该壳体容置有一电路组件，该电路组件经由该配接端电性耦接该第一连接器。
15.在一具体实施例中，该配接端提供有一第二连接器，该第二连接器结构匹配并电连接该第一连接器，以接收该感测信号。
16.在一具体实施例中，该第一连接器自该感测部的连接端向该外侧沿着一安装方向延伸，该第二连接器沿着该安装方向与该第一连接器可拆卸地连接，使该配接部的配接端可拆卸地连接至该感测部的外壳上。
17.在一具体实施例中，该配接端具有一弓部，该弓部可拆卸地套在该感测器的外壳上，使该配接部连接至该感测部。
18.在一具体实施例中，该配接部还具有一连接臂，当该配接部连接至该感测部，该连接臂的一自由端固定连接至该外盒，藉此稳固该配接部和该感测部的连接。
19.在一具体实施例中，该电路组件包含一处理单元、一显示模块及一无线通讯模块，该无线通讯模块发送该感测信号。
20.本发明另一目的在于提供一种安装检测装置至一基板收容装置的方法，包含：提供一感测部，该感测部具有一感测端、一腔体、一感测器及一连接端，其中该腔体容置该感测器，该连接端提供有一第一连接器；将该感测部可拆地连接于一外盒，使该感测端暴露于该外盒的一容置空间，该腔体延伸于该外盒的一外侧和该容置空间之间，该腔体经由该感测端通信连接该外盒的容置空间；及将该第一连接器朝该外盒的外侧沿着一安装方向延伸。
21.在一具体实施例中，该方法还包含：提供一配接部，该配接部具有一配接端及一壳体，其中该配接端自该壳体延伸，该配接端提供有一第二连接器，该壳体容置有一电路组件；将该配接部沿着该安装方向结合该感测部，使该配接部的配接端与该感测部的连接端连接，并让该第一连接器与该第二连接器电连接。
22.在一具体实施例中，所述将该配接部沿着该安装方向结合该感测部，还包含：在该配接部提供一连接臂并将该连接臂的一自由端固定连接至该外盒，藉此稳固该配接部和该感测部的连接。
23.在一具体实施例中，所述将该感测部可拆地连接于该外盒，还包含：将该感测部的一内壳固定连接在该外盒的一壁上，接着将该感测部的一外壳固定在该内壳上，其中该内壳提供有该感测端，该外壳提供有该连接端。
24.在一具体实施例中，所述将该感测部可拆地连接于该外盒，还包含：以该感测部的一内壳和一内壳夹住该外盒的一壁，其中该内壳提供有该感测端，该外壳提供有该连接端。
25.本发明又一目的在于提供一种检测装置，用于一基板收容装置以读取一容置空间的信息，包含：一感测部，具有一感测端、一连接端和在该感测端和该连接端之间延伸的一腔体，该腔体容置有一感测器且该腔体经由该感测端与该感测部的一外侧流体连接；及一配接部，具有一配接端及一电路组件，其中该配接端可拆卸地连接至该感测部并电连接该感测器，该电路组件经由该配接端电连接该感测器。
26.在一具体实施例中，该感测部的连接端提供有一第一连接器，该配接部的配接端提供有一第二连接器，且该感测部与该配接部沿着一安装方向可拆卸地连接，使该第一连接器和该第二连接器可拆卸地电连接。
27.在一具体实施例中，该配接部的配接端具有一弓部，该弓部可拆卸地结合至该感测部。
28.在一具体实施例中，该感测部配置成可拆卸地匹配且连接至该基板收容装置的一安装孔，该配接部具有至少一连接臂，该连接臂配置成结合该基板收容装置的一凸肋。
29.在一具体实施例中，该电路组件包含一处理单元、一显示模块及一无线通讯模块。
附图说明
30.参照下列图式与说明，可更进一步理解本发明。非限制性与非穷举性实例系参照下列图式而描述。在图式中的构件并非必须为实际尺寸；重点在于说明结构及原理。
31.图1例示一种已知基板收容装置光掩膜盒的爆炸图；
32.图2例示本发明基板收容装置的立体图；
33.图3为图2的俯视图；
34.图4显示本发明检测装置的一拆卸状态；
35.图5为本发明基板收容装置的方块示意图；
36.图6a及图6b为本发明第一实施例的剖面图，分别显示已组装的检测装置及检测装置的分解图；
37.图7a至图7c分别显示本发明第一实施例的检测装置的侧视图、俯视图及仰视图；
38.图8显示本发明第一实施例检测装置的爆炸图；
39.图9a及图9b为本发明第二实施例的剖面图，分别显示已组装的检测装置及检测装置的分解图；
40.图10a至图10c分别显示本发明第二实施例的检测装置的侧视图、俯视图及仰视图；
41.图11显示本发明第二实施例检测装置的爆炸图；
42.图12示意本发明第二实施例检测装置的一安装方向。
43.[符号说明]
[0044]
100外盒
[0045]
101盒盖
[0046]
102底座
[0047]
110内盒
[0048]
111盒盖
[0049]
112底座
[0050]
120光掩膜
[0051]
2外盒
[0052]
21凹槽
[0053]
22壁
[0054]
23凸肋
[0055]
24安装孔
[0056]
4、4’检测装置
[0057]
41、41’感测部
[0058]
410、410’内壳
[0059]
411、411’透气组件
[0060]
412、412’感测器
[0061]
413、413’第一连接器、连接器
[0062]
414、414’外壳
[0063]
4141、4141’限位块
[0064]
4142密封环
[0065]
42、42’配接部
[0066]
420、420’配接端
[0067]
4200、4200’遮罩
[0068]
4201、4201’通道
[0069]
4202、4202’第二连接器
[0070]
4203、4203’插座
[0071]
421处理单元
[0072]
422显示模块/无线通讯模块
[0073]
423、423’壳体
[0074]
424封盖
[0075]
43连接臂
[0076]
431横向延伸部
[0077]
432垂直延伸部
[0078]
433结合部
[0079]
5气体
[0080]
6内盒
[0081]
d安装方向
具体实施方式
[0082]
以下将参考图式以完整说明本发明，并且通过例示显示特定范例具体实施例。不过，本技术主题可具体实施于许多不同形式，因此所涵盖或申请申请主题的建构并不受限于本说明书所揭示的任何范例具体实施例；范例具体实施例仅为例示。同样，本发明在于提供合理宽阔的范畴给所申请或涵盖的申请主题。
[0083]
本说明书内使用的词汇“在一实施例”并不必要参照相同具体实施例，且本说明书
内使用的“在其他一些/某些实施例”并不必要参照不同的具体实施例。其目的在于例如申请的主题包括全部或部分范例具体实施例的组合。
[0084]
图2例示本发明基板收容装置的立体图，包含一外盒2和一检测装置4。外盒2基本上类似于图1的外盒100，包含一盒盖及一底座，其定义一容置空间用来收容一内盒(未显示)或其他基板载体。检测装置4可拆卸地连接于外盒2，如图所示外盒的盒盖侧壁，但本发明不以此为限制。检测装置4可提供有一显示模块，如显示面板，用于显示外盒2中的环境信息，如湿度和温度。
[0085]
图3显示所述基板收容装置的俯视图及其局部放大图。图4显示检测装置4的一部分自外盒2分离。外盒2的侧壁形成有一凹槽21，其是由一较外侧的侧壁和一较内侧的侧壁所定义而成。凹槽21提供一安装空间，让检测装置4和外盒2的匹配度suitability提升。检测装置4包含一感测部41和一配接部42。如图4所示，感测部41可拆卸地镶嵌于外盒2的一壁22上。配接部42的一内侧可拆卸地连接至感测部41。配接部42具有至少一连接臂43，其自由端可拆卸地连接至外盒2上的一对应凸肋23。连接臂43的自由端提供有一固持结构，凸肋23于外盒2的侧壁和一平面之间延伸。连接臂43的自由端的固持结构与凸肋23为相匹配的构型，使连接臂43更能稳固抓住凸肋23，避免配接部42相对外盒2晃动。如图3所示局部放大图，连接臂43的固持部可具有类似于钩子的结构。如图所示，本实施例有两个凸肋23分别位在凹槽21的两侧，配接部42具有两个连接臂43对称配置在两侧，因此当配接部42连接至外盒2时，连接臂43分别对应连接凸肋23。然而，本发明不以此为限。
[0086]
图5为本发明基板收容装置的示意图。组装至外盒2的感测部41有一部分暴露在外盒2中的内侧环境，另一部分则暴露在外盒2的外侧而与配接部42连接。尽管未显示，外盒2的底部可提供有一进气手段如进气阀，用以通入清洁和烘干盒内环境的气体5。
[0087]
感测部41具有从外盒2的内侧至外侧可依序提供一透气组件411、一感测器412和一连接器413。透气组件411可有效阻挡通入的气体破坏感测器412但仍可连通盒内容置空间和感测部41中的容置空间。感测器412用于读取盒内容置空间的环境信息，像是湿度、温度或浓度等数值，但本发明不以此为限。连接器413负责将感测器412的信号传输至配接部42的一处理单元421。连接器413可根据感测部41和配接部41的结合方式而设计。连接器413不限于被包含在感测部41中，连接器413可分别配置在感测部41和配接部42之间的一连接接口。
[0088]
配接部42具有一电路组件，其可包含处理单元421，主要用来处理感测器412的读值，并经由一显示模块或一无线通讯模块422呈现，但本发明不以此为限。经由，配接部42的显示模块或无线通讯模块，操作人员可不必打开外盒2就能知道盒内环境的相关数据和信息。在可能的实施例中，感测部41和配接部42不一定非得彼此结合在一起，除了电连接。感测部41和配接部42之间亦可经由无线通讯沟通信息。
[0089]
图6a及图6b为本发明第一实施例的剖面图，分别显示已组装的检测装置4及检测装置4的分解图。图7a至图7c分别显示本发明第一实施例的检测装置4的侧视图、俯视图及仰视图。图8显示本发明第一实施例检测装置4的立体爆炸图。
[0090]
外盒2的壁22形成有一安装孔24。当检测装置4经由安装孔24而组装并镶嵌在壁22上，感测部41的一端被暴露在外盒2中的容置空间并面对其中容置的一内盒6。感测部41具有一感测端和一连接端，其中感测端暴露于外盒2内侧的容置空间，连接端暴露于外盒2的
外侧。感测端主要具有一内壳410、一透气组件411及一感测器412。内壳410基本上为一桶状，且内壳410的一外侧面提供有螺纹及凸缘。当内壳410容置于安装孔24，内壳410的凸缘会抵靠在壁22的内侧表面，具有螺纹的外侧表面则会穿过安装孔24，暴露在外盒2的外侧。感测器412容置于内壳410定义的一腔体，所述腔体可延伸至外盒2的外侧和内侧。透气组件411为具有透气孔的盖体，其可结合至内壳410的内侧端。一透气材质(未编号)放置于内壳410和透气组件411之间。
[0091]
连接端具有一外壳414，其有形成螺纹的一内侧表面，使外壳414的内侧表面和内壳410的外侧表面可拆卸地结合，且外壳414暴露于外盒2的外侧。如图6a所示组装的感测部41，其中壁22被相结合的内壳410和外壳414夹在中间，使感测部41不会在所述外侧和内侧之间移动。第一连接器413的一端电连接至感测器412，另一端经由一开口(未编号)延伸至外壳414的外侧。第一连接器413为呈现l型的端子，因此第一连接器413的另一端在外壳414的外侧大致上朝上延伸。因此，组装的感测部41的第一连接器413暴露于所述外侧，如同图4所示，藉此电连接配接部42的电路组件。据此，感测部41的组装顺序可包含下列步骤。将感测端的内壳410从外盒2的内侧经由安装孔24伸出具有螺纹的外侧表面至外盒2的外侧。将固持第一连接器413和感测器412的外壳414对准内壳410并以外壳414的内侧表面的螺纹结合内壳410的外侧表面的螺纹。相对转动内壳410和外壳414直到感测部41稳固镶嵌在壁22上。拆解则为上述步骤的相反顺序。
[0092]
配接部42具有一配接端420和一壳体423，两者可为一体成型。配接端420自壳体423的一内侧延伸且可拆卸地连接至感测部41的连接端的外壳414，如图7a至图7c所示。配接端420与外壳414的连接包含一电连接机制，意即当配接端420结合至外壳414上，两者同时建立电连接。参阅图7a和图8，配接端420具有一遮罩4200和一弓部(未编号)，弓部自配接端420的遮罩4200向下弯曲延伸，且所述弓部可具有弹性以利于结合外壳414的外侧表面。本实施例的外壳414为圆桶状，其与所述弓部可匹配结合。结合时，外壳414从弓部之间的一通道4201进入弓部之中，使弓部被撑开并被外壳414的限位块4141限制轴向移动，防止配接端420滑脱。拆解时，将配接端420朝上提起并克服弓部的弹力即可使外壳414自通道4201脱离。一密封环4142可配置于外壳414的外侧表面防止气体外泄。
[0093]
配接端420在遮罩4200和壳体423之间还具有一第二连接器4202和收容第二连接器4202的一插座4203。第二连接器4202为小型的数据总线，可拆卸地容置在插座4203中，使第二连接器4202的一端朝下方用于可拆卸地连接第一连接器413，另一端则电性耦接壳体423中固持的电路组件，藉此传输感测信号。然而，本发明不以此为限，第二连接器4202可配置在配接端420的其他位置，或第二连接器4202与配接端一体成型。
[0094]
壳体423基本上为一矩形体，但本发明不以此为限。壳体423的外侧用于收容所述电路组件，包含前述处理单元421和显示模块或无线通讯模块422，这些可整合在一电路板上。壳体423具有一长度、一宽度、和一厚度，长度和宽度定义一内侧表面，配接端420位于该内侧表面。壳体423的内侧表面与遮罩4200呈现一倾斜关系，如图7a所示，这是为了配合已组装感测部41的方向。宽度和厚度定义壳体423的两侧，所述连接臂43分别配置于两侧。本实施例的每一个连接臂43具有一横向延伸部431、一垂直延伸部432及一结合部engaging member，433。所述横向延伸部431自壳体423的两侧水平延伸，垂直延伸部432自横向延伸部431的末端向下延伸，结合部433配置于垂直延伸部432的底端，藉此垂直延伸部432和结合
部433定义一结合空间，其允许如图3和图4的凸肋23的进入。因此，当配接部420与结合外壳414的同时，连接臂43也同步连接凸肋23。在其他实施例中，连接臂43的数量可以更多或更少，且可配置在其他的位置。例如，连接臂43和凸肋23的位置可交换，即连接臂43是配置在外盒2而凸肋23配置在配接部42。
[0095]
一封盖424可拆卸地连接在壳体423的外侧，以将电路组件包覆。封盖424可具有部分的光穿透，使所述显示模块呈现的信息为可视。在可能的实施例中，封盖424可提供一操作界面(未显示)，供操作人员对电路组件输入控制信号。
[0096]
当感测部41组装至外盒2后，配接部42接着套在暴露于外侧的感测部41的连接部的外壳414。外壳414的部分通过配接端420的通道4201而收容在配接端420中。弓部的两个臂施加弹性以稳固外壳414。暴露于外壳414的第一连接器413和配接部42的第二连接器4203在外壳414进入配接端420的过程中一并相互结合形成电连接。连接臂43也在配接端420和外壳414连接的过程连接至凸肋23。完成上述组装和连接后，外盒2可送入清洗设备，其通入清洗气体和烘干气体至外盒2中的容置空间，而感测部41中的感测器413和配接部42中的电路组件可读取和记录容置空间中的环境信息。无线通讯模块422可即时将读值发送至远端的监控设备。清洗处理后取出的外盒2，操作人员可经由配接部42所提供的信息知道外盒2内的环境状况，不必打开外盒2进行量测。
[0097]
图9a及图9b为本发明第二实施例的剖面图，分别显示已组装的检测装置4’及检测装置4’的分解图。图10a至图10c分别显示本发明第二实施例的检测装置4’的侧视图、俯视图及仰视图。图11显示本发明第一实施例检测装置4’的立体爆炸图。
[0098]
外盒2的壁22形成有一安装孔24。当检测装置4’经由安装孔24而组装并镶嵌在壁22上，感测部41’的一端被暴露在外盒2中的容置空间并面对其中容置的一内盒6。相似地，感测部41’具有一感测端和一连接端，其中感测端暴露于外盒2内侧的容置空间，连接端暴露于外盒2的外侧。感测端主要具有一内壳410’及一感测器412’。内壳410’基本上为一桶状，且内壳410’的一内侧面提供有螺纹。内壳410’的内侧端具有镂空，如图11。感测器412’容置于内壳410’定义的一腔体，所述腔体可延伸于外盒2的内侧。一透气材质(未编号)可放置于内壳410’的镂空和感测器412’之间，如图9b和图11所示。内壳410’的直径大于安装孔24，因此内壳410’无法延伸至外盒2的外侧。
[0099]
连接端具有一外壳414’，其有形成螺纹的一外侧表面和直径较大的一桶部，其中所述桶部的直径大于安装孔24，所述螺纹外侧表面直径小于安装孔24和内壳410’，使直径较大的桶部无法穿越安装孔24，外壳414’的螺纹外侧表面和内壳410’的内侧表面可拆卸地结合，且外壳414’的两端分别延伸至外盒2的外侧和内侧。如图9a所示组装的感测部41’，其中壁22被相结合的内壳410’和外壳414’夹在中间，使感测部41’不会在所述外侧和内侧之间移动。相似地，第一连接器413’的一端电连接至感测器412’，另一端经由一开口(未编号)延伸至外壳414’的外侧。第一连接器413’为呈现l型的端子，因此第一连接器413’的另一端在外壳414’的外侧大致上朝上延伸。因此，组装的感测部41’的第一连接器413’暴露于所述外侧，如同图4所示，藉此电连接配接部42’的电路组件。据此，感测部41’的组装顺序可包含下列步骤。将连接端的外壳414’从外盒2的外侧经由安装孔24将具有螺纹的外侧表面延伸至外盒2的内侧。将外壳410’对准外壳414’并以内壳410’的内侧表面的螺纹结合外壳414’的外侧表面的螺纹。相对转动内壳410’和外壳414’直到感测部41’稳固镶嵌在壁22上。拆解
则为上述步骤的相反顺序。
[0100]
相似地，配接部42’具有一配接端420’和一壳体423’，两者可为一体成型。配接端420’自壳体423’的一内侧延伸且可拆卸地连接至感测部41’的连接端的外壳414’，如图10a至图10c所示。配接端420’与外壳414’的连接包含一电连接机制，意即当配接端420’结合至外壳414’上，两者同时建立电连接。参阅图10a和图11，配接端420’具有一遮罩4200’和一弓部(未编号)，弓部自配接端420’的遮罩4200’向下弯曲延伸，其功能如前所述。结合时，外壳414’从弓部之间的一通道4201’进入弓部之中，限位块4141’可限制弓部轴向移动，防止配接端420’滑脱。拆解的原理也相同。在一较佳实施例中，弓部可具有优良的弹性或者多直径的结构，使所述配接端可适应不同直径的外壳。
[0101]
相似地，配接端420’在遮罩4200’和壳体423’之间还具有一第二连接器4202’和收容第二连接器4202’的一插座4203’。第二连接器4202’为小型的数据总线，可拆卸地容置在插座4203’中，使第二连接器4202’的一端朝下方用于可拆卸地连接第一连接器413’，另一端则电性耦接壳体423’中固持的电路组件，藉此传输感测信号。前述插座4203和此处插座4203’的差异在于开口的位置。至于电路组件、壳体23及封盖424的细节与前述实施例相同，故其描述省略。
[0102]
当感测部41’组装至外盒2后，配接部42’接着套在暴露于外侧的感测部41’的连接部的外壳414’。暴露于外壳414’的第一连接器413’和配接部42’的第二连接器4203’在外壳414’进入配接端420’的过程中一并相互结合形成电连接。完成上述组装和连接后，外盒2可送入清洗设备或送至储藏库，操作人员可经由配接部42所提供的信息知道盒内的环境状况，不必将它打开。
[0103]
图12示意本发明第二实施例配接部42’的一安装方向，其同样可应用至第一实施例。尽管省略未显示外盒2的壁22，应可了解已组装的感测部41’略呈倾斜，而暴露的第一连接器413’的自由端也沿着一倾斜方向延伸，其决定了感测部41’和配接部42’的一安装方向d。结合时，配接部42’的插座4203’的朝下开口对准第一连接器413’的自由端并沿着所述安装方向d靠近，直到第一连接器413’和第二连接器4202’结合以及配接端420’结合外壳414’。本发明不以此为限。例如，磁性连接手段可配置在配接部42’和感测部41’之间，使两个部分可相互吸引地连接。在其他可能的实施例中，所述感测部和配接部可以是一体成型，两者不可拆分。或者，所述配接部和感测部不一定非得结构连接在一起，所述第一连接器和第二连接器之间具有无线或有线通讯连接。感测部不一定是镶嵌在外盒2的侧壁，顶部或底部也是可行的。
[0104]
基于上述说明可知，本发明提出一种基板收容装置，通过检测装置的可拆卸手段和检测装置与外盒结构的可拆卸手段，让电子元件可安全地存在于盒内的化学环境中，并创造出不同于现有的监控策略。