一种慢提拉抛动机构的制作方法

1.本实用新型属于半导体加工设备技术领域，尤其是涉及一种慢提拉抛动机构。


背景技术：

2.在光伏制造工艺过程中，晶棒通常都会通过经过粘棒、线切、脱胶等多道工序形成硅片，而在经过这些步骤的途中，会产生很多的灰尘、杂质等污染物，沉积在硅片的表面，必须对其进行清洗，不然会影响后续的使用，因此清洗工艺成为光伏制造工艺中最普遍的工艺步骤。
3.抛动机构一般用于清洗机中，在清洗的同时进行助洗，加速溶解和玻璃被清洗的硅片上的污染物，在清洗过程中来回抛动有利于表面污垢的脱落，提高清洗效果。现有技术中进行清洗时只是上下抛动，在清洗时还存在着清洗不彻底的情况，且两侧均设置电机来控制上下移动，存在一定的浪费。


技术实现要素：

4.本实用新型要解决的问题是提供一种慢提拉抛动机构，有效的解决现有技术中进行清洗时只是上下抛动，存在清洗不彻底的情况，且两侧均设置电机来控制上下移动，存在浪费的问题。
5.为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种慢提拉抛动机构，其特征在于，包括：机架、驱动装置、支撑装置、限位装置、调整装置和平衡绳；所述驱动装置一侧连接所述机架，另一侧连接所述支撑装置，驱动支撑花篮的所述支撑装置移动；所述机架上设置有若干导滑轮，所述平衡绳通过所述导滑轮转换延伸方向，一端连接所述支撑装置的一侧，另一端连接所述支撑装置的另一侧，配合所述驱动装置来回移动，保持所述支撑装置的平衡状态；所述限位装置设置在所述机架和所述调整装置上，限制所述支撑装置的移动范围；所述调整装置设置在所述支撑装置底部，随着所述支撑装置一起移动，固定所述支撑装置的倾斜角度。
6.优选地，所述支撑装置包括支撑所述花篮的支撑底座、容纳所述花篮的容置槽以及与两侧所述机架活动连接的至少两个第一固定板，所述第一固定板一端设置在所述支撑底座的底部两侧，另一端向远离所述支撑底座的方向延伸至能够与所述机架活动连接的位置。
7.更优选地，所述机架上设置有若干第一通孔，所述第一固定板上设置有第二通孔，螺栓穿过所述第二通孔和所述第一通孔，将所述第一固定板活动连接在所述机架上。
8.更优选地，所述支撑底座两侧的所述第一固定板通过所述螺栓连接不同高度的所述第一通孔，使得所述支撑底座倾斜放置，充分清洗所述花篮。
9.更优选地，所述调整装置包括底板、设置在所述底板上的调整轴以及所述调整轴顶部的活动板，所述底板与所述驱动装置连接；所述活动板上表面抵接所述支撑底板的底部，随着所述支撑底板的倾斜，所述活动板随之倾斜。
10.更优选地，所述调整轴和所述活动板设置在所述底板的非中间位置处。
11.优选地，所述驱动装置包括丝杠、直线轴承和电机，所述直线轴承一侧连接所述机架，另一侧连接所述支撑装置，所述电机设置在所述丝杠的下方，控制所述丝杠往复运动，所述丝杠带动所述直线轴承进行往复运动，所述直线轴承带动所述支撑装置移动。
12.更优选地，所述限位装置包括限制所述支撑底座最高处的第二固定板，设置在所述机架上；所述支撑底座向上移动，当所述第一固定板与所述第二固定板抵接时，所述支撑底座达到最高点。
13.更优选地，所述限位装置还包括限制所述支撑底座最低处的限位柱，设置在所述调整装置上，所述支撑底座进行角度调节时，所述支撑底座的底部抵接所述限位柱时，所述支撑底座达到倾斜最大值。
14.更优选地，所述支撑底座的倾斜范围为0-8
°
。
15.采用上述技术方案，平衡绳设置在容置槽的两侧，且平衡绳能够随着容置槽的上下移动随之移动，始终保持容置槽的平衡以及稳定，解决现有技术中支撑装置的两侧均设置驱动装置而产生浪费的现象，相比于两个驱动装置配合，平衡绳配合驱动装置具有能够更加简单、方便且减少生产经费的优势。
16.通过调整装置和支撑装置的调节，第一固定板与两侧机架上的通孔利用螺栓进行固定，使得支撑底座能够进行一定程度的倾斜，清洗晶圆能够更加彻底，得到更好的清洗效果。
附图说明
17.图1是本实用新型实施例一种慢提拉抛动机构结构示意图
18.图2是本实用新型实施例一种慢提拉抛动机构剖面示意图1
19.图3是本实用新型实施例一种慢提拉抛动机构剖面示意图2
20.图4是本实用新型实施例一种慢提拉抛动机构部分结构示意图
21.图中：
22.1、机架
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
2、容置槽
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
3、第一固定板
23.4、第二固定板
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
5、第一通孔
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
6、活动板
24.7、调整轴
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
8、底板
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
9、限位柱
25.10、平衡绳
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
11、导滑轮
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
12、丝杠
26.13、直线轴承
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
14、电机
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
15、花篮
27.16、支撑底座
具体实施方式
28.下面结合实施例和附图对本实用新型作进一步说明：
29.在本实用新型实施例的描述中，需要理解的是，术语“顶部”、“底部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆
卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
30.如图1一种慢提拉抛动机构结构示意图所示，一种慢提拉抛动机构，其特征在于，包括：机架1、驱动装置、支撑装置、限位装置、调整装置和平衡绳；机架1支撑整个抛动机构；
31.驱动装置一侧连接机架1，另一侧连接支撑装置，驱动支撑花篮15的支撑装置移动；
32.机架1上设置有若干导滑轮11，平衡绳10通过导滑轮11转换延伸方向，一端连接支撑装置的一侧，另一端连接支撑装置的另一侧，配合驱动装置来回移动，保持支撑装置的平衡状态；
33.限位装置设置在机架1和调整装置上，限制支撑装置的移动范围；
34.调整装置设置在支撑装置底部，随着支撑装置一起移动，固定支撑装置的倾斜角度。
35.具体的，平衡绳10可以为尼龙、钢材等材质，优选为不锈钢绳，一端固定连接或者绑接在容置槽2的靠近驱动装置的一侧，另一端固定连接或者绑接在容置槽2的对侧，即远离所述驱动装置的一侧，连接容置槽2对向的两侧能够更加稳定的平衡整个容置槽2，防止在移动的过程中出现翻槽或者容置槽2来回晃动的情况出现，减少相应的生产成本。
36.导滑轮11的个数为至少为3个，优选为6个，每两个为一组，其中4 个设置在容置槽2两侧底部的机架1上，另外两个设置在容置槽2一侧顶部的机架1上，平衡绳10先从底部靠近驱动装置的一侧竖直穿过导滑轮11，此时改变其延伸方向，变为水平向，再水平穿过远离驱动装置一侧的导滑轮 11，再次改变其延伸方向，重新变为竖直方向，穿过位于上方的导滑轮11，最终连接在容置槽2上。导滑轮11能够使得平衡绳10来回运动，配合驱动装置来进行平衡绳10的移动，保证容置槽2的稳定，同时滑轮能够使得平衡绳10的使用寿命延长，减少使用磨损。
37.驱动装置包括丝杠12、直线轴承13和电机14，直线轴承13的个数为两个，对称设置在丝杠12的两侧，直线轴承13的一侧连接机架1，另一侧连接支撑底座16靠近驱动装置的一侧，直线轴承13随丝杆一起上下运动，带动支撑底座16也一起上下往复运动。
38.电机14设置在丝杠12和直线轴承13的下方，控制丝杠12往复运动；丝杠12设置在两个直线轴承13的中间位置，带动直线轴承13进行往复运动，直线轴承13带动支撑底座16移动，为整个抛动机构提供动力。
39.如图4所示，支撑装置包括支撑花篮15的支撑底座16、容纳花篮15 的容置槽2以及与两侧机架1活动连接的至少两个第一固定板3，容置槽2 的形状可以为矩形、梯形等其它形状，优选为与花篮15形状大体一致的矩形，容置槽2的大小大于花篮15大小，既能够放置花篮15，又能够保证花篮15在容置槽2内能够上下抛动，充分清洗花篮15。
40.支撑底座16的形状可以为矩形、梯形等其它形状，优选为与花篮15底部形状大体一致的矩形，支撑底座16的大小略小于容置槽2的横截面积，确保能够在容置槽2内上下抛动，进行清洗；支撑底座16随着直线轴承13 的上下运动随之上下运动，来对花篮15内的晶圆进行助洗。
41.第一固定板3至少为2个，优选为两个，分别设置在支撑底座16的底部两侧，第一固
定板3的另一端向远离支撑底座16的方向延伸至能够与机架1活动连接的位置，即第一固定板3的另一端端点到达机架1上的第一通孔5处，确保螺栓能够将第一固定板3连接在机架上，调整支撑底座16的倾斜角度。
42.如图2、图3和图4所示，机架1上设置有若干第一通孔5，第一固定板3上设置有第二通孔(未画出)，螺栓穿过第二通孔和第一通孔5，将第一固定板3活动连接在机架1上。第一通孔5对称设置在两侧的机架1上，且为纵向间隔设置，间隔的距离由实际需求而定；螺栓穿过第一固定板3上的第二通孔和第一通孔5，将支撑底座16固定在机架1上，两侧的第一固定板3可以连接不在同一水平线上的第一通孔5，使得支撑底座16处于一个倾斜状态，但倾斜角度范围在0-8
°
之间，根据实际需求来进行角度的调整。支撑底座16的倾斜带动支撑底座16上的花篮15一起倾斜，能够多角度全面的清洗花篮15，将各个部分的花篮15全部清洗干净，增强清洗效果。
43.调整装置包括底板8、设置在底板8上的调整轴7以及调整轴7顶部的活动板6；底板8的形状可以为矩形、梯形等其它形状，优选为矩形，底板 8与驱动装置的直线轴承13连接，与直线轴承13和支撑底板16一起进行上下运动。
44.活动板6的形状可以为矩形、圆形等其它形状，大小远远小于支撑底板 16的大小。活动板6上表面抵接支撑地板16的底部，随着支撑底板16的倾斜，活动板随之倾斜，下表面连接调整轴7，调整轴7的转动使得活动板随之转动，调整轴7的转动角度为0-8
°
，转动的方向可以为顺时针也可以为逆时针，即活动板6可以向左倾斜也可以向右倾斜，清洗时进行角度的调节可以清洗的更加彻底，得到更好的清洗效果。其中，调整轴7和活动板6 设置在底板8的非中间位置处。
45.限位装置包括限制支撑底座16最高处的第二固定板4，设置在机架1 上；第二固定板4设置在容置槽2两侧的机架1上，并确保能够与第一固定板3能够接触；第二固定板4的形状可以为矩形、圆形等其它形状，优选为矩形，第二固定板4的长度恰好能抵接第一固定板3且不与支撑底板16接触，防止破坏支撑底板16。
46.当支撑底座16向上移动，当第一固定板3与第二固定板4抵接时，支撑底座16达到最高点，不再向上移动，若支撑底座16处于倾斜状态，一侧的第一固定板3先与一侧的第二固定板4抵接，等到另一侧的第一固定板3 与第二固定板4抵接时，支撑底板16恢复水平状态，便于工作人员取出花篮15。
47.限位装置还包括限制支撑底座16最低处的限位柱9，设置在底板8上，支撑底座16进行角度调节时，支撑底座16的底部抵接限位柱9时，支撑底座16达到倾斜最大值。限位柱9的个数至少为2个，分别对称设置在支撑底板16两侧底部的底板8上，限位柱9的形状为圆柱形、长方体等其它形状，优选为圆柱体，上表面与支撑底座16的底部接触；限位柱9的长度根据实际需求而定，保证支撑底座16的倾斜范围为0-8
°
即可。
48.当支撑底座16倾斜时，一侧的底部碰到限位柱9的上表面时，便不再继续向下倾斜，调整好角度后，用螺栓将支撑底座16固定在此角度，对晶圆进行助洗，助洗完成后去除螺栓，支撑底座16随驱动装置向上移动，两侧的第一固定板3均抵接第二固定板4时，支撑底座16恢复水平状态，清洗完毕，机械手将清洗后的花篮15取走进行下一工序。
49.以上对本实用新型的实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均
等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。