一种慢提拉抛动机构的制作方法

技术特征：
1.一种慢提拉抛动机构，其特征在于，包括：机架、驱动装置、支撑装置、限位装置、调整装置和平衡绳；所述驱动装置一侧连接所述机架，另一侧连接所述支撑装置，驱动支撑花篮的所述支撑装置移动；所述机架上设置有若干导滑轮，所述平衡绳通过所述导滑轮转换延伸方向，一端连接所述支撑装置的一侧，另一端连接所述支撑装置的另一侧，配合所述驱动装置来回移动，保持所述支撑装置的平衡状态；所述限位装置设置在所述机架和所述调整装置上，限制所述支撑装置的移动范围；所述调整装置设置在所述支撑装置底部，随着所述支撑装置一起移动，固定所述支撑装置的倾斜角度。2.根据权利要求1所述的一种慢提拉抛动机构，其特征在于：所述支撑装置包括支撑所述花篮的支撑底座、容纳所述花篮的容置槽以及与两侧所述机架活动连接的至少两个第一固定板，所述第一固定板一端设置在所述支撑底座的底部两侧，另一端向远离所述支撑底座的方向延伸至能够与所述机架活动连接的位置。3.根据权利要求2所述的一种慢提拉抛动机构，其特征在于：所述机架上设置有若干第一通孔，所述第一固定板上设置有第二通孔，螺栓穿过所述第二通孔和所述第一通孔，将所述第一固定板活动连接在所述机架上。4.根据权利要求3所述的一种慢提拉抛动机构，其特征在于：所述支撑底座两侧的所述第一固定板通过所述螺栓连接不同高度的所述第一通孔，使得所述支撑底座倾斜放置，充分在所述容置槽内清洗所述花篮。5.根据权利要求3或4所述的一种慢提拉抛动机构，其特征在于：所述调整装置包括底板、设置在所述底板上的调整轴以及所述调整轴顶部的活动板，所述底板与所述驱动装置连接；所述活动板上表面抵接所述支撑底座的底部，随着所述支撑底座的倾斜，所述活动板随之倾斜。6.根据权利要求5所述的一种慢提拉抛动机构，其特征在于：所述调整轴和所述活动板设置在所述底板的非中间位置处。7.根据权利要求1所述的一种慢提拉抛动机构，其特征在于：所述驱动装置包括丝杠、直线轴承和电机，所述直线轴承一侧连接所述机架，另一侧连接所述支撑装置，所述电机设置在所述丝杠的下方，控制所述丝杠往复运动，所述丝杠带动所述直线轴承进行往复运动，所述直线轴承带动所述支撑装置移动。8.根据权利要求2所述的一种慢提拉抛动机构，其特征在于：所述限位装置包括限制所述支撑底座最高处的第二固定板，设置在所述机架上；所述支撑底座向上移动，当所述第一固定板与所述第二固定板抵接时，所述支撑底座达到最高点。9.根据权利要求2或8所述的一种慢提拉抛动机构，其特征在于：所述限位装置还包括限制所述支撑底座最低处的限位柱，设置在所述调整装置上，所述支撑底座进行角度调节时，所述支撑装置的底部抵接所述限位柱时，所述支撑底座达到倾斜最大值。10.根据权利要求9所述的一种慢提拉抛动机构，其特征在于：所述支撑底座的倾斜范围为0-8
°
。

技术总结
本实用新型提供一种慢提拉抛动机构，包括：机架、驱动装置、支撑装置、限位装置、调整装置和平衡绳；驱动装置一侧连接机架，另一侧连接支撑装置，驱动支撑花篮的支撑装置移动；机架上设置有若干导滑轮，平衡绳通过导滑轮转换延伸方向，一端连接支撑装置的一侧，另一端连接支撑装置的另一侧，配合驱动装置来回移动，保持支撑装置的平衡状态；限位装置设置在机架和调整装置上，限制支撑装置的移动范围；调整装置设置在支撑装置底部，随着支撑装置一起移动，固定支撑装置的倾斜角度。本实用新型的有益效果是通过调整装置和支撑装置的调节，使得支撑底座能够进行一定程度的倾斜，清洗晶圆能够更加彻底，得到更好的清洗效果。得到更好的清洗效果。得到更好的清洗效果。


技术研发人员：靳立辉 杨骅 姚长娟 高兵 任志高 杨杰 王欢 陈畅
受保护的技术使用者：天津环博科技有限责任公司
技术研发日：2021.09.29
技术公布日：2022/4/6