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面板镀膜设备的制作方法

2022-04-07 06:48:41 来源:中国专利 TAG:


1.本实用新型涉及显示设备制造领域,尤其涉及一种面板镀膜设备。


背景技术:

2.显示设备的显示面板在加工时,需要使用面板镀膜设备对显示面板(以下简称面板)进行镀膜处理。参照图1,面板镀膜设备包括反应室1',反应室1'内设置有可上下移动的基座2',基座2'用于放置待镀膜的面板,基座2'上开设有台阶通孔201',台阶通孔201'内活动设置有支撑柱3',支撑柱3'包括柱本体301'和固定在柱本体301'上端的支撑部302',支撑部302'可以隐藏于所述台阶通孔201'内,由于支撑部302'的限定支撑柱3'不会脱离基座2',反应室1'的底部设置有避让支撑柱3'的避让槽101',当基座2'下移时,基座2'可以带动支撑柱3'向下移动,使支撑柱3'插入避让槽101'内,当支撑柱3'与避让槽101'的槽底接触,且基座2'持续下移时,支撑柱3'会高于基座2'的上表面,支撑柱3'能够支撑基座2'上的面板。
3.现有技术存在以下缺陷:镀膜期间,反应室1'内会发生一系列的化学反应,使得反应物质可以沉积在面板的表面形成膜结构,反应室1'内的反应物质还会沉积在避让槽101'内形成杂质,不便于清理,若杂质过多还会影响支撑柱3'支撑面板的平整度,进而影响对面板的镀膜质量。


技术实现要素:

4.本实用新型实施例的目的在于:提供一种面板镀膜设备,其内部杂质少,对面板的镀膜质量好。
5.为达上述目的,本实用新型采用以下技术方案:
6.提供一种面板镀膜设备,包括反应室,所述反应室内设置有可沿竖直方向移动的基座,所述基座用于放置待镀膜的面板,所述基座上开设有台阶通孔,所述台阶通孔内活动设置有支撑柱,所述支撑柱包括柱本体和固定在所述柱本体上端的支撑部,所述支撑柱可沿竖直方向移动,以使所述支撑部选择性隐藏在所述台阶通孔内,所述反应室的底部设置有贯穿的避让孔,所述反应室的外侧壁可拆卸连接有封堵板,所述封堵板用于封堵所述避让孔,所述封堵板和所述反应室的外侧壁之间夹紧有密封圈。
7.作为面板镀膜设备的一种优选方案,所述密封圈包括第一圈体和第二圈体,所述第一圈体和所述第二圈体同心设置,所述第一圈体和所述第二圈体通过连接体连接。
8.作为面板镀膜设备的一种优选方案,所述封堵板上设置有第一安装槽,所述密封圈的一部分设置在所述第一安装槽内。
9.作为面板镀膜设备的一种优选方案,所述封堵板上设置有第一通孔,所述反应室的外侧壁设置有第一螺纹孔,第一螺钉穿过所述第一通孔旋拧入所述第一螺纹孔内。
10.作为面板镀膜设备的一种优选方案,包括缓冲片,所述缓冲片和所述封堵板连接,所述缓冲片位于所述避让孔内。
11.作为面板镀膜设备的一种优选方案,所述缓冲片为陶瓷片,所述缓冲片和所述封堵板活动连接。
12.作为面板镀膜设备的一种优选方案,所述封堵板上设置有第二螺纹孔,所述缓冲片上设置有第二通孔,第二螺钉穿过所述第二通孔旋拧入所述第二螺纹孔内,所述第二螺钉的螺钉头的下表面与所述缓冲片具有间隙。
13.作为面板镀膜设备的一种优选方案,所述缓冲片的上表面凹陷设置有第二安装槽,所述第二通孔设置在所述第二安装槽的槽底,所述第二螺钉的螺钉头设置在所述第二安装槽内。
14.作为面板镀膜设备的一种优选方案,所述第二螺钉和所述支撑柱间隔设置。
15.作为面板镀膜设备的一种优选方案,所述第二螺钉的外表面设置有保护层,所述保护层为氧化铝层。
16.本实用新型的有益效果为:通过设置避让孔和可拆卸的封堵板,当避让孔内的杂质过多时,可以将封堵板卸下,这样能够方便使用工具将避让孔内的杂质铲除,降低反应室内杂质的清理难度,使反应室内部可以保持整洁,提高支撑面板的平整度,从而提高对面板的镀膜质量;通过设置密封圈,密封圈可以封堵反应室外侧壁于封堵板之间的间隙,避免外界环境影响反应室内化学反应的进程,保证面板的镀膜质量。
附图说明
17.下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。
18.图1为现有技术所述面板镀膜设备示意图。
19.图2为本实用新型实施例所述面板镀膜设备示意图(缓冲片未示出)。
20.图3为图2的a处放大示意图。
21.图4为本实用新型实施例所述缓冲片、第二螺钉和反应室的示意图。
22.图5为本实用新型实施例所述密封圈示意图。
23.图1中:
24.1'、反应室;101'、避让槽;2'、基座;201'、台阶通孔;3'、支撑柱;301'、柱本体;302'、支撑部。
25.图2至图5中:
26.1、反应室;101、避让孔;102、第一螺纹孔;2、基座;201、台阶通孔;3、支撑柱;301、柱本体;302、支撑部;4、封堵板;401、第二螺纹孔;5、密封圈;501、第一圈体;502、第二圈体;503、连接体;6、第一螺钉;7、缓冲片;701、第二通孔;702、第二安装槽;8、第二螺钉;801、保护层。
具体实施方式
27.为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚,下面将结合附图对本实用新型实施例的技术方案作进一步的详细描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
28.如图2所示,本实用新型提供的一种面板镀膜设备,包括反应室1,反应室1内设置有可沿竖直方向移动的基座2,基座2用于放置待蒸镀的面板,基座2上开设有台阶通孔201,台阶通孔201内活动设置有支撑柱3,支撑柱3包括柱本体301和固定在柱本体301上端的支撑部302,支撑柱3可沿竖直方向移动,以使支撑部302可以隐藏于台阶通孔201内,由于支撑部302的限定支撑柱3不会脱离基座2,反应室1的底部设置有贯穿的避让孔101,反应室1的外侧壁可拆卸连接有封堵板4,封堵板4用于封堵避让孔101,参照图3,封堵板4和反应室1的外侧壁之间夹紧有密封圈5。当基座2下移时,基座2可以带动支撑柱3向下移动,使支撑柱3插入避让孔101内,当支撑柱3与封堵板4接触,且基座2持续下移时,支撑柱3会高于基座2的上表面,支撑柱3能够支撑基座2上的面板。通过设置避让孔101和可拆卸的封堵板4,当避让孔101内的杂质过多时,可以将封堵板4卸下,这样能够方便使用工具将避让孔101内的杂质铲除,降低反应室1内杂质的清理难度,使反应室1内部可以保持整洁,提高支撑面板的平整度,从而提高对面板的镀膜质量;通过设置密封圈5,密封圈5可以封堵反应室1外侧壁于封堵板4之间的间隙,避免外界环境影响反应室1内化学反应的进程,保证面板的镀膜质量。
29.参照图5,具体地,密封圈5包括第一圈体501和第二圈体502,第一圈体501和第二圈体502同心设置,第一圈体501和第二圈体502通过连接体503连接。通过设置第一圈体501和第二圈体502,可以对封堵板4和反应室1外侧壁形成双重密封,提高密封效果,保证面板的镀膜质量;通过设置连接体503,可以将第一圈体501和第二圈体502集成为一个整体,方便密封圈5的安装和更换。
30.具体地,封堵板4上设置有第一安装槽,密封圈5的一部分设置在第一安装槽内,密封圈5其余的部分位于第一安装槽外。通过设置第一安装槽,可以为密封圈5提供安装位置,降低器件之间的组装难度。组装时,可以先将密封圈5插入第一安装槽内,然后再将封堵板4固定在反应室1的外侧壁。
31.参照图3,具体地,封堵板4上设置有第一通孔,反应室1的外侧壁设置有第一螺纹孔102,第一螺钉6穿过第一通孔旋拧入第一螺纹孔102内。螺纹连接的连接强度较高,设置封堵板4和反应室1之间采用螺纹连接,第一螺钉6的锁紧力可以使封堵板4和反应室1外侧壁之间可以持续压紧密封圈5,实现对反应室1的密封,避免外界环境影响镀膜作业,保持面板的镀膜质量。
32.参照图3和图4,具体地,封堵板4靠近反应室1的一侧设置有缓冲片7,缓冲片7位于避让孔101内。在本实施例中,基座2下移可以带动支撑柱3向下移动,下移的支撑柱3会插入至避让孔101内,当支撑柱3的底部与封堵板4接触时,基座2持续下移,使得支撑柱3的支撑部302凸出于基座2的上表面,支撑柱3能够将基座2上的面板顶起,对面板提供支撑。可以理解的是,下移的支撑柱3和静止的封堵板4之间刚性碰撞可能会导致支撑柱3出现破损,不利于镀膜作业的进行,设置缓冲片7,缓冲片7可以对下移的支撑柱3进行缓冲,减少支撑柱3和封堵板4之间的刚性碰撞,避免支撑柱3在作业时出现破损,不仅可以提高支撑柱3的使用寿命,还可以提高面板的镀膜质量。
33.具体地,缓冲片7的材质为陶瓷,缓冲片7和封堵板4活动连接。在本实施例中,反应室1内为高温化学反应,即,反应室1内为高温环境,采用陶瓷材质制成的缓冲片7具有耐高温的特性,避免缓冲片7在高温环境下熔化;可以理解的是,陶瓷材质硬度较高,将缓冲片7和封堵板4松动连接,使得缓冲片7具有一定的活动空间,当支撑柱3和缓冲件发生碰撞时,
缓冲片7可以小范围移动,可以理解的是,缓冲片7的移动速度较慢,可以对支撑柱3的下移形成阻碍,从而降低支撑柱3的下移速度,使得缓冲片7与支撑柱3之间不会出现刚性碰撞,从而避免支撑柱3出现破损。
34.参照图4,具体地,封堵板4上设置有第二螺纹孔401,缓冲片7上设置有第二通孔701,第二螺钉8穿过第二通孔701旋拧入第二螺纹孔401内。安装时,可以控制第二螺钉8旋拧入第二螺纹孔401的深度,使缓冲片7和第二螺钉8的螺钉头之间具有间隙,形成缓冲片7的活动空间,以实现缓冲片7对支撑柱3的缓冲作用。
35.具体地,第二螺钉8和支撑柱3间隔设置,这样可以避免下移的支撑柱3和静止的第二螺钉8之间出现刚性碰撞,降低支撑柱3因碰撞而出现破碎的概率。
36.具体地,缓冲片7的上表面凹陷设置有第二安装槽702,第二通孔701设置在第二安装槽702的槽底,第二螺钉8的螺钉头设置在第二安装槽702内,即第二螺钉8的螺钉头的上表面不凸出于缓冲片7的上表面,这样可以进一步避免下移的支撑柱3和静止的第二螺钉8之间出现刚性碰撞,降低支撑柱3因碰撞而出现破碎的概率;可以理解的是,第二螺钉8的螺钉头尺寸会大于第二通孔701的尺寸,设置第二安装槽702,可以为第二螺钉8的螺钉头提供安装空间,避免第二螺钉8的螺钉头凸出于缓冲片7的上表面。
37.当然,为了增大支撑柱3和缓冲片7的接触面积,第二安装槽702和支撑柱3之间也需要间隔设置,这样可以避免支撑柱3与缓冲片7碰撞时产生应力过于集中,避免支撑柱3受到的压强过大,从而降低支撑柱3出现破损的概率。
38.具体地,第二螺钉8的外表面设置有保护层801。在本实施例中,反应室1内会进行一系列的化学反应,使得反应物质可以沉积在面板上形成镀膜,在第二螺钉8的外表面设置保护层801,保护层801可以对第二螺钉8提供保护,避免反应物质蚀刻第二螺钉8。在本实施例中,第二螺钉8的材质为铝,保护层801的材质为氧化铝,氧化铝为绝缘材料,可以避免铝制的第二螺钉8参与反应,从而避免缓冲片7从封堵板4处脱落。
再多了解一些

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