基板收纳容器的制作方法

1.本发明涉及一种收纳基板的基板收纳容器。


背景技术：

2.收纳半导体晶片等的基板的基板收纳容器，用于仓库内的基板保管、半导体加工装置之间的基板搬送或者工厂之间的基板搬送等。基板收纳容器构成为，可以通过来自气体置换装置送来的氮气等的惰性气体或干燥空气等置换其内部空间，以防止收纳于内部的基板被氧化或污染，或者使内部湿度保持为恒定。在基板收纳容器的底面设置有用于导入来自气体置换装置送来的气体的供气机构。
3.现有技术
4.专利文献
5.专利文献1：日本特许6265844号公报


技术实现要素：

6.发明要解决的技术问题
7.基板收纳容器在收纳基板之前，预先使用专用的清洗装置进行清洗。清洗工序中包括向基板收纳容器喷射清洗液(水)的工序，以及干燥残留在基板收纳容器的表面的清洗液的工序。然而，在现有的基板收纳容器中，存在清洗工序中清洗液容易残留在设置于其底面的供气机构的问题。
8.本发明的目的在于提供一种清洗液不易残留于供气机构的基板收纳容器。
9.解决技术问题的技术手段
10.本发明的一个技术方案是一种基板收纳容器，于前表面侧具有开口，于底面包括供气机构，其中，所述供气机构包括：导入通路，从底面侧接收气体；以及止回阀，配置于在沿着所述底面的水平面内的与所述导入通路不重合的位置，以及流路，从所述导入通路朝向所述止回阀供给所述气体。
11.发明效果
12.根据本发明，能够提供一种清洗液不易残留于供气机构的基板收纳容器。
附图说明
13.图1是表示实施例的基板收纳容器的分解立体图。
14.图2是表示容器主体的前视图。
15.图3是表示供气机构50的立体图。
16.图4是表示供气机构50的立体图。
17.图5是表示供气机构50的纵向剖面图。
18.图6是表示供气机构50的剖面立体图。
19.图7a是表示塔喷嘴70的立体图。
20.图7b是表示连通部件72与过滤器结构部件53的构件52b在水平面内的位置关系的俯视图(从图2的viib-viib方向观察的图)。
21.图8是表示供气机构150的立体图。
22.图9是表示供气机构150的剖面立体图。
具体实施方式
23.以下，参照附图对各实施例进行说明。
24.图1是表示本实施例的基板收纳容器的分解立体图，图2是表示容器主体的前视图。
25.如图1所示，基板收纳容器1具备收纳多枚基板10的容器主体2和相对于容器主体2装卸的盖体4。作为基板10，设置为可以收纳的任意的基板，基板10例如是直径为300mm或450mm的半导体晶片或掩模玻璃。虽然基板10的收纳枚数是任意的，但是在基板收纳容器1中，例如最大收纳25枚基板10。
26.如图1以及图2所示，在容器主体2的前表面侧形成有用于取出和放入基板10的开口2a，使得盖体4在维持基板收纳容器1的气密性的状态下能够安装到开口2a上。另外，在图1中，箭头f表示基板收纳容器1的前表面侧或前方向。以下，将箭头f的方向称为前表面侧或前方向，并且将与箭头f相反的方向称为后表面侧或后方向。
27.容器主体2在前表面侧以外的表面上分别具有后面壁2b，右侧壁2c，左侧壁2d，顶面2e以及底面2f，在将盖体4安装于容器主体2的开口2a上的状态下，基板收纳容器1具有大致长方体形状。基板收纳容器1是在前表面侧具有开口2a的所谓的前开口箱型容器。
28.在容器主体2的内部设置有安装在右侧壁2c和左侧壁2d上的多个支撑片21。支撑片21的数量对应于收纳在基板收纳容器1中的基板10的最大收纳数量。支撑片21在垂直方向上以相等的间隔设置在右侧壁2c和左侧壁2d，并且设置在相同高度的部位上的一对支撑片21分别从两侧支撑同一枚基板10，从而基板10水平地收纳于容器主体2中。
29.此外，在右侧壁2c和左侧壁2d上，在比支撑片21更靠近后表面侧安装有沿上下方向延伸设置的左右一对的位置限制部22。位置限制部22限制由支撑片21所支撑的基板10向后方的移动，从而限定基板10的前后方向上的位置。
30.在容器主体2上适当地安装有以下的把手23、顶凸缘25和底板26等的附属品。
31.在容器主体2的右侧壁2c和左侧壁2d的外周面上分别安装有用于握持操作的把手23。此外，在容器主体2的顶面2e的上表面上安装有顶凸缘25。顶凸缘25例如由半导体制造工厂的顶部搬送车把持，用于基板收纳容器1的工序之间的搬送或半导体加工装置上的定位。进一步，在容器主体2的底面2f上可以安装底板26。
32.容器主体2，盖体4和上述的附属品(把手23、顶凸缘25、底板26等)通过将含有树脂的成型材料注射成型而形成。作为成型材料中所含有的树脂，例如可以列举：聚碳酸酯、环烯烃聚合物、聚醚酰亚胺、聚醚酮、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚缩醛、液晶聚合物等的热塑性树脂或其合金等。
33.此外，在这些树脂中，根据需要添加包含碳纤维、碳粉末、碳纳米管、导电性聚合物等的导电性物质、或阴离子、阳离子、非离子系等的各种抗静电剂。进一步，根据需要添加紫外线吸收剂、或提高刚性的强化纤维等。
34.图3以及图4是表示供气机构50的立体图，图5是表示供气机构50的纵向剖面图。图6是表示供气机构50的剖面立体图。
35.如图3～图6所示，在容器主体2的底面2f安装有左右一对的供气机构50。在盖体4关闭的状态下，气体可以通过供气机构50从气体置换装置(未图示)导入至基板收纳容器1的内部。另外，图3以及图4示出了从前表面侧观察的右侧的供气机构50。左侧的供气机构与右侧的供气机构50构成为左右对称的形状。
36.将供气机构50与气体置换装置连接，通过将从气体置换装置所供给的气体经由供气机构50导入至基板收纳容器1的内部，可以将基板收纳容器1的内部空间置换为所规定的气体。另外，在容器主体2的底面2f设置有排气机构(未图示)。经由该排气机构将基板收纳容器1的内部的气体排出至气体置换装置，以置换所导入的气体，从而能够将基板收纳容器1的内部实质上完全置换为所需要的气体。
37.作为导入至基板收纳容器1的内部的气体，可以列举惰性气体或干燥空气等。此外，作为惰性气体可以列举氮气、氩气等。
38.如图3～图6所示，供气机构50具备：流路构成部52，其由构件52a以及嵌合于构件52a的构件52b构成；以及过滤器结构部件53，其被收容于流路构成部52的内部。
39.在流路构成部52的部件52a上形成有，沿图5的上下方向贯通的导入通路52a、与导入通路52a连通并延伸到过滤器结构部件53的下端的流路52b以及脚部52c。
40.在过滤器结构部件53的内部形成有仅允许供气方向的气体移动的止回阀53a。通常，止回阀53a保持关闭状态，以防止填充至容器主体2中的气体的状态，例如气体成分和湿度等的变动。此外，止回阀53a还起到防止灰尘等异物侵入基板收纳容器1的过滤器的作用。
41.容器主体2经由底板26载置于气体置换装置上的预定位置。此时，构件52a的脚部52c抵接于底板26上以支撑流路构成部52。此外，构件52a的下端部(图5的左侧下端部)与底板26的开口26a嵌合，开口26a和导入通路52a彼此连通。
42.另外，在图5中的过滤器结构部件53的上端可以安装具有透气性并去除灰尘等异物的过滤器构件54(图5以及图6)。另外，过滤器构件54可以设置在比流路52b更靠近下流侧的任意位置。此外，也可以将过滤器构件设置在比流路52b更靠近上流侧处。
43.图7a是表示塔喷嘴70的立体图。
44.如图1、图2、图5以及图6所示，在容器主体2的内部安装有在上下方向上延伸设置的塔喷嘴70。如图2所示，在容器主体2的内部设置有左右一对的塔喷嘴70，并且它们彼此构成为左右对称的形状。
45.塔喷嘴70具有壳体71，所述壳体71在内部形成有气体通过的空间(图6)。壳体71具有面71a和面71b，在面71a开设有多个吹出孔71a，在面71b开设有多个吹出孔71b。壳体71的内部经由吹出孔71a和吹出孔71b与容器主体2的内部空间连通。另外，作为塔喷嘴70的替代形式的塔喷嘴，可以使用形成为在后表面侧追加吹出孔，且从该吹出孔朝向后表面侧吹出气体的塔喷嘴。此外，塔喷嘴也可以由包含树脂材料的多孔体而形成。进一步，可以使用任意形状的气体置换单元替代塔喷嘴70。例如，也可以使用具备形成有多个吹出孔的板形状的罩构件，并且气体自该吹出孔吹出的结构的气体置换单元。
46.图7b是表示连通部件72与过滤器结构部件53的构件52b在水平面内的位置关系的俯视图(从图2的viib-viib方向观察的图)。
47.如图5、图6、图7a以及图7b所示，在塔喷嘴70的下端部设置有连通部件72，所述连通部件72具有与壳体71的内部连通的贯通孔72a。贯通孔72a的中心轴与过滤器结构部件53的中心轴53x(图5)大致一致。
48.接着，对向容器主体2的内部所供给的气体的流动进行说明。
49.从气体置换装置所供给的气体经由底板26的开口26a依次被导入到导入通路52a、流路52b以及过滤器结构部件53。当过滤器结构部件53的止回阀53a通过所供给的气体的压力打开时，气体通过过滤器结构部件53。进一步，气体经由贯通孔72a被供给至壳体71的内部，并通过从吹出孔71a以及吹出孔71b喷射，从而向容器主体2的内部扩散。
50.在本实施例中，供气机构50的流路52b设置于导入通路52a和过滤器结构部件53之间。因此，导入通路52a和过滤器结构部件53不位于同一轴上，并且止回阀53a配置于在沿着底面2f的水平面内的与导入通路52a不重合的位置。因此，在向容器主体2喷射清洗液(水)的工序中，清洗液不会被直接喷射到过滤器结构部件53。因此，降低了止回阀53a因所喷射的清洗液的水压而被打开，清洗液通过过滤器结构部件53的可能性。
51.此外，由于流路52b的存在，也降低了清洗液进入至过滤器结构部件53的附近的可能性。
52.因此，在干燥清洗液的工序中，能够容易地使清洗液干燥，最终能够降低清洗液残留于容器主体2的可能性，尤其能够降低清洗液残留于比过滤器结构部件53更靠近里侧或过滤器结构部件53的附近的可能性。
53.此外，通常在干燥清洗液的工序中，使开口2a朝向下方进行干燥，以避免清洗液滞留在容器主体2的内部。在本实施例中，如图4所示，当开口2a朝向下方时，即，当箭头f所示的前表面侧朝向下方时，使得进入流路52b的清洗液随着其重力经由流路52b向导入通路52a流动的方式，设定流路52b的方向。例如，附着于流路52b的壁面(图5以及图6)上的清洗液沿着壁面fa3向导入通路52a的方向流动。
54.此外，在干燥后，在底面2f朝向下侧来放置容器主体2的状态下，由于导入通路52a成为向下开口的状态，所以残留的清洗液经由导入通路52a容易被排出。例如，附着于导入通路52a的壁面fb1(图5以及图6)上的清洗液沿着壁面fb1向导入通路52a的外部流动。
55.进一步，在底面2f朝向下侧来放置容器主体2的状态下，流路52b具有朝向导入通路52a降低的倾斜。因此，残留于流路52b中的清洗液随着其重力经由流路52b向导入通路52a的方向流动。例如，附着于流路52b的壁面fa1(图5以及图6)上的清洗液沿着壁面fa1向导入通路52a的方向流动。
56.因此，在干燥清洗液的工序中或在该工序之后，残留在过滤器结构部件53的周围的清洗液容易被排出并干燥。因此，即使当清洗液进入至过滤器结构部件53的附近的情况时，清洗液也可以容易地排出并干燥。
57.接下来，参照图8以及图9对另一供气机构150的结构进行说明。
58.图8是表示供气机构150的立体图，图9是表示供气机构150的剖面立体图。
59.如图8以及图9所示，供气机构150具备流路构成构件152，其连接于气体置换装置的导入部81；以及过滤器结构部件153，其连接于流路构成构件152；以及安装构件154，用于将过滤器结构部件153安装到容器主体102。
60.在气体置换装置的导入部81形成有沿图9中的上下方向贯通的贯通孔81a。在流路
构成构件152形成有：导入通路152a，其沿图9中的上下方向延伸，并与贯通孔81a连通；流路152b，其沿容器主体102的底面102f的方向延伸，并与导入通路152a连通；以及流路152c，其沿图9中的上下方向延伸，并与流路152b连通。
61.在过滤器结构部件153设置有能够沿图9中的上下方向移动的阀体153a以及阀体153b。阀体153a通过被压缩于安装构件154与阀体153a之间的弹簧153c向图9中的上方施力，阀体153b通过被压缩于阀体153a与阀体153b之间的弹簧153d向图9中的下方施力。由此，过滤器结构部件153作为允许气体向容器主体102的供气方向和从容器主体102的排气方向的双向流动的止回阀，即发挥双向阀的作用。此外，当基板收纳容器(容器主体102)的内部和外部之间的气压差较小的情况时，过滤器结构部件153的止回阀维持关闭状态，从而防止填充在基板收纳容器中的气体的状态的变动，例如气体组成或者湿度等的变动。此外，过滤器结构部件153还发挥用于防止诸如灰尘等的异物侵入基板收纳容器的过滤器的功能。
62.另外，可以在图9中的过滤器结构部件153的上端安装具有透气性并去除灰尘等的异物的过滤器构件(未图示)。此外，过滤器构件可以设置在比流路152b更靠近下流侧或上流侧的任意位置。
63.在容器主体102的内部设置有沿图9中的上下方向延伸设置的筒状的塔喷嘴170。沿图9中的上下方向延伸的塔喷嘴170的中心轴与过滤器结构部件153的中心轴153x一致。在塔喷嘴170的侧面的预定部位，例如在图9中的上下方向上以等间隔形成吹出孔(未图示)，向基板收纳容器的内部所供给的气体经由这些吹出孔被扩散。
64.接着，对向基板收纳容器(容器主体102)的内部所供给的气体的流动进行说明。
65.经由导入通路152a所供给的气体经由贯通孔81a、流路152b以及流路152c被导入至过滤器结构部件153。当过滤器结构部件153的阀体153b被所供给的气体的压力向图9中的上方推压时，气体通过阀体153a和阀体153b之间的间隙朝向塔喷嘴170供给，并向基板收纳容器的内部扩散。
66.如上所述，在供气机构150中，作为向基板收纳容器的内部供气的流路而具备流路152b，导入通路152a和过滤器结构部件153不位于同轴上，过滤器结构部件153配置在沿着底面102f的水平面内的与导入通路152a不重合的位置。因此，在向容器主体102喷射清洗液(水)的工序中，所喷射的清洗液不会直接到达过滤器结构部件153。因此，降低了阀体153b被所喷射的清洗液的水压推压，从而清洗液通过过滤器结构部件153的可能性。
67.此外，由于流路152b的存在，也降低了清洗液进入至过滤器结构部件153的附近的可能性。
68.因此，在干燥清洗液的工序中，能够容易地使清洗液干燥，最终能够降低清洗液残留于容器主体102的可能性，尤其能够降低清洗液残留于比过滤器结构部件153更靠近里侧或过滤器结构部件153的附近的可能性。
69.此外，通常在干燥清洗液的工序中，使开口(未图示，相当于图1中的开口2a)朝向下方进行干燥，以避免清洗液滞留在容器主体102的内部。如图9所示，当开口朝向下方时，即，当图8中的箭头f所示的前表面侧朝向下方时，使得进入流路152b的清洗液随着其重力经由流路152b向导入通路152a流动的方式，设定流路152b的方向。例如，附着于流路152b的壁面fa2(图9)上的清洗液沿着壁面fa2向导入通路152a的方向流动。
70.此外，在干燥后，在底面102f朝向下侧拉放置容器主体102的状态下，由于导入通路152a成为向下开口的状态，所以残留的清洗液经由导入通路152a容易被排出。例如，附着于导入通路152a的壁面fb2(图9)上的清洗液沿着壁面fb2向导入通路152a的外部流动。
71.因此，在干燥清洗液的工序中或该工序之后，残留在过滤器结构部件153的周围的清洗液容易被排出并干燥。因此，即使当清洗液进入至过滤器结构部件153的附近的情况时，清洗液也可以容易地排出并干燥。
72.以上，对各实施例进行了详细说明，但本发明并不限定于特定的实施例，在权利要求中记载的范围内，能够进行各种变形和变更。另外，也可以组合上述实施例的全部构成要素或多个构成要素。
73.附图标记说明
[0074]1ꢀꢀꢀꢀ
基板收纳容器
[0075]2ꢀꢀꢀꢀ
容器主体
[0076]
2a
ꢀꢀꢀ
开口
[0077]
2f
ꢀꢀꢀ
底面
[0078]
50
ꢀꢀꢀ
供气机构
[0079]
52a
ꢀꢀ
导入通路
[0080]
52b
ꢀꢀ
流路
[0081]
53a
ꢀꢀ
止回阀
[0082]
53
ꢀꢀꢀ
过滤器结构部件(具备止回阀的构件)
[0083]
54
ꢀꢀꢀ
过滤器构件
[0084]
102
ꢀꢀ
容器主体
[0085]
102f 底面
[0086]
150
ꢀꢀ
供气机构
[0087]
152a 导入通路
[0088]
152b 流路
[0089]
153
ꢀꢀ
过滤器结构部件(具备止回阀、止回阀的构件)