一种显影液组合物的制作方法

技术特征：
1.一种显影液组合物，其特征在于，所述显影液组合物包括有机胺、表面活性剂及有机溶剂，所述有机胺选自具有式ⅰ、式ⅱ或式ⅲ结构的一种或多种有机胺，其中，式ⅱ中，r1选自-nh2、-ch
2-nh2中的任意一种，r2选自-h、-oh、-ch3中的任意一种，n为大于等于1的整数。2.根据权利要求1所述的显影液组合物，其特征在于，所述表面活性剂采用了非离子表面活性剂。3.根据权利要求1所述的显影液组合物，其特征在于，所述显影液组合物为由如下各质量百分含量的组分组成：有机胺：0.01-1％、表面活性剂：0.01-1％，余量为有机溶剂。4.根据权利要求1所述的显影液组合物，其特征在于，所述式ⅱ中的r1为-nh2，r2为-h。5.根据权利要求1所述的显影液组合物，其特征在于，所述式ⅱ中的r1为-ch
2-nh2，r2为-oh或-ch3。6.根据权利要求1所述的显影液组合物，其特征在于，所述式ⅱ中的n为1到20的整数。7.根据权利要求1所述的显影液组合物，其特征在于，所述有机溶剂采用了浓度在95％以上的乙酸丁酯。

技术总结
本发明公开了一种显影液组合物，所述显影液组合物包括有机胺、表面活性剂及有机溶剂，所述有机胺选自具有式Ⅰ、式Ⅱ或式Ⅲ结构的一种或多种有机胺。本发明的显影液，通过加入特定的有机胺，在确保分辨率的同时还可改善直线边缘的粗糙度及缺陷，扩大光刻工艺的窗口。扩大光刻工艺的窗口。


技术研发人员：马晓明 王健 杨晓松
受保护的技术使用者：苏州润邦半导体材料科技有限公司
技术研发日：2021.12.31
技术公布日：2022/4/1