恒温控制系统及具有其的涂布显影装置的制作方法

技术特征：
1.一种恒温控制系统，其特征在于，包括：输水管路；恒温控制器，在所述恒温控制器的内部设置有内部水路，所述输水管路和所述内部水路连接以形成水循环回路，在所述恒温控制器的内部还设置有布置在所述内部水路上的真空泵。2.根据权利要求1所述的恒温控制系统，其特征在于，在所述恒温控制器的内部还设置有水箱，所述水箱设置在所述内部水路上。3.根据权利要求2所述的恒温控制系统，其特征在于，沿水循环流动的方向，所述水箱位于所述真空泵的下游。4.根据权利要求2所述的恒温控制系统，其特征在于，所述恒温控制器包括：调温件，所述调温件设置在水箱中，用于改变所述水箱中的水的温度；温度检测件，所述温度检测件设置在所述水箱中，用于检测所述水箱中的水的温度；控制单元，所述控制单元与所述调温件、所述温度检测件电连接，用于根据所述温度检测件所检测到的温度控制所述调温件的工作状态。5.根据权利要求1至4中任一项所述的恒温控制系统，其特征在于，所述真空泵为旋转叶片真空泵、旋转齿轮真空泵、活塞真空泵、隔膜真空泵、水封式真空泵和罗茨真空泵之一。6.一种涂布显影装置，其特征在于，包括根据权利要求1至5中任一项所述的恒温控制系统。7.根据权利要求6所述的涂布显影装置，其特征在于，所述涂布显影装置还包括：喷嘴；机械臂，所述喷嘴安装于所述机械臂；供液管，所述供液管与所述喷嘴连接。8.根据权利要求7所述的涂布显影装置，其特征在于，所述供液管设置在所述输水管路的内部。9.根据权利要求8所述的涂布显影装置，其特征在于，所述涂布显影装置还包括旋转电机，所述旋转电机用于带动基板转动，所述输水管路的一部分绕设在所述旋转电机上。10.根据权利要求9所述的涂布显影装置，其特征在于，所述涂布显影装置还包括与所述旋转电机的转轴连接的托盘，所述托盘用于固定所述基板。

技术总结
本申请涉及一种恒温控制系统及具有其的涂布显影装置。恒温控制系统包括：输水管路；恒温控制器，在恒温控制器的内部设置有内部水路，输水管路和内部水路连接以形成水循环回路，在恒温控制器的内部还设置有布置在内部水路上的真空泵。本申请提出的恒温控制系统，其输水管路和恒温控制器的内部管路连接，从而形成水循环回路，输水管路和在其中循环流动的恒温水，用于保证涂布显影装置中的光刻胶或显影液处于恒温的状态。本申请中的恒温控制系统以真空泵作为水循环的动力源，以真空泵作为水循环的动力的方式，将现有的给水加压的方式改变为给水减压的方式，由此使得输水管路不易发生泄漏，进而可以避免因泄漏而导致产品质量事故的问题。的问题。的问题。


技术研发人员：林锺吉 张成根 金在植 贺晓彬 丁明正 刘强
受保护的技术使用者：真芯（北京）半导体有限责任公司
技术研发日：2020.09.24
技术公布日：2022/3/29