质量流量计校准系统的制作方法

技术特征：
1.一种质量流量计校准系统，其特征在于，包含：气源模块，所述气源模块用于输出测量用的气体；调压过滤模块，所述调压过滤模块与所述气源模块相连，用于对所述气源模块输出的气体进行过滤调压；电子测量模块，所述电子测量模块与所述调压过滤模块相连，用于测量待测的流量计；物理测量模块，所述物理测量模块与所述调压过滤模块相连，用于测量所述待测的流量计；控制模块，所述控制模块与所述调压过滤模块、所述电子测量模块以及所述物理测量模块相连。2.如权利要求1所述质量流量计校准系统，其特征在于，所述气源模块包含：气体钢瓶，所述气体钢瓶与所述调压过滤模块相连，用于输出测量的气体。3.如权利要求1所述质量流量计校准系统，其特征在于，所述调压过滤模块包含：第一调压器，所述第一调压器的一端与所述气源模块相连；第一压力变送器，所述第一压力变送器的一端与所述第一调压器的另一端相连，所述第一压力变送器与所述控制模块信号连接；过滤组件，所述过滤组件与所述第一压力变送器的另一端相连，用于过滤气体；第二调压器，所述第二调压器的一端与所述过滤组件相连；温度变送器，所述温度变送器的一端与所述第二调压器的另一端相连，所述温度变送器与所述控制模块信号连接；第二压力变送器，所述第二压力变送器的一端与所述温度变送器的另一端相连，所述第二压力变送器的另一端与所述电子测量模块、所述物理测量模块相连，所述第二压力变送器与所述控制模块信号连接。4.如权利要求3所述质量流量计校准系统，其特征在于，所述过滤组件包含：气体过滤器，所述气体过滤器的一端与所述第一压力变送器的另一端相连；第一手动阀门，所述第一手动阀门的一端与所述气体过滤器的另一端相连；气体纯化器，所述气体纯化器的一端与所述第一手动阀门的另一端相连；第二手动阀门，所述第二手动阀门的一端与所述气体纯化器的另一端相连，所述第二手动阀门的另一端与所述第二调压器的一端相连。5.如权利要求1所述质量流量计校准系统，其特征在于，所述电子测量模块包含：第一气动阀门，所述第一气动阀门的一端与所述调压过滤模块相连，所述第一气动阀门与所述控制模块电性连接；第一校准置物位，所述第一校准置物位的一端与所述第一气动阀门的另一端相连，用于放置所述待测的流量计；第二气动阀门，所述第二气动阀门的一端与所述第一校准置物位的另一端相连，所述第二气动阀门与所述控制模块电性连接；流量计量器，所述流量计量器与所述第二气动阀门的另一端相连，所述流量计量器与所述控制模块信号连接。6.如权利要求1所述质量流量计校准系统，其特征在于，所述物理测量模块包含：第三气动阀门，所述第三气动阀门的一端与所述调压过滤模块相连；
第二校准置物位，所述第二校准置物位的一端与所述第三气动阀门的另一端相连，用于放置所述待测的流量计；第四气动阀门，所述第四气动阀门的一端与所述第二校准置物位的另一端相连，所述第四气动阀门与所述控制模块电性连接；真空物理测量箱，所述真空物理测量箱的一端与所述第四气动阀门的另一端相连；抽真空组件，所述抽真空组件与所述真空物理测量箱、所述控制模块相连，用于对所述真空物理测量箱抽真空；第五气动阀门，所述第五气动阀门的一端与所述真空物理测量箱相连，所述第五气动阀门与所述控制模块电性连接；压力信号传感器，所述压力信号传感器与所述第五气动阀门的另一端相连，所述压力信号传感器与所述控制模块信号连接。7.如权利要求6所述质量流量计校准系统，其特征在于，所述第五气动阀门和所述压力信号传感器的数量相匹配，均可为多个。8.如权利要求6所述质量流量计校准系统，其特征在于，所述抽真空组件包含：真空阀门，所述真空阀门的一端与所述真空物理测量箱相连，所述真空阀门与所述控制模块电性连接；真空泵，所述真空泵与所述真空阀门的另一端相连。9.如权利要求1所述质量流量计校准系统，其特征在于，所述控制模块包含：控制器，所述控制器与所述调压过滤模块、所述电子测量模块所述物理测量模块相连。

技术总结
本发明公开了一种质量流量计校准系统，包含：气源模块，气源模块用于输出测量用的气体；调压过滤模块，调压过滤模块与气源模块相连，用于对气源模块输出的气体进行过滤调压；电子测量模块，电子测量模块与调压过滤模块相连，用于测量待测的流量计；物理测量模块，物理测量模块与调压过滤模块相连，用于测量待测的流量计；控制模块，控制模块与调压过滤模块、电子测量模块以及物理测量模块相连。本发明弥补了国内高精度气体质量流量计的校准空白，使用物理与电子两种测试结合的方式，来对气体质量流量计进行校准，保证校准的精确度。保证校准的精确度。保证校准的精确度。


技术研发人员：陈峰
受保护的技术使用者：愿慎新材料科技（上海）有限公司
技术研发日：2021.12.14
技术公布日：2022/3/25