一种选择性发射极太阳能电池及其制备方法、光学设备与流程

技术特征：
1.一种选择性发射极太阳能电池，其特征在于，所述选择性发射极太阳能电池包括硅片和栅线，所述硅片表面与所述栅线的接触部位具有通过多个光斑形成的重掺杂大区域，每个光斑形成的重掺杂小区域为矩形，每个所述重掺杂小区域的边与所述栅线的夹角为10～27
°
。2.根据权利要求1所述的选择性发射极太阳能电池，其特征在于，同一栅线上的所有所述重掺杂小区域相较于所述栅线的倾斜方向相同。3.根据权利要求1所述的选择性发射极太阳能电池，其特征在于，所述硅片表面的所有横向布置的所述重掺杂小区域相较于横向布置的所述栅线的倾斜方向相同，所述硅片表面的所有纵向布置的所述重掺杂小区域相较于纵向布置的所述栅线的倾斜方向相同。4.根据权利要求1～3任一项所述的选择性发射极太阳能电池，其特征在于，所述重掺杂小区域的边长为100～120μm。5.根据权利要求1～3任一项所述的选择性发射极太阳能电池，其特征在于，所述栅线的宽度为20～60μm。6.根据权利要求1～3任一项所述的选择性发射极太阳能电池，其特征在于，所述重掺杂小区域为正方形，且边长为115μm，所述重掺杂小区域相较于所述栅线旋转23
°
，所述栅线的宽度为25μm。7.一种选择性发射极太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述选择性发射极太阳能电池的制备方法包括：将激光束改变角度后打在硅片表面形成矩形光斑，所述光斑使其与所述硅片表面接触区域形成矩形的重掺杂小区域，所述光斑按照预设方向移动，在所述硅片表面依次形成多个所述重掺杂小区域后得到重掺杂大区域，然后在所述硅片表面预设位置形成栅线，制得所述选择性发射极太阳能电池；每个所述光斑的边缘与所述预设方向的夹角为10～27
°
。8.根据权利要求7所述的选择性发射极太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述激光束通过整形镜片改变角度，使得打在所述硅片表面形成的矩形光斑旋转预设角度。9.一种用于在硅片表面形成光斑的光学设备，其特征在于，所述光学设备包括激光器、扩束镜、整形镜片、振镜和场镜，所述激光器用于发出激光束，所述扩束镜位于所述激光器发出的激光束的传播路径上，所述整形镜片位于经所述扩束镜扩束的激光束的传播路径上，所述振镜和场镜位于经所述整形镜片改变角度的激光束的传播路径上。10.根据权利要求9所述的用于在硅片表面形成光斑的光学设备，其特征在于，所述光学设备还包括第一关闸和第二关闸，所述第一关闸和所述第二关闸设置于所述整形镜片、所述振镜和场镜的光路之间。

技术总结
本申请提供一种选择性发射极太阳能电池及其制备方法、光学设备，属于太阳能电池技术领域。选择性发射极太阳能电池包括硅片和栅线，硅片表面与栅线的接触部位具有通过多个光斑形成的重掺杂大区域，光斑形成的重掺杂小区域为矩形，每个重掺杂小区域的边与栅线的夹角为10～27


技术研发人员：姜博 朱志鹏
受保护的技术使用者：通威太阳能(成都)有限公司
技术研发日：2021.12.13
技术公布日：2022/3/25