微机械结构和微机械传感器的制作方法

技术特征：
1.一种微机械结构(1)，所述微机械结构具有衬底(2)和相对于所述衬底(2)可运动的震动质量(3)，其中，扭转弹簧(5)将所述震动质量(3)与所述衬底(2)连接，其中，所述微机械结构(1)还具有探测机构(4)，其中，第一方向(11)和基本上垂直于所述第一方向(11)的第二方向(12)定义所述衬底(2)的主延伸平面，其中，所述探测机构(4)设置用于探测所述震动质量(3)围绕旋转轴线(14)的旋转偏移，其中，所述旋转轴线(14)布置在所述第二方向(12)上，其中，所述微机械结构(1)还具有止挡结构(6)，其中，所述止挡结构(6)如此布置，使得所述震动质量(3)的运动由止挡结构(6)限制，其中，所述止挡结构(6)设置用于，在部分弹性、部分非弹性的碰撞中吸收所述震动质量(3)的动能。2.根据权利要求1所述的微机械结构(1)，其中，所述动能的至少百分之二十被非弹性地吸收。3.根据权利要求1或2所述的微机械结构(1)，其中，所述止挡结构(6)具有凸出部(61)和膜片结构(62)，其中，所述膜片结构(62)包括膜片(63)，其中，所述膜片(63)包括至少一个开口(64)，其中，所述凸出部(61)能够撞到所述膜片(63)上，并且其中，所述膜片(63)的运动导致布置在空腔(65)中的流体(66)通过所述开口(64)逸出，并且由此所述震动质量(3)的动能在部分非弹性的碰撞中被吸收。4.根据权利要求3所述的微机械结构(1)，其中，所述空腔(65)的深度(67)最大是所述凸出部(61)和所述膜片(63)之间的间距(68)的十倍。5.根据权利要求3或4所述的微机械结构(1)，其中，多个开口(64)布置成环绕所述膜片(63)的碰撞点(69)。6.根据权利要求3至5中任一项所述的微机械结构(1)，其中，所述一个开口(64)或者所述多个开口(64)在所述膜片(63)中形成弹簧结构(7)，其中，所述弹簧结构(7)在部分弹性的碰撞中吸收所述震动质量(3)的动能。7.根据权利要求6所述的微机械结构(1)，其中，所述开口(64)包围悬臂梁(72)的至少三个侧面(71)，其中，所述悬臂梁(72)是所述弹簧结构(7)的一部分。8.根据权利要求3至7中任一项所述的微机械结构(1)，其还具有另一个凸出部(61)和另一个膜片结构(62)。9.根据权利要求1至8中任一项所述的微机械结构(1)，所述微机械结构还具有固定止挡(8)，其中，所述止挡结构(6)设置用于，通过非弹性的碰撞来吸收在所述固定止挡(8)的撞击的时刻存储在所述扭转弹簧(5)中的能量的25％～75％。10.一种微机械传感器(9)，所述微机械传感器具有根据权利要求1至9中任一项所述的微机械结构。

技术总结
本发明涉及一种微机械结构，其具有衬底和相对于衬底可运动的震动质量，其中，扭转弹簧将震动质量与衬底连接。微机械结构还具有探测机构，其中，第一方向和基本上垂直于所述第一方向的第二方向定义衬底的主延伸平面，其中，探测机构设置用于探测震动质量围绕旋转轴线的旋转偏移，其中，旋转轴线布置在第二方向上。微机械结构还具有止挡结构，其中，止挡结构如此布置，使得震动质量的运动由止挡结构限制，其中，止挡结构设置用于，在部分弹性、部分非弹性的碰撞中吸收所述震动质量的动能。性的碰撞中吸收所述震动质量的动能。性的碰撞中吸收所述震动质量的动能。


技术研发人员：J
受保护的技术使用者：罗伯特
技术研发日：2021.09.09
技术公布日：2022/3/25