一种VCSEL的制作方法

技术特征：
1.一种vcsel，其特征在于，包括依次层叠的一次蚀刻台面、二次蚀刻台面和三次蚀刻台面，其中，所述一次蚀刻台面内设有氧化孔，在所述氧化孔的光窗平台上设有微透镜，所述微透镜的焦点与所述光窗平台的中心轴之间的距离大于0，使出射光偏向所述微透镜的焦点相对于所述光窗平台的中心轴的一侧。2.根据权利要求1所述的一种vcsel，其特征在于，在所述微透镜上还设有抗反射镀膜。3.根据权利要求2所述的一种vcsel，其特征在于，所述抗反射镀膜覆盖所述一次蚀刻台面、所述二次蚀刻台面和所述三次蚀刻台面并具有供电极露出以供电流通入的避位孔。4.根据权利要求3所述的一种vcsel，其特征在于，所述电极包括设置在所述一次蚀刻台面上的p型电极和设置在所述三次蚀刻台面上的n型电极。5.根据权利要求2所述的一种vcsel，其特征在于，所述抗反射镀膜的制作材料包括sio
x
n
y
或sin。6.根据权利要求1所述的一种vcsel，其特征在于，所述一次蚀刻台面蚀刻至n型布拉格反射层。7.根据权利要求1所述的一种vcsel，其特征在于，所述二次蚀刻台面蚀刻至n型奥姆接触层。8.根据权利要求1所述的一种vcsel，其特征在于，所述三次蚀刻台面蚀刻至衬底。9.根据权利要求1所述的一种vcsel，其特征在于，所述微透镜的外径小于所述光窗平台的直径。

技术总结
本实用新型涉及一种VCSEL，包括依次层叠的一次蚀刻台面、二次蚀刻台面和三次蚀刻台面，其中，所述一次蚀刻台面内设有氧化孔，在所述氧化孔的光窗平台上设有微透镜，当所述微透镜的焦点与所述光窗平台的中心轴之间的距离大于0，使出射光偏向所述微透镜的焦点相对于所述光窗平台的中心轴的一侧。所述光窗平台的中心轴的一侧。所述光窗平台的中心轴的一侧。


技术研发人员：潘德烈
受保护的技术使用者：深圳市德明利光电有限公司
技术研发日：2021.09.24
技术公布日：2022/3/19