激光照射设备的制作方法

激光照射设备
1.相关申请的交叉引用
2.本技术要求于2020年8月31日向韩国知识产权局提交的第10-2020-0109889号韩国专利申请的优先权和权益，该韩国专利申请的整体内容通过引用并入本文中。
技术领域
3.本公开涉及照射均匀激光束的激光照射设备。


背景技术：

4.向用户提供图像的电子装置(诸如智能电话、数码相机、笔记本电脑、导航单元和智能电视)包括用于显示图像的显示装置。显示装置生成图像，并且通过其显示屏将图像显示给用户。
5.显示装置可包括显示面板以及驱动器，显示面板包括多个像素以生成图像，驱动器用于驱动显示面板。每个像素可包括晶体管和电连接到晶体管的发光元件。晶体管可包括源电极、漏电极、栅电极和半导体层。
6.为了晶体管的电特性的改善，半导体层可使用通过使非晶硅结晶而获得的多晶硅来形成。为了形成多晶硅，可需要将激光束照射到非晶硅的结晶工艺。
7.将理解的是，此技术背景章节部分地旨在提供用于理解技术的有用背景。然而，此技术背景章节也可包括不属于由相关领域的技术人员在本文中所公开的主题的对应的有效申请日期之前所已知或领会的内容的思想、概念或认识。


技术实现要素：

8.本公开提供了激光照射设备，该激光照射设备能够与从激光束生成器输出的激光束行进的方向无关地向光束分离器提供具有经校正的宽度的激光束。
9.实施方式提供了激光照射设备，该激光照射设备可包括：激光束生成器，生成第一激光束；光束扩展器，扩展第一激光束并且输出经扩展的第一激光束作为第二激光束；光束分离器，将第二激光束分成多个第三激光束并且输出多个第三激光束；以及光束聚集器，聚集多个第三激光束并且输出经聚集的多个第三激光束。光束扩展器可包括：第一透镜，具有第一焦距；以及第二透镜，具有第二焦距。第一透镜可设置在激光束生成器和第二透镜之间，第二透镜可设置在第一透镜和光束分离器之间，并且激光束生成器可与第一透镜间隔开第一焦距。
10.光束分离器可与第二透镜间隔开第二焦距。
11.第一激光束可通过第一透镜入射在第二透镜上，经由第一透镜和第二透镜扩展，并且经由第二透镜输出作为第二激光束。
12.激光束生成器、光束扩展器、光束分离器和光束聚集器沿与第一透镜和第二透镜的光轴基本上平行的x轴方向设置。
13.在x轴方向上，第二透镜的第二焦距可大于第一透镜的第一焦距。
14.在基本上垂直于x轴方向的y轴方向上，第二激光束可具有比第一激光束的宽度大的宽度。
15.在y轴方向上，第二透镜可具有比第一透镜的宽度大的宽度。
16.在x轴方向上，第一透镜和第二透镜之间的距离由通过将第一焦距、第二焦距和第一距离相加而获得的值来设定。
17.第一距离等于或大于大约零。
18.第一距离基于从激光束生成器输出的第一激光束相对于x轴方向发射的发射角来设定。
19.第一距离可随着发射角增加而增加。
20.第一透镜可包括：第一表面，面对激光束生成器；以及第二表面，面对第二透镜。第二透镜可包括：第三表面，面对第一透镜的第二表面；以及第四表面，面对光束分离器。第一表面和第二表面中的一个可包括基本上平坦的表面或基本上弯曲的表面，并且第一表面和第二表面中的另一个可包括基本上弯曲的表面。第三表面和第四表面中的一个可包括基本上平坦的表面或基本上弯曲的表面，并且第三表面和第四表面中的另一个可包括基本上弯曲的表面。
21.光束分离器可包括：多个第三透镜，面对第二透镜；以及多个第四透镜，设置在多个第三透镜和光束聚集器之间。多个第三透镜中的每个可包括：第五表面，面对第二透镜；以及第六表面，面对多个第四透镜。多个第四透镜中的每个可包括：第七表面，面对多个第三透镜；以及第八表面，面对光束聚集器。第六表面和第五表面中的一个可包括基本上平坦的表面或基本上弯曲的表面，第六表面和第五表面中的另一个可包括基本上弯曲的表面，第七表面和第八表面中的一个可包括基本上平坦的表面或基本上弯曲的表面，并且第七表面和第八表面中的另一个可包括基本上弯曲的表面。
22.光束聚集器可包括：第九表面，面对多个第四透镜；以及第十表面，与第九表面相对，第九表面和第十表面中的一个可包括基本上平坦的表面或基本上弯曲的表面，并且第九表面和第十表面中的另一个可包括基本上弯曲的表面。
23.激光照射设备还可包括设置在第二透镜和光束分离器之间的第一虚设透镜(firstdummylens)，第一虚设透镜具有第三焦距，并且在x轴方向上，第二透镜和第一虚设透镜之间的距离可由通过将第二焦距和第三焦距相加而获得的值来设定。
24.激光照射设备还可包括设置在第一虚设透镜和光束分离器之间的第二虚设透镜，第二虚设透镜具有第四焦距，并且在x轴方向上，第一虚设透镜和第二虚设透镜之间的距离可由通过将第三焦距和第四焦距相加而获得的值来设定。
25.光束分离器可与第二虚设透镜间隔开第四焦距。
26.由激光束生成器生成的第一激光束可相对于x轴方向以第一角度入射，第二激光束可相对于x轴方向以第二角度入射到光束分离器，并且第一角度和第二角度之间的关系可由下面的等式来确定：
27.fl1
·
θ1＝fl2
·
θ2，其中，fl1表示第一透镜的第一焦距，θ1表示第一角度，fl2表示第二透镜的第二焦距，并且θ2表示第二角度。
28.实施方式提供了激光照射设备，该激光照射设备可包括：激光束生成器，生成第一激光束；光束扩展器，扩展第一激光束并且输出经扩展的第一激光束作为第二激光束；光束
分离器，将第二激光束分成多个第三激光束并且输出多个第三激光束；以及光束聚集器，聚集多个第三激光束并且输出经聚集的多个第三激光束。光束扩展器可包括：第一透镜，具有第一焦距；以及第二透镜，具有大于第一透镜的第一焦距的第二焦距。第一透镜可设置在激光束生成器和第二透镜之间，第二透镜可设置在第一透镜和光束分离器之间，激光束生成器可与第一透镜间隔开第一焦距，并且光束分离器可与第二透镜间隔开第二焦距。
29.根据以上，具有经校正的宽度的激光束与从激光束生成器输出的激光束的分散无关地被提供给光束分离器或入射在光束分离器上，并且因此，可精确地执行衬底的结晶工艺。
附图说明
30.当结合附图考虑时，通过参照下面的详细描述，本公开的以上和其它优点将变得容易显而易见，其中：
31.图1是示出根据实施方式的激光照射设备的示意性框图；
32.图2是示出图1中所示的激光照射设备的透镜的构造或布置的视图；
33.图3是示出图2中所示的激光束生成器、第一透镜、第二透镜和光束分离器的光入射表面之间的距离的视图；
34.图4是示出当第一激光束从图3中所示的光束扩展器发射时的第一透镜和第二透镜之间的距离的视图；
35.图5是示出相对于x轴方向以预定角度行进的第一激光束的视图；
36.图6是示出当图5中所示的激光束生成器和第一透镜之间的距离大于第一焦距时的第一激光束和第二激光束行进的方向的视图；
37.图7是示出当图5中所示的第二透镜和光入射表面之间的距离大于第二焦距时的第一激光束和第二激光束行进的方向的视图；
38.图8a是示出由图3中所示的激光束生成器生成的第一激光束的照射区域的测试结果的视图；
39.图8b是示出由图5中所示的激光束生成器生成的第一激光束的照射区域的测试结果的视图；
40.图9是示出由图6中所示的激光束生成器生成的第一激光束的照射区域的测试结果的视图；
41.图10是示出根据实施方式的激光照射设备的构造或布置的视图；
42.图11是示出从激光束生成器发射的激光束的角度和入射到光束分离器的激光束的角度之间的关系的视图；
43.图12是示出使用激光照射设备制造的显示面板的平面图；以及
44.图13是示出图12中所示的像素之中的一个像素的示意性截面图。
具体实施方式
45.通过参照下面的实施方式的详细描述和附图，可更容易理解本公开的特征及其实现方法。然而，本公开可以许多不同的形式来实施，并且不应被解释为限于本文中所阐述的实施方式。相反，提供这些实施方式以使得本公开将是透彻的和完整的，并且将向本领域技
术人员充分传达本公开，并且本公开将由随附的权利要求书限定。在整个说明书中，相似的附图标记表示相似的元件。
46.在附图中，出于描述的容易和清楚，可夸大元件的大小、厚度、比率和尺寸。
47.如本文中所使用的，单数形式“一(a)”、“一(an)”和“该”旨在也包括复数形式，但上下文另有清楚指示的除外。
48.在本公开中，将理解的是，当元件或层被称为“在”另一元件或层“上”、“连接到”或“联接到”另一元件或层时，它能直接在另一元件或层上、直接连接到或直接联接到另一元件或层，或者可存在中间元件或层。如本文中所使用的，术语“和/或”包括相关联所列项目中的一个或多个项目的任何和所有组合。
49.在说明书和权利要求书中，出于其含义和解释的目的，术语“和/或”旨在包括术语“和”与“或”的任何组合。例如，“a和/或b”可理解为意味着“a、b、或a和b”。术语“和”与“或”可在结合或分离的意义上使用，并且可理解为等同于“和/或”。
50.在说明书和权利要求书中，出于其含义和解释的目的，短语
“……
中的至少一个”旨在包括“选自
……
的组中的至少一个”的含义。例如，“a和b中的至少一个”可理解为意味着“a、b、或a和b”。
51.出于描述的容易，本文中可使用空间相对术语，诸如“之下”、“下方”、“下部的”、“上方”、“上部的”等，以描述如图中所示的一个元件或特征与另一(多个)元件或特征的关系。将理解的是，空间相对术语旨在涵盖装置在使用或操作中的除了图中所描绘的取向之外的不同取向。
52.例如，在附图中所示的装置被翻转的情况下，定位在另一装置“下方”或“之下”的装置可放置在另一装置“上方”。相应地，说明性术语“下方”可包括下部位置和上部位置这两者。装置也可在其它方向上取向，并且因此可依据取向不同地解释空间相对术语。
53.将理解的是，尽管本文中可使用术语第一、第二等来描述各种元件、组件、区、层和/或部分，但是这些元件、组件、区、层和/或部分不应受这些术语限制。这些术语仅用于区分开一个元件、组件、区、层或部分与另一元件、组件、区、层或部分。因此，在不脱离本公开的教导的情况下，以下讨论的第一元件、组件、区、层或部分能被称为第二元件、组件、区、层或部分。
54.术语“重叠”或“重叠的”意味着第一对象可在第二对象的上方或下方或者第二对象的侧面，并且反之亦然。另外，术语“重叠”可包括层叠、堆叠、面对或面向、在
……
上面延伸、覆盖或部分覆盖或者由本领域普通技术人员将领会和理解的任何其他合适的术语。
55.当元件被描述为与另一元件“不重叠”或“将不重叠”时，这可包括这些元件彼此间隔开、彼此偏移或彼此分开或者由本领域普通技术人员将领会和理解的任何其他合适的术语。
56.术语“面对”和“面向”意味着第一元件可直接或间接地与第二元件相对。在第三元件介于第一元件和第二元件之间的情况下，尽管仍然彼此面对，但是第一元件和第二元件可理解为彼此间接相对。
57.术语“包括(comprise)”、“包括(comprising)”、“包含(include)”和/或“包含(including)”以及“具有(has)”、“具有(have)”和/或“具有(having)”及其变体在本说明书中使用时，指明所陈述的特征、整数、步骤、操作、元件、组件和/或其组的存在，但是不排除
一个或多个其它特征、整数、步骤、操作、元件、组件和/或其组的存在或添加。
58.参照作为示意图的平面图和示意性截面图来描述实施方式。相应地，视图的形状可依据制造技术和/或公差而变化。因此，实施方式不限于所示出的形式并且还包括根据制造工艺产生的形式的变化。因此，在附图中所示出的区是举例，并且附图中所示出的区的形状旨在示出元件的区的形状，并且不限制本公开的范围。
59.考虑到所讨论的测量和与特定量的测量相关联的误差(即测量系统的局限性)，如本文中所使用的“大约”或“近似”包括所陈述的值并且意味着在由本领域的普通技术人员所确定的针对特定值的可接受的偏差范围内。例如，“大约”可意味着在一个或多个标准偏差内，或者在所陈述的值的
±
30％、
±
20％、
±
10％、
±
5％内。
60.除非另有定义，否则本文中所使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与本公开所属领域的普通技术人员通常所理解的含义相同的含义。还将理解的是，术语，诸如常用字典中定义的那些，应被解释为具有与它们在相关领域的上下文中的含义一致的含义，并且将不以理想的或过于正式的意义来解释，但本文中明确如此限定的除外。
61.在下文中，将参照附图详细解释本公开。
62.图1是示出根据实施方式的激光照射设备lid的示意性框图。
63.参照图1，根据实施方式的激光照射设备lid可将激光束lb照射到设置在台stg上的衬底sub上。虽然图1中未示出，但是激光照射设备lid、台stg和衬底sub可设置在处理室中。处理室可为但不限于真空室或正压室。作为示例，在本公开的精神和范围内，可使用xecl、xef、nd-yag等形成激光束lb。激光束lb可具有分别在大约308nm、大约351nm、大约532nm的范围内的峰值波长。
64.半导体层可设置在衬底sub上。半导体层可包括非晶硅。激光束lb可照射到半导体层的非晶硅上。非晶硅可通过激光束lb结晶，以形成多晶硅，并且作为结果，可形成包括多晶硅的半导体层。本工艺可被称为结晶工艺。
65.激光照射设备lid可包括激光束生成器lar、光束扩展器b-exp、光束分离器b-hom和光束聚集器b-cn。
66.光束扩展器b-exp、光束分离器b-hom和光束聚集器b-cn可包括至少一个透镜。将参照图2详细描述光束扩展器b-exp、光束分离器b-hom和光束聚集器b-cn的透镜。
67.激光束生成器lar、光束扩展器b-exp、光束分离器b-hom和光束聚集器b-cn可沿x轴方向x布置或设置。x轴方向x可基本上平行于光束扩展器b-exp的透镜的光轴。光轴在图2中示出。在下文中，与x轴方向x交叉或相交以垂直于x轴方向x的方向被称为y轴方向y。
68.光束扩展器b-exp可设置在激光束生成器lar和光束分离器b-hom之间。光束分离器b-hom可设置在光束扩展器b-exp和光束聚集器b-cn之间。光束聚集器b-cn可设置在光束分离器b-hom与台stg之间。衬底sub可设置在光束聚集器b-cn与台stg之间。
69.作为示例，台stg可在x轴方向x上设置在光束聚集器b-cn的右侧处，然而，台stg的位置不应限于此或由此限制。例如，台stg可设置在比光束聚集器b-cn低的位置处。反射构件等可与光束聚集器b-cn相邻地设置，以将从光束聚集器b-cn发射的光照射到设置在台stg上的衬底sub。
70.激光束生成器lar可生成第一激光束l1。第一激光束l1可为但不限于线性激光束。第一激光束l1可在x轴方向x上行进，然而，它不应限于此或由此限制。第一激光束l1可在与
x轴方向x不同的方向上行进或者可被分散。第一激光束l1可被提供给光束扩展器b-exp或入射在光束扩展器b-exp上。
71.光束扩展器b-exp可从激光束生成器lar接收第一激光束l1，并且可扩展第一激光束l1。然而，光束扩展器b-exp不应限于此或由此限制。例如，光束扩展器b-exp可输出第一激光束l1。光束扩展器b-exp可缩小第一激光束l1。
72.光束扩展器b-exp可扩展第一激光束l1，并且可输出经扩展的第一激光束l1作为第二激光束l2。第二激光束l2可被提供给光束分离器b-hom或入射在光束分离器b-hom上。
73.光束分离器b-hom可分离从光束扩展器b-exp提供的第二激光束l2。光束分离器b-hom可分离第二激光束l2并且可输出多个第三激光束l3。多个第三激光束l3可被提供给光束聚集器b-cn或入射在光束聚集器b-cn上。光束分离器b-hom可被称为光束均匀器。
74.光束聚集器b-cn可聚集多个第三激光束l3，并且可将经聚集的多个第三激光束l3作为激光束lb提供给衬底sub。
75.图2是示出图1的激光照射设备的透镜的构造或布置的视图。
76.参照图2，光束扩展器b-exp可包括第一透镜ln1和第二透镜ln2。第一透镜ln1和第二透镜ln2的光轴lx可限定在激光照射设备lid中。激光束生成器lar、光束扩展器b-exp、光束分离器b-hom和光束聚集器b-cn可布置或设置在光轴lx上。
77.第一透镜ln1可包括面对激光束生成器lar的第一表面s1和面对第二透镜ln2的第二表面s2。第一表面s1可为朝向激光束生成器lar的凸表面，并且第二表面s2可为基本上平行于y轴方向y的平坦表面。例如，第一透镜ln1可为凸透镜。然而，第一透镜ln1不应限于此或由此限制。例如，第一透镜ln1的第一表面s1和第二表面s2中的一个表面可为基本上平坦的表面或基本上弯曲的表面，并且第一表面s1和第二表面s2中的另一表面可为基本上弯曲的表面。
78.第二透镜ln2可包括面对第二表面s2的第三表面s3和面对光束分离器b-hom的第四表面s4。第四表面s4可为朝向光束分离器b-hom的凸表面，并且第三表面s3可为基本上平行于y轴方向y的平坦表面。例如，第二透镜ln2可为凸透镜。然而，第二透镜ln2不应限于此或由此限制。例如，第二透镜ln2的第三表面s3和第四表面s4中的一个表面可为基本上平坦的表面或基本上弯曲的表面，并且第三表面s3和第四表面s4中的另一表面可为基本上弯曲的表面。
79.彼此面对的第二表面s2和第三表面s3可为彼此基本上平行的基本上平坦的表面。面向彼此相反的方向的第一表面s1和第四表面s4可为向彼此相反的方向突出的凸表面。
80.相对于y轴方向y，第一透镜ln1可具有比第二透镜ln2的宽度小的宽度。例如，第二透镜ln2可大于第一透镜ln1。
81.由激光束生成器lar生成的第一激光束l1可通过第一透镜ln1提供给第二透镜ln2或入射在第二透镜ln2上。第一激光束l1可在穿过第一透镜ln1和第二透镜ln2的同时被扩展。详细地，第一激光束l1可被提供给第一透镜ln1或入射在第一透镜ln1上，并且可被第一透镜ln1聚集。第一激光束l1可被聚集在第一透镜ln1和第二透镜ln2之间的焦点fc处，并且然后可朝向第二透镜ln2扩展。
82.第二透镜ln2和焦点fc之间的距离可大于第一透镜ln1和焦点fc之间的距离。相对于y轴方向y，第二透镜ln2可具有比第一透镜ln1的宽度大的宽度。提供给第二透镜ln2或入
射在第二透镜ln2上的第一激光束l1的宽度可被扩展并且可通过第二透镜ln2输出作为第二激光束l2。相应地，相对于y轴方向y，第二激光束l2可具有比第一激光束l1的宽度大的宽度。
83.光束分离器b-hom可包括面对第二透镜ln2的多个第三透镜ln3和设置在多个第三透镜ln3和光束聚集器b-cn之间的多个第四透镜ln4。多个第三透镜ln3可设置在第二透镜ln2和多个第四透镜ln4之间。多个第四透镜ln4可设置在多个第三透镜ln3和光束聚集器b-cn之间。
84.多个第三透镜ln3中的每个可包括面对第二透镜ln2的第五表面s5和面对多个第四透镜ln4的第六表面s6。第五表面s5可包括朝向第四表面s4的凸表面，并且第六表面s6可包括与y轴方向y基本上平行的基本上平坦的表面。例如，第三透镜ln3可限定为凸透镜。然而，第三透镜ln3不应限于此或由此限制。例如，第三透镜ln3的第六表面s6和第五表面s5中的一个表面可为基本上平坦的表面或基本上弯曲的表面，并且第六表面s6和第五表面s5中的另一表面可为基本上弯曲的表面。
85.多个第三透镜ln3可具有彼此相同的尺寸或彼此基本上相同的尺寸。多个第三透镜ln3可沿y轴方向y布置或设置。作为示例，在图2中示出三个第三透镜ln3，然而，第三透镜ln3的数量不应限于此或由此限制。
86.多个第四透镜ln4可设置为在x轴方向x上一一对应地与多个第三透镜ln3对应。多个第四透镜ln4可分别设置为在x轴方向x上面对多个第三透镜ln3。
87.多个第四透镜ln4中的每个可包括面对多个第三透镜ln3的第七表面s7和面对光束聚集器b-cn的第八表面s8。第七表面s7可包括基本上平行于y轴方向y的平坦表面，并且第八表面s8可包括朝向光束聚集器b-cn的凸表面。例如，第四透镜ln4可限定为凸透镜。然而，第四透镜ln4不应限于此或由此限制。例如，第四透镜ln4的第七表面s7和第八表面s8中的一个表面可为基本上平坦的表面或基本上弯曲的表面，并且第七表面s7和第八表面s8中的另一表面可为基本上弯曲的表面。
88.多个第四透镜ln4可具有彼此相同的尺寸或彼此基本上相同的尺寸。多个第四透镜ln4可沿y轴方向y布置或设置。作为示例，在图2中示出三个第四透镜ln4，然而，第四透镜ln4的数量不应限于此或由此限制。
89.彼此面对的第六表面s6和第七表面s7可包括彼此基本上平行的基本上平坦的表面。面向彼此相反的方向的第五表面s5和第八表面s8可包括向彼此相反的方向突出的凸表面。
90.相对于y轴方向y，第三透镜ln3和第四透镜ln4中的每个可具有比第二透镜ln2的宽度小的宽度。
91.通过第二透镜ln2输出的第二激光束l2可被多个第三透镜ln3分成多束光。多束光可被聚集在多个第三透镜ln3和多个第四透镜ln4之间的多个焦点mfc处并且被扩展，并且可被提供给多个第四透镜ln4或入射在多个第四透镜ln4上。
92.多束光可通过多个第四透镜ln4作为多个第三激光束l3被提供给光束聚集器b-cn或入射在光束聚集器b-cn上。
93.光束聚集器b-cn可包括聚集透镜cln。聚集透镜cln可包括面对多个第四透镜ln4的第九表面s9和面对衬底sub的第十表面s10。第十表面s10可为在x轴方向x上与第九表面
s9相对的表面。
94.第九表面s9可为基本上平行于y轴方向y的基本上平坦的表面，并且第十表面s10可为朝向衬底sub的凸表面。例如，聚集透镜cln可限定为凸透镜。然而，聚集透镜cln不应限于此或由此限制。例如，聚集透镜cln的第九表面s9和第十表面s10中的一个表面可为平坦表面或弯曲表面，并且第九表面s9和第十表面s10中的另一表面可为基本上弯曲的表面。
95.通过多个第四透镜ln4输出的多个第三激光束l3可被聚集透镜cln聚集，并且可输出作为激光束lb。
96.多个第三激光束l3可包括沿彼此相同的方向行进的多束第一光lt1和沿与多束第一光lt1的方向不同的方向行进的多束第二光lt2。多束第二光lt2可沿彼此相同的方向行进。多束第一光lt1可被聚集透镜cln聚集，并且可被提供给衬底sub的第一点pit1或入射在衬底sub的第一点pit1上。多束第二光lt2可被聚集透镜cln聚集，并且可被提供给衬底sub的第二点pit2或入射在衬底sub的第二点pit2上。
97.图3是示出图2中所示的激光束生成器、第一透镜、第二透镜和光束分离器的光入射表面之间的距离的视图。
98.参照图3，光入射表面lis可限定为光束分离器b-hom的面对第二透镜ln2的表面。
99.第一透镜ln1可具有第一焦距fl1。第二透镜ln2可具有第二焦距fl2。第二焦距fl2可大于第一焦距fl1。
100.激光束生成器lar可在x轴方向x上与第一透镜ln1间隔开第一焦距fl1。光束分离器b-hom可在x轴方向x上与第二透镜ln2间隔开第二焦距fl2。详细地，光束分离器b-hom的光入射表面lis可与第二透镜ln2间隔开第二焦距fl2。
101.第一激光束l1可在y轴方向y上具有第一宽度wt1，并且可在x轴方向x上行进。由光束扩展器b-exp扩展的第二激光束l2可在y轴方向y上具有大于第一宽度wt1的第二宽度wt2。第二激光束l2的宽度可设定为预定宽度，以照射到衬底sub(参照图2)。
102.光入射表面lis的被提供有或者入射有第二激光束l2的一部分可限定为正常照射部分npt。在第二激光束l2照射到正常照射部分npt的情况下，激光束lb可被正常地照射到衬底sub，并且因此，可适当地执行结晶工艺。在第二激光束l2照射到光入射表面lis的部分地偏离正常照射部分npt的一部分的情况下，激光束lb(参照图1)可能无法正常地照射到衬底sub(参照图2)。
103.第一透镜ln1和第二透镜ln2之间的距离可设定为允许第二激光束l2保持第二宽度wt2的距离。例如，在第一激光束l1是在x轴方向x上行进的线性光的情况下，在x轴方向x上，第一透镜ln1和第二透镜ln2之间的距离可设定为通过将第二焦距fl2与第一焦距fl1相加而获得的值。然而，第一激光束l1可以不是在x轴方向x上行进的线性光。将参照图4描述第一透镜ln1和第二透镜ln2之间的距离。
104.图4是示出在第一激光束从图3中所示的光束扩展器发射的情况下的第一透镜和第二透镜之间的距离的视图。
105.作为示例，图3中所示的第二透镜ln2在图4中由虚线示出。
106.参照图4，由激光束生成器lar生成的第一激光束l1'可以相对于x轴方向x以第一发射角θd发射并且可以第一发射角θd行进。例如，第一激光束l1'可以放射状发射。例如，第一激光束l1'可具有随着距第一透镜ln1的距离减小而逐渐增加的宽度。
107.第一激光束l1'可被第一透镜ln1聚集。经聚集的第一激光束l1'可在被聚集在与焦点fc在x轴方向x上间隔开第一距离α的点处之后被扩展。例如，第一激光束l1'可在被聚集在可与焦点fc间隔开第一距离α的焦点fc'处之后被扩展。
108.第一距离α可对应于焦点fc和焦点fc'之间的距离。在图4中，与由虚线示出的第二透镜ln2相比，第二透镜ln2的位置可向右侧移动第一距离α。焦点fc'和第二透镜ln2之间的距离可为第二焦距fl2。
109.第一距离α可基于从激光束生成器lar输出的第一激光束l1'相对于x轴方向x行进的第一发射角θd来限定或设定。详细地，在x轴方向x上第一透镜ln1和第二透镜ln2之间的距离可设定为通过将第一焦距fl1、第二焦距fl2和第一距离α相加而获得的值。
110.在第一距离α为大约零(0)的情况下，第一透镜ln1和第二透镜ln2之间的距离可设定为如图3中所示的通过将第一焦距fl1和第二焦距fl2相加而获得的值。在第一距离α大于大约零(0)的情况下，第一透镜ln1和第二透镜ln2之间的距离可增加第一距离α。随着从激光束生成器lar输出的第一激光束l1
′
发射的第一发射角θd增加，第一距离α可增加。
111.第一激光束l1'可被提供给第二透镜ln2或入射在第二透镜ln2上。从第一透镜ln1输出的第一激光束l1'可被第二透镜ln2折射。经由第二透镜ln2折射的第一激光束l1'可在基本上平行于x轴方向x的方向上行进，并且可作为第二激光束l2被提供给光束分离器b-hom的光入射表面lis或入射在光束分离器b-hom的光入射表面lis上。第二激光束l2可被提供给正常照射部分npt或入射在正常照射部分npt上。
112.在第一透镜ln1和第二透镜ln2之间的距离设定为通过将第一焦距fl1、第二焦距fl2和第一距离α相加而获得的值的情况下，通过第二透镜ln2提供给光束分离器b-hom或入射在光束分离器b-hom上的第二激光束l2可以经校正的第二宽度wt2提供给正常照射部分npt或入射在正常照射部分npt上。
113.图5是示出相对于x轴方向以预定角度行进的第一激光束的视图。
114.参照图5，由激光束生成器lar生成的第一激光束lb1可在与沿x轴方向x的第一激光束l1的方向不同的方向上行进。例如，第一激光束lb1的入射角可与第一激光束l1的入射角不同。例如，第一激光束lb1可行进以与x轴方向x形成第一角度θ1。尽管图中未示出，但是第一激光束lb1可行进以与y轴方向y形成第一角度θ1。
115.第一激光束lb1可被第一透镜ln1聚集。经聚集的第一激光束lb1可在被聚集在第一透镜ln1和第二透镜ln2之间之后被扩展。第一激光束lb1可在被聚集在第一焦点fc1处之后被扩展，第一焦点fc1形成在与焦点fc的位置不同的位置中。
116.随着第一激光束lb1的入射角增加，第一激光束l1被聚集的焦点fc与第一激光束lb1被聚集的第一焦点fc1之间的距离可增加。经扩展的第一激光束lb1可被第二透镜ln2折射。经由第二透镜ln2折射的第一激光束lb1可输出作为第二激光束lb2。
117.从第二透镜ln2提供的第二激光束lb2可相对于y轴方向y具有第二宽度wt2，并且可被提供给光束分离器b-hom的光入射表面lis或入射在光束分离器b-hom的光入射表面lis上。在激光束生成器lar与第一透镜ln1间隔开第一焦距fl1并且第二透镜ln2与光束分离器b-hom间隔开第二焦距fl2的情况下，光入射表面lis的被提供有或者入射有第二激光束lb2的位置可与图3和图4中所示的光入射表面lis的被提供有或者入射有第二激光束l2的位置基本上相同。例如，第二激光束lb2可被提供给正常照射部分npt或入射在正常照射
部分npt上。
118.在下文中，将描述在激光束生成器lar不与第一透镜ln1间隔开第一焦距fl1的情况以及第二透镜ln2不与光束分离器b-hom间隔开第二焦距fl2的情况下，光入射表面lis的被提供有或者入射有第二激光束lb2的位置。由于以上已详细描述光束扩展器b-exp的操作，因此将省略或简略地描述其细节。
119.图6是示出在图5中所示的激光束生成器和第一透镜之间的距离大于第一焦距的情况下的第一激光束和第二激光束行进的方向的视图。
120.参照图6，激光束生成器lar可在x轴方向x上与第一透镜ln1间隔开大于第一焦距fl1的距离。例如，激光束生成器lar可与第一透镜ln1间隔开通过将第一焦距fl1和第一距离dt1相加而获得的距离。由激光束生成器lar生成的第一激光束lb1可相对于x轴方向x以第一角度θ1行进。
121.由于激光束生成器lar和第一透镜ln1之间的距离大于图5中所示的距离，因此，第一激光束lb1可被提供给或者入射在第一透镜ln1的可定位为或设置为比图5中所示的部分高的一部分。由光束扩展器b-exp扩展的第二激光束lb2可被提供给或入射在光入射表面lis的可定位为或设置为比图5中所示的部分高的一部分。例如，在激光束生成器lar在x轴方向x上与第一透镜ln1间隔开大于第一焦距fl1的距离的情况下，第二激光束lb2可照射到或入射在光入射表面lis上，以部分地偏离正常照射部分npt。
122.图7是示出在图5中所示的第二透镜和光入射表面之间的距离大于第二焦距的情况下的第一激光束和第二激光束行进的方向的视图。
123.参照图7，光束分离器b-hom可在x轴方向x上与第二透镜ln2间隔开大于第二焦距fl2的距离。例如，光束分离器b-hom可与第二透镜ln2间隔开通过将第二焦距fl2和第二距离dt2相加而获得的距离。由激光束生成器lar生成的第一激光束lb1可相对于x轴方向x以第一角度θ1行进。
124.由于光束分离器b-hom和第二透镜ln2之间的距离大于图5中所示的距离，因此，由光束扩展器b-exp扩展的第二激光束lb2可被提供给或者入射在光入射表面lis的可定位为或设置为比图5中所示的部分低的一部分。例如，在光束分离器b-hom在x轴方向x上与第二透镜ln2间隔开大于第二焦距fl2的距离的情况下，第二激光束lb2可照射到或入射在光入射表面lis上，以部分地偏离正常照射部分npt。
125.再次参照图5，激光束生成器lar可与第一透镜ln1间隔开第一焦距fl1，并且光束分离器b-hom可与第二透镜ln2间隔开第二焦距fl2。相应地，与图6和图7不同，第二激光束lb2可被提供给光入射表面lis的正常照射部分npt或入射在光入射表面lis的正常照射部分npt上。因此，具有经校正的宽度的激光束lb(参照图1)可正常地照射到衬底sub(参照图2)。结果，可正常地执行衬底sub(参照图2)的结晶工艺。
126.图8a是示出由图3中所示的激光束生成器生成的第一激光束的照射区域的测试结果的视图。
127.图8b是示出由图5中所示的激光束生成器生成的第一激光束的照射区域的测试结果的视图。
128.图9是示出由图6中所示的激光束生成器生成的第一激光束的照射区域的测试结果的视图。
129.图8a、图8b和图9是示出光束分离器的光入射表面的亮度的视图。
130.参照图8a，第一激光束l1的入射角可为大约零(0)。图3中所示的第二激光束l2可照射到光束分离器b-hom的光入射表面lis的正常照射部分npt或可入射在光束分离器b-hom的光入射表面lis的正常照射部分npt上。
131.参照图8b，第一激光束lb1可相对于x轴方向x以第一角度θ1行进。例如，第一激光束lb1的入射角可为第一角度θ1。图5中所示的第二激光束lb2可照射到光束分离器b-hom的光入射表面lis的正常照射部分npt。例如，可为第一激光束lb1的入射角的第一角度θ1可相对于x轴方向x为大约0.1
°
。
132.参照图9，图6中所示的第二激光束lb2可部分地偏离光束分离器b-hom的光入射表面lis的正常照射部分npt。尽管未在图中示出，但是图7中所示的第二激光束lb2也可部分地偏离光束分离器b-hom的光入射表面lis的正常照射部分npt。
133.因此，如图3和图5中所示，第二激光束l2和第二激光束lb2可被提供给光入射表面lis的正常照射部分npt或入射在光入射表面lis的正常照射部分npt上，而与第一激光束l1和lb1的照射方向无关。
134.图10是示出根据实施方式的激光照射设备lid'的视图。
135.除了还可包括第一虚设透镜dln1和第二虚设透镜dln2之外，根据实施方式的激光照射设备lid'可具有与图3中所示的激光照射设备lid的构造或布置基本上相同的构造或布置。相应地，在下文中，将描述第一虚设透镜dln1和第二虚设透镜dln2。
136.参照图10，激光照射设备lid'还可包括第一虚设透镜dln1和第二虚设透镜dln2。第一虚设透镜dln1和第二虚设透镜dln2可设置在光束扩展器b-exp和光束分离器b-hom之间。
137.第一虚设透镜dln1和第二虚设透镜dln2可与第二透镜ln2和光束分离器b-hom一起在x轴方向x上布置或设置。第一虚设透镜dln1可设置为在x轴方向x上面对第二透镜ln2。第二虚设透镜dln2可设置为在x轴方向x上面对第一虚设透镜dln1。第一虚设透镜dln1可设置在第二透镜ln2和第二虚设透镜dln2之间。第二虚设透镜dln2可设置在第一虚设透镜dln1和光束分离器b-hom之间。
138.第一虚设透镜dln1可具有第三焦距fl3。第二虚设透镜dln2可具有第四焦距fl4。第三焦距fl3可与第二焦距fl2基本上相同；然而，其不应限于此或由此限制。例如，第三焦距fl3可与第二焦距fl2不同。第四焦距fl4可与第三焦距fl3基本上相同；然而，其不应限于此或由此限制。例如，第四焦距fl4可与第三焦距fl3不同。
139.在x轴方向x上，第二透镜ln2和第一虚设透镜dln1之间的距离可设定为通过将第二焦距fl2和第三焦距fl3相加而获得的值。
140.在x轴方向x上，第一虚设透镜dln1和第二虚设透镜dln2之间的距离可设定为通过将第三焦距fl3和第四焦距fl4相加而获得的值。
141.光束分离器b-hom可在x轴方向x上与第二虚设透镜dln2间隔开第四焦距fl4。
142.第一虚设透镜dln1可包括面对第二透镜ln2的第一虚设表面ds1和面对第二虚设透镜dln2的第二虚设表面ds2。第一虚设表面ds1可为朝向第二透镜ln2的凸表面，并且第二虚设表面ds2可为与y轴方向y基本上平行的基本上平坦的表面。例如，第一虚设透镜dln1可限定为凸透镜。
143.第二虚设透镜dln2可包括面对第二虚设表面ds2的第三虚设表面ds3和面对光束分离器b-hom的第四虚设表面ds4。第四虚设表面ds4可为朝向光束分离器b-hom的凸表面，并且第三虚设表面ds3可为与y轴方向y基本上平行的基本上平坦的表面。例如，第二虚设透镜dln2可限定为凸透镜。
144.彼此面对的第二虚设表面ds2和第三虚设表面ds3可包括彼此基本上平行的基本上平坦的表面。面向彼此相反的方向的第一虚设表面ds1和第四虚设表面ds4可包括朝向彼此相反的方向的凸表面。
145.第一激光束l1可被提供给光束扩展器b-exp或入射在光束扩展器b-exp上，并且可被扩展，并且由光束扩展器b-exp扩展的第二激光束l2可被提供给第一虚设透镜dln1或入射在第一虚设透镜dln1上。第二激光束l2可保持经校正的宽度，并且在穿过第一虚设透镜dln1和第二虚设透镜dln2之后可被提供给光束分离器b-hom或入射在光束分离器b-hom上。第二激光束l2可被提供给正常照射部分npt或入射在正常照射部分npt上。
146.相对于x轴方向x以第一角度θ1行进的第一激光束lb1可被光束扩展器b-exp扩展，并且经扩展的第二激光束lb2可被提供给第一虚设透镜dln1或入射在第一虚设透镜dln1上。第二激光束lb2可被第一虚设透镜dln1聚集和扩展，并且可被提供给第二虚设透镜dln2或入射在第二虚设透镜dln2上。第二激光束lb2可被第二虚设透镜dln2折射，并且可照射到光束分离器b-hom的光入射表面lis或入射在光束分离器b-hom的光入射表面lis上。
147.在激光束生成器lar与第一透镜ln1间隔开第一焦距fl1，第一虚设透镜dln1与第二透镜ln2间隔开通过将第二焦距fl2和第三焦距fl3相加而获得的距离，第二虚设透镜dln2与第一虚设透镜dln1间隔开通过将第三焦距fl3和第四焦距fl4相加而获得的距离，并且光束分离器b-hom与第二虚设透镜dln2间隔开第四焦距fl4的情况下，第二激光束lb2可被提供给光入射表面lis的正常照射部分npt或入射在光入射表面lis的正常照射部分npt上。
148.图11是示出从激光束生成器发射的激光束的角度和入射到光束分离器的激光束的角度之间的关系的视图。
149.参照图11，第一激光束lb1可相对于x轴方向x或光轴lx以第一角度θ1行进。相应地，第一激光束lb1的入射角可为第一角度θ1。第一激光束lb1可在穿过第一透镜ln1之后穿过第一焦点fc1。第一激光束lb1可在穿过第一焦点fc1之后被提供给第二透镜ln2或入射在第二透镜ln2上。
150.在穿过第二透镜ln2之后，第二激光束lb2可相对于x轴方向x以第二角度θ2行进。相应地，第二激光束lb2朝向光束分离器b-hom的光入射表面lis的入射角可为第二角θ2。
151.第一角度θ1和第二角度θ2之间的关系可由下面的等式1限定。
152.等式1
153.fl1
·
θ1＝fl2
·
θ2
154.在等式1中，fl1表示第一透镜ln1的第一焦距fl1，fl2表示第二透镜ln2的第二焦距fl2，θ1表示第一激光束lb1的入射角，并且θ2表示第二激光束lb2的入射角。
155.可依据第一焦距fl1和第二焦距fl2确定第一激光束lb1的入射角和第二激光束lb2的入射角。例如，随着第二焦距fl2与第一焦距fl1的比率增加，第二角度θ2可减小。例如，随着第二焦距fl2增加，第二激光束lb2相对于x轴方向x的入射角减小。因此，第二激光
束lb2可更平行于x轴方向x行进。
156.图12是示出使用激光照射设备制造的显示面板dp的平面图。
157.参照图12，显示装置dd可包括显示面板dp、扫描驱动器sdv、数据驱动器ddv和发射驱动器edv。
158.显示面板dp可为发光型显示面板，然而，其不应受特别限制。例如，显示面板dp可为有机发光显示面板或量子点发光显示面板。有机发光显示面板的发光层可包括有机发光材料。量子点发光显示面板的发光层可包括量子点或量子棒。在下文中，有机发光显示面板将被描述为显示面板dp的代表性示例。
159.显示面板dp可具有大致矩形形状，该大致矩形形状具有在第一方向dr1上延伸的长边和在第二方向dr2上延伸的短边，然而，显示面板dp的形状不应限于此或由此限制。显示面板dp可包括显示区域da以及围绕显示区域da或与显示区域da相邻的非显示区域nda。
160.显示面板dp可包括多个像素px、多个扫描线sl1至slm、多个数据线dl1至dln、多个发射线el1至elm、第一控制线csl1和第二控制线csl2、第一电源线pl1和第二电源线pl2、连接线cnl和多个焊盘pd。“m”和“n”中的每个是自然数。
161.像素px可布置或设置在显示区域da中。扫描驱动器sdv、发射驱动器edv和数据驱动器ddv可设置在非显示区域nda中。扫描驱动器sdv和发射驱动器edv可设置在非显示区域nda中以分别与显示面板dp的长边相邻。数据驱动器ddv可以集成电路芯片的形式制造，并且可设置为在非显示区域nda中与显示面板dp的短边中的一个短边(例如，显示面板dp的下端)相邻。
162.扫描线sl1至slm可在第二方向dr2上延伸，并且可电连接到像素px和扫描驱动器sdv。数据线dl1至dln可在第一方向dr1上延伸，并且可电连接到像素px和数据驱动器ddv。发射线el1至elm可在第二方向dr2上延伸，并且可电连接到像素px和发射驱动器edv。
163.第一电源线pl1可在第一方向dr1上延伸，并且可设置在非显示区域nda中。第一电源线pl1可设置在显示区域da和发射驱动器edv之间。多个连接线cnl可设置在显示区域da中，可在第二方向dr2上延伸，并且可沿第一方向dr1布置或设置。连接线cnl可电连接到第一电源线pl1和像素px。第一电压可通过第一电源线pl1和电连接到第一电源线pl1的连接线cnl施加到像素px。
164.第二电源线pl2可设置在非显示区域nda中。第二电源线pl2可沿显示面板dp的长边以及显示面板dp的未设置数据驱动器ddv的另一短边延伸。第二电源线pl2可设置在扫描驱动器sdv和发射驱动器edv外侧。尽管未在图中示出，但是第二电源线pl2可延伸到显示区域da并且可电连接到像素px。具有比第一电压的电平低的电平的第二电压可通过第二电源线pl2施加到像素px。
165.当在平面图中观察时，第一控制线csl1可电连接到扫描驱动器sdv，并且可朝着显示面板dp的下端延伸。当在平面图中观察时，第二控制线csl2可电连接到发射驱动器edv，并且可朝着显示面板dp的下端延伸。数据驱动器ddv可设置在第一控制线csl1和第二控制线csl2之间。
166.焊盘pd可设置为比数据驱动器ddv设置的更靠近显示面板dp的下端。数据线dl1至dln可电连接到数据驱动器ddv，并且数据驱动器ddv可电连接到与数据线dl1至dln对应的焊盘pd。第一电源线pl1、第二电源线pl2、第一控制线csl1和第二控制线csl2可电连接到对
应的焊盘pd。
167.尽管未在图中示出，但是显示装置dd还可包括控制扫描驱动器sdv、数据驱动器ddv和发射驱动器edv的操作的时序控制器以及生成第一电压和第二电压的电压生成器。时序控制器和电压生成器可通过印刷电路板电连接到对应的焊盘pd。
168.扫描驱动器sdv可生成多个扫描信号，并且扫描信号可通过扫描线sl1至slm施加到像素px。数据驱动器ddv可生成多个数据电压，并且数据电压可通过数据线dl1至dln施加到像素px。发射驱动器edv可生成多个发射信号，并且发射信号可通过发射线el1至elm施加到像素px。
169.像素px可响应于扫描信号而接收数据电压。像素px可响应于发射信号而发射具有与数据电压对应的亮度的光，并且因此，可显示图像。像素px的发射时间可由发射信号控制。
170.图13是示出图12中所示的像素之中的一个像素的示意性截面图。
171.参照图13，像素px可包括晶体管tr和发光元件oled。发光元件oled可包括第一电极ae、第二电极ce、空穴控制层hcl、电子控制层ecl和发光层eml。第一电极ae可为阳极，并且第二电极ce可为阴极。
172.晶体管tr和发光元件oled可设置在衬底sub上。作为示例，在图13中示出一个晶体管tr，然而，像素px可包括多个晶体管和至少一个电容器，以驱动发光元件oled。
173.显示区域da可包括与像素px对应的发射区域pa和在发射区域pa周围的非发射区域npa。发光元件oled可设置在发射区域pa中。
174.缓冲层bfl可设置在衬底sub上，并且缓冲层bfl可为无机层。半导体图案可设置在缓冲层bfl上。半导体图案可使用半导体层形成。半导体图案可包括多晶硅。包括多晶硅的半导体图案可通过激光照射设备lid形成在衬底sub上。
175.半导体图案可掺杂有n型掺杂剂或p型掺杂剂。半导体图案可依据其是掺杂有p型掺杂剂还是n型掺杂剂而具有不同的电特性。半导体图案可包括高掺杂区和低掺杂区。高掺杂区可具有比低掺杂区的电导率大的电导率，并且可基本上用作晶体管tr的源电极和漏电极。低掺杂区可基本上对应于晶体管tr的有源部(或沟道)。
176.晶体管tr的源极s、有源区域或有源区a和漏极d可由半导体图案形成。第一绝缘层ins1可设置在半导体图案上。晶体管tr的栅极g可设置在第一绝缘层ins1上。第二绝缘层ins2可设置在栅极g上。第三绝缘层ins3可设置在第二绝缘层ins2上。
177.连接电极cne可设置在晶体管tr和发光元件oled之间，以将晶体管tr电连接到发光元件oled。连接电极cne可包括第一连接电极cne1以及可设置在第一连接电极cne1上的第二连接电极cne2。
178.第一连接电极cne1可设置在第三绝缘层ins3上，并且可通过第一接触孔ch1电连接到漏极d，第一接触孔ch1穿过第一绝缘层ins1、第二绝缘层ins2和第三绝缘层ins3来限定或形成。第四绝缘层ins4可设置在第一连接电极cne1上。第五绝缘层ins5可设置在第四绝缘层ins4上。
179.第二连接电极cne2可设置在第五绝缘层ins5上。第二连接电极cne2可通过第二接触孔ch2电连接到第一连接电极cne1，第二接触孔ch2穿过第四绝缘层ins4和第五绝缘层ins5来限定或形成。第六绝缘层ins6可设置在第二连接电极cne2上。第一绝缘层ins1至第
六绝缘层ins6中的每个可为无机层或有机层。
180.第一电极ae可设置在第六绝缘层ins6上。第一电极ae可通过第三接触孔ch3电连接到第二连接电极cne2，第三接触孔ch3穿过第六绝缘层ins6来限定或形成。像素限定层pdl可设置在第一电极ae和第六绝缘层ins6上，以暴露第一电极ae的预定部分。像素限定层pdl可设置有穿过其而限定或形成的开口px_op，以暴露第一电极ae的预定部分。
181.空穴控制层hcl可设置在第一电极ae和像素限定层pdl上。空穴控制层hcl可公共地设置在发射区域pa和非发射区域npa中。空穴控制层hcl可包括空穴传输层和空穴注入层。
182.发光层eml可设置在空穴控制层hcl上。发光层eml可设置在与开口px_op对应的区域中。发光层eml可包括有机材料和/或无机材料。发光层eml可生成具有红颜色、绿颜色和蓝颜色中的一种的光。
183.电子控制层ecl可设置在发光层eml和空穴控制层hcl上。电子控制层ecl可公共地设置在发射区域pa和非发射区域npa中。电子控制层ecl可包括电子传输层和电子注入层。
184.第二电极ce可设置在电子控制层ecl上。第二电极ce可公共地设置在多个像素px中。薄膜封装层tfe可设置在发光元件oled上。
185.第一电压可通过晶体管tr施加到第一电极ae，并且第二电压可施加到第二电极ce。注入到发光层eml中的空穴和电子可复合以生成激子，并且发光元件oled可通过从激发态返回到基态的激子发射光。
186.尽管已描述了实施方式，但是要理解的是，本公开不应限于这些实施方式，而是本领域普通技术人员在如随后所要求保护的本公开的精神和范围内能进行各种改变和修改。因此，所公开的主题不应限于在本文中所描述的任何单个实施方式，并且本公开的范围应根据所附的权利要求来确定。