激光照射设备的制作方法

技术特征：
1.一种激光照射设备，包括：激光束生成器，生成第一激光束；光束扩展器，扩展所述第一激光束并且输出经扩展的所述第一激光束作为第二激光束；光束分离器，将所述第二激光束分成多个第三激光束并且输出所述多个第三激光束；以及光束聚集器，聚集所述多个第三激光束并且输出经聚集的所述多个第三激光束，其中，所述光束扩展器包括：第一透镜，具有第一焦距；以及第二透镜，具有第二焦距，所述第一透镜设置在所述激光束生成器和所述第二透镜之间，所述第二透镜设置在所述第一透镜和所述光束分离器之间，并且所述激光束生成器与所述第一透镜间隔开所述第一焦距。2.根据权利要求1所述的激光照射设备，其中，所述光束分离器与所述第二透镜间隔开所述第二焦距。3.根据权利要求1所述的激光照射设备，其中，所述第一激光束通过所述第一透镜入射在所述第二透镜上，经由所述第一透镜和所述第二透镜扩展，并且经由所述第二透镜输出作为所述第二激光束。4.根据权利要求1所述的激光照射设备，其中，所述激光束生成器、所述光束扩展器、所述光束分离器和所述光束聚集器沿与所述第一透镜和所述第二透镜的光轴平行的x轴方向设置。5.根据权利要求4所述的激光照射设备，其中，在所述x轴方向上，所述第二透镜的所述第二焦距大于所述第一透镜的所述第一焦距。6.根据权利要求4所述的激光照射设备，其中，在垂直于所述x轴方向的y轴方向上，所述第二激光束具有比所述第一激光束的宽度大的宽度。7.根据权利要求6所述的激光照射设备，其中，在所述y轴方向上，所述第二透镜具有比所述第一透镜的宽度大的宽度。8.根据权利要求4所述的激光照射设备，其中，在所述x轴方向上，所述第一透镜和所述第二透镜之间的距离由通过将所述第一焦距、所述第二焦距和第一距离相加而获得的值来设定。9.根据权利要求8所述的激光照射设备，其中，所述第一距离等于或大于零。10.根据权利要求9所述的激光照射设备，其中，所述第一距离基于从所述激光束生成器输出的所述第一激光束相对于所述x轴方向发射的发射角来设定。11.根据权利要求10所述的激光照射设备，其中，所述第一距离随着所述发射角增加而增加。12.根据权利要求4所述的激光照射设备，其中，所述第一透镜包括：第一表面，面对所述激光束生成器；以及第二表面，面对所述第二透镜，
所述第二透镜包括：第三表面，面对所述第一透镜的所述第二表面；以及第四表面，面对所述光束分离器，所述第一表面和所述第二表面中的一个包括平坦表面或弯曲表面，所述第一表面和所述第二表面中的另一个包括弯曲表面，所述第三表面和所述第四表面中的一个包括平坦表面或弯曲表面，并且所述第三表面和所述第四表面中的另一个包括弯曲表面。13.根据权利要求12所述的激光照射设备，其中，所述光束分离器包括：多个第三透镜，面对所述第二透镜；以及多个第四透镜，设置在所述多个第三透镜和所述光束聚集器之间，所述多个第三透镜中的每个包括：第五表面，面对所述第二透镜；以及第六表面，面对所述多个第四透镜，所述多个第四透镜中的每个包括：第七表面，面对所述多个第三透镜；以及第八表面，面对所述光束聚集器，所述第六表面和所述第五表面中的一个包括平坦表面或弯曲表面，所述第六表面和所述第五表面中的另一个包括弯曲表面，所述第七表面和所述第八表面中的一个包括平坦表面或弯曲表面，并且所述第七表面和所述第八表面中的另一个包括弯曲表面。14.根据权利要求13所述的激光照射设备，其中，所述光束聚集器包括：第九表面，面对所述多个第四透镜；以及第十表面，与所述第九表面相对，所述第九表面和所述第十表面中的一个包括平坦表面或弯曲表面，并且所述第九表面和所述第十表面中的另一个包括弯曲表面。15.根据权利要求14所述的激光照射设备，还包括设置在所述第二透镜和所述光束分离器之间的第一虚设透镜，所述第一虚设透镜具有第三焦距，其中，在所述x轴方向上，所述第二透镜和所述第一虚设透镜之间的距离由通过将所述第二焦距和所述第三焦距相加而获得的值来设定。16.根据权利要求15所述的激光照射设备，还包括设置在所述第一虚设透镜和所述光束分离器之间的第二虚设透镜，所述第二虚设透镜具有第四焦距，其中，在所述x轴方向上，所述第一虚设透镜和所述第二虚设透镜之间的距离由通过将所述第三焦距和所述第四焦距相加而获得的值来设定。17.根据权利要求16所述的激光照射设备，其中，所述光束分离器与所述第二虚设透镜间隔开所述第四焦距。18.根据权利要求1所述的激光照射设备，其中，由所述激光束生成器生成的所述第一激光束相对于x轴方向以第一角度入射，
所述第二激光束相对于所述x轴方向以第二角度入射到所述光束分离器，所述第一角度和所述第二角度之间的关系由下面的等式来确定：fl1
·
θ1＝fl2
·
θ2，其中，fl1表示所述第一透镜的所述第一焦距，θ1表示所述第一角度，fl2表示所述第二透镜的所述第二焦距，并且θ2表示所述第二角度。

技术总结
提供了激光照射设备。激光照射设备包括：激光束生成器，生成第一激光束；光束扩展器，扩展第一激光束并且输出经扩展的第一激光束作为第二激光束；光束分离器，将第二激光束分成多个第三激光束并且输出多个第三激光束；以及光束聚集器，聚集多个第三激光束并且输出经聚集的多个第三激光束。光束扩展器包括具有第一焦距的第一透镜和具有第二焦距的第二透镜。第一透镜设置在激光束生成器和第二透镜之间，第二透镜设置在第一透镜和光束分离器之间，并且激光束生成器与第一透镜间隔开第一焦距。激光束生成器与第一透镜间隔开第一焦距。激光束生成器与第一透镜间隔开第一焦距。


技术研发人员：金志桓 苏炳洙 崔锺勋
受保护的技术使用者：三星显示有限公司
技术研发日：2021.08.24
技术公布日：2022/3/18