气体喷头的清洁系统及清洁方法与流程

技术特征：
1.一种气体喷头的清洁系统，其特征在于，所述系统包括：清洁液供应模块，用于供应清洁液；超纯水供应模块，用于供应超纯水；干燥气体供应模块，用于供应干燥气体；清洁组件，所述清洁组件用于在清洁处理期间保持要被清洁的气体喷头，并使注入的清洁液、超纯水及干燥气体穿过所述气体喷头的气体通孔，其中所述清洁液供应模块、所述超纯水供应模块及所述干燥气体供应模块各自通过清洁液供应管线、超纯水供应管线和干燥气体供应管线与所述清洁组件连通，以分别将清洁液、超纯水及干燥气体注入所述清洁组件。2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述清洁组件包括：固定部，与所述气体喷头连接，用于固定所述气体喷头；输入部，所述输入部设置有流体入口，所述流体入口用于注入清洁液、超纯水及干燥气体；输出部，所述输出部设置有流体出口，所述流体出口用于将注入的清洁液、超纯水及干燥气体从所述清洁组件输出以穿过要被清洁的气体喷头的气体通孔；其中，所述输入部和所述输出部之间形成一个流体均匀腔，使得注入的清洁液、超纯水及干燥气体均匀分布于输出部整个表面。3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述清洁液供应管线、所述超纯水供应管线及所述干燥气体供应管线均设置有对应的控制阀。4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述系统还包括：系统控制器，用于对所述清洁液供应管线、所述超纯水供应管线及所述干燥气体供应管线上的控制阀进行控制，以控制清洁处理的进程。5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述系统控制器包括用于整体控制各控制阀的可编程逻辑控制器。6.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述清洁组件的尺寸和形状与被清洁的气体喷头的尺寸和形状相匹配。7.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述干燥气体为氮气(n2)或者压缩空气。8.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述系统还包括：流体储存槽，用于储存在清洁处理期间从所述清洁组件中流出的清洁液和超纯水；排出管，用于排出所述流体储存槽获得的清洁液和超纯水。9.一种基于如权利要求1所述的系统的气体喷头的清洁方法，其特征在于，所述方法包括：将清洁液通过清洁液供应管线供应到所述清洁组件，使得所述清洁液穿过所述气体喷头的气体通孔，实现对所述气体喷头的清洁；将超纯水通过超纯水供应管线供应到所述清洁组件，使得所述超纯水穿过所述气体喷头的气体通孔，实现对所述气体喷头的漂洗；将干燥气体通过干燥气体供应管线供应到所述清洁组件，使得所述干燥气体穿过所述气体喷头的气体通孔，实现对所述气体喷头的干燥。

技术总结
本发明提供一种气体喷头的清洁系统及清洁方法，清洁系统包括：用于供应清洁液的清洁液供应模块，用于供应超纯水的超纯水供应模块，用于供应干燥气体的干燥气体供应模块，以及清洁组件，清洁组件用于在清洁处理期间保持要被清洁的气体喷头，并使注入的清洁液、超纯水及干燥气体穿过气体喷头的气体通孔。本发明能够实现气体喷头非原位的自动清洗。能够实现气体喷头非原位的自动清洗。能够实现气体喷头非原位的自动清洗。


技术研发人员：金暻台 白国斌 高建峰 崔恒玮 王桂磊 丁云凌
受保护的技术使用者：真芯（北京）半导体有限责任公司
技术研发日：2020.09.18
技术公布日：2022/3/18