一种多工位高效的晶圆撕膜机的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆加工的技术领域，特别是涉及一种多工位高效的晶圆撕膜机。


背景技术：

2.晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。
3.晶圆在生产时需要对其进行多种加工，而其中对晶圆转运时需要对其缠绕保护膜，当对晶圆进行加工时则需要对晶圆外侧的保护膜进行撕下，现有对晶圆保护膜进行撕下的方法是，人工手撕晶圆上的保护膜，此方法耗费大量的劳动力和时间，导致其工作效率较低。


技术实现要素：

4.为解决上述技术问题，本实用新型提供一种可以自动对晶圆进行撕膜，操作较简单，节省了大量的劳动力和时间，提高其工作效率的多工位高效的晶圆撕膜机。
5.本实用新型的一种多工位高效的晶圆撕膜机，包括底板、四组支撑柱、工作台、压力装置、第一气管、第一吸盘、四组第一气缸、四组第一活塞、顶板、电机、减速器、转轴、转动架、第二气缸、第二活塞、移动杆、第二吸盘、第二气管和螺杆，工作台通过四组支撑柱安装在底板顶端，压力装置安装在底板顶端，第一气管输出端与压力装置输入端连接，第一吸盘安装在工作台上，第一吸盘输出端与第一气管输入端连接，四组第一气缸安装在工作台顶端，四组第一活塞底端与四组第一气缸输出端连接，顶板安装在四组第一活塞顶端，电机和减速器均安装在顶板顶端，电机输出端与减速器输入端连接，减速器输出端穿过顶板与转轴顶端连接，转动架安装在转轴底端，转动架内部设置有滑槽，第二气缸安装在滑槽右侧，第二活塞右端与第二气缸输出端连接，移动杆安装在第二活塞左端，移动杆在滑槽内滑动，第二吸盘安装在移动杆底端，第二气管输入端通过旋转接头与第二吸盘输出端连接，第二气管输出端与压力装置输入端连接，螺杆与转动架左端螺纹连接，顶板上设置有切断装置，工作台上设置有输送装置。
6.本实用新型的一种多工位高效的晶圆撕膜机，切断装置包括第三气缸、第三活塞、第四气缸、第四活塞和切割刀，第三气缸安装在顶板底端右侧，第三活塞顶端与第三气缸输出端连接，第四气缸安装在第三活塞底端，第四活塞右端与第四气缸输出端连接，切割刀安装在第四活塞左端。
7.本实用新型的一种多工位高效的晶圆撕膜机，输送装置包括第五气缸和第五活塞，工作台顶端左侧和工作台右侧均设置有输送带装置，第五气缸安装在工作台顶端左侧，第五活塞左端与第五气缸输出端连接。
8.本实用新型的一种多工位高效的晶圆撕膜机，还包括第一推板，第一推板安装在
第五活塞右端。
9.本实用新型的一种多工位高效的晶圆撕膜机，还包括第二推板，第二推板可转动安装在螺杆右端。
10.本实用新型的一种多工位高效的晶圆撕膜机，还包括转动把手，转动把手安装在螺杆左端。
11.本实用新型的一种多工位高效的晶圆撕膜机，所述转动把手上设置有把套。
12.本实用新型的一种多工位高效的晶圆撕膜机，所述电机底端设置有减震垫。
13.与现有技术相比本实用新型的有益效果为：根据晶圆的直径来调节第二吸盘的位置，通过转动螺杆，螺杆则与转动架螺纹连接，螺杆则推动移动杆在滑槽内移动至合适位置，然后输送装置将晶圆导入至工作台上，之后打开四组第一气缸，四组第一活塞则带动顶板整体向下运动，当第二吸盘和第一吸盘均与晶圆保护膜接触时，关闭四组第一气缸，然后打开压力装置，从而使晶圆的上侧保护膜吸附在第二吸盘上，晶圆的下侧保护膜吸附在第一吸盘上，之后打开四组第一气缸，四组第一活塞则带动顶板向上运动至适当位置，第二吸盘则带动晶圆上侧保护膜向上运动，从而使保护膜与晶圆产生间隙，然后打开切断装置，切断装置在对保护膜进行切开，之后打开第二气缸，第二活塞则带动移动杆向左运动，第二吸盘则带动晶圆上侧保护膜向左运动，然后打开电机，减速器则带动转轴转动，转轴则带动转动架整体转动，第二吸盘则将晶圆上侧的保护膜在晶圆上脱离下来，之后输送装置推动晶圆来对其进行输送，通过设置此设备，可以自动对晶圆进行撕膜，操作较简单，节省了大量的劳动力和时间，提高其工作效率。
附图说明
14.图1是本实用新型的结构示意图；
15.图2是图1的仰视结构示意图；
16.图3是图1中a的放大结构示意图；
17.图4是图2中b的放大结构示意图；
18.附图中标记：1、底板；2、支撑柱；3、工作台；4、压力装置；5、第一气管；6、第一吸盘；7、第一气缸；8、第一活塞；9、顶板；10、电机；11、减速器；12、转轴；13、转动架；14、滑槽；15、第二气缸；16、第二活塞；17、移动杆；18、第二吸盘；19、第二气管；20、螺杆；21、第三气缸；22、第三活塞；23、第四气缸；24、第四活塞；25、切割刀；26、输送带装置；27、第五气缸；28、第五活塞；29、第一推板；30、第二推板；31、转动把手。
具体实施方式
19.下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。
20.如图1至图4所示，本实用新型的一种多工位高效的晶圆撕膜机，包括底板1、四组支撑柱2、工作台3、压力装置4、第一气管5、第一吸盘6、四组第一气缸7、四组第一活塞8、顶板9、电机10、减速器11、转轴12、转动架13、第二气缸15、第二活塞16、移动杆17、第二吸盘18、第二气管19和螺杆20，工作台3通过四组支撑柱2安装在底板1顶端，压力装置4安装在底板1顶端，第一气管5输出端与压力装置4输入端连接，第一吸盘6安装在工作台3上，第一吸
盘6输出端与第一气管5输入端连接，四组第一气缸7安装在工作台3顶端，四组第一活塞8底端与四组第一气缸7输出端连接，顶板9安装在四组第一活塞8顶端，电机10和减速器11均安装在顶板9顶端，电机10输出端与减速器11输入端连接，减速器11输出端穿过顶板9与转轴12顶端连接，转动架13安装在转轴12底端，转动架13内部设置有滑槽14，第二气缸15安装在滑槽14右侧，第二活塞16右端与第二气缸15输出端连接，移动杆17安装在第二活塞16左端，移动杆17在滑槽14内滑动，第二吸盘18安装在移动杆17底端，第二气管19输入端通过旋转接头与第二吸盘18输出端连接，第二气管19输出端与压力装置4输入端连接，螺杆20与转动架13左端螺纹连接，顶板9上设置有切断装置，工作台3上设置有输送装置；根据晶圆的直径来调节第二吸盘18的位置，通过转动螺杆20，螺杆20则与转动架13螺纹连接，螺杆20则推动移动杆17在滑槽14内移动至合适位置，然后输送装置将晶圆导入至工作台3上，之后打开四组第一气缸7，四组第一活塞8则带动顶板9整体向下运动，当第二吸盘18和第一吸盘6均与晶圆保护膜接触时，关闭四组第一气缸7，然后打开压力装置4，从而使晶圆的上侧保护膜吸附在第二吸盘18上，晶圆的下侧保护膜吸附在第一吸盘6上，之后打开四组第一气缸7，四组第一活塞8则带动顶板9向上运动至适当位置，第二吸盘18则带动晶圆上侧保护膜向上运动，从而使保护膜与晶圆产生间隙，然后打开切断装置，切断装置在对保护膜进行切开，之后打开第二气缸15，第二活塞16则带动移动杆17向左运动，第二吸盘18则带动晶圆上侧保护膜向左运动，然后打开电机10，减速器11则带动转轴12转动，转轴12则带动转动架13整体转动，第二吸盘18则将晶圆上侧的保护膜在晶圆上脱离下来，之后输送装置推动晶圆来对其进行输送，通过设置此设备，可以自动对晶圆进行撕膜，操作较简单，节省了大量的劳动力和时间，提高其工作效率。
21.本实用新型的一种多工位高效的晶圆撕膜机，切断装置包括第三气缸21、第三活塞22、第四气缸23、第四活塞24和切割刀25，第三气缸21安装在顶板9底端右侧，第三活塞22顶端与第三气缸21输出端连接，第四气缸23安装在第三活塞22底端，第四活塞24右端与第四气缸23输出端连接，切割刀25安装在第四活塞24左端；打开第三气缸21，第三活塞22则带动第四气缸23整体向下运动，当切割刀25运动至指定位置后，关闭第三气缸21，然后打开第四气缸23，第四活塞24则带动切割刀25向左运动，切割刀25则对保护膜进行切开，之后反向打开第四气缸23，使第四活塞24带动切割刀25向右运动至初始位置，然后反向打开第三气缸21，第三活塞22则带动第四气缸23整体向上运动至初始位置，起对保护膜切开的作用，从而便于保护膜在晶圆上脱离下来。
22.本实用新型的一种多工位高效的晶圆撕膜机，输送装置包括第五气缸27和第五活塞28，工作台3顶端左侧和工作台3右侧均设置有输送带装置26，第五气缸27安装在工作台3顶端左侧，第五活塞28左端与第五气缸27输出端连接；晶圆通过左侧输送带装置26输送至工作台3上，然后打开第五气缸27，第五活塞28则推动晶圆在工作台3上滑动，从而使晶圆的中心位置与第一吸盘6位置对应，待晶圆的上侧保护膜在晶圆上脱离后，打开第五气缸27，第五活塞28则推动晶圆滑动至右侧输送带装置26上进行输送，起对晶圆输送的作用，提高自动化程度。
23.本实用新型的一种多工位高效的晶圆撕膜机，还包括第一推板29，第一推板29安装在第五活塞28右端；通过设置第一推板29，可以增大第五活塞28与晶圆的接触面积，从而提高其稳定性。
24.本实用新型的一种多工位高效的晶圆撕膜机，还包括第二推板30，第二推板30可转动安装在螺杆20右端；通过设置第二推板30，可以增大螺杆20与移动杆17的接触面积，从而提高螺杆20的稳定性。
25.本实用新型的一种多工位高效的晶圆撕膜机，还包括转动把手31，转动把手31安装在螺杆20左端；通过设置转动把手31，便于操作螺杆20。
26.本实用新型的一种多工位高效的晶圆撕膜机，所述转动把手31上设置有把套；可以增大转动把手31的摩擦力，起防滑的作用。
27.本实用新型的一种多工位高效的晶圆撕膜机，所述电机10底端设置有减震垫；可以起对电机10减震的作用，延长电机10的使用寿命。
28.本实用新型的一种多工位高效的晶圆撕膜机，其在工作时，首先根据晶圆的直径来调节第二吸盘18的位置，通过转动螺杆20，螺杆20则与转动架13螺纹连接，螺杆20则推动移动杆17在滑槽14内移动至合适位置，然后晶圆通过左侧输送带装置26输送至工作台3上，打开第五气缸27，第五活塞28则推动晶圆在工作台3上滑动，从而使晶圆的中心位置与第一吸盘6位置对应，之后打开四组第一气缸7，四组第一活塞8则带动顶板9整体向下运动，当第二吸盘18和第一吸盘6均与晶圆保护膜接触时，关闭四组第一气缸7，然后打开压力装置4，从而使晶圆的上侧保护膜吸附在第二吸盘18上，晶圆的下侧保护膜吸附在第一吸盘6上，之后打开四组第一气缸7，四组第一活塞8则带动顶板9向上运动至适当位置，第二吸盘18则带动晶圆上侧保护膜向上运动，从而使保护膜与晶圆产生间隙，然后打开第三气缸21，第三活塞22则带动第四气缸23整体向下运动，当切割刀25运动至指定位置后，关闭第三气缸21，然后打开第四气缸23，第四活塞24则带动切割刀25向左运动，切割刀25则对保护膜进行切开，之后反向打开第四气缸23，使第四活塞24带动切割刀25向右运动至初始位置，然后反向打开第三气缸21，第三活塞22则带动第四气缸23整体向上运动至初始位置，之后打开第二气缸15，第二活塞16则带动移动杆17向左运动，第二吸盘18则带动晶圆上侧保护膜向左运动，然后打开电机10，减速器11则带动转轴12转动，转轴12则带动转动架13整体转动，第二吸盘18则将晶圆上侧的保护膜在晶圆上脱离下来，之后打开第五气缸27，第五活塞28则推动晶圆滑动至右侧输送带装置26上进行输送即可。
29.本实用新型的一种多工位高效的晶圆撕膜机，其安装方式、连接方式或设置方式均为常见机械方式，只要能够达成其有益效果的均可进行实施；本实用新型的一种多工位高效的晶圆撕膜机的压力装置4、电机10、第二气缸15、第三气缸21、第四气缸23、输送带装置26和第五气缸27为市面上采购，本行业内技术人员只需按照其附带的使用说明书进行安装和操作即可。
30.以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。