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一种碳化硅硅舟烘炉的温控系统的制作方法

2022-03-16 20:21:11 来源:中国专利 TAG:


1.本实用新型涉及温控系统技术领域,具体为一种碳化硅硅舟烘炉的温控系统。


背景技术:

2.原扩散炉为中点一点报警,并且使用两根两孔热电偶套管独立分开作为控温和报警,在使用中发现由于两根热电偶分开会有一定温差,同时炉口和炉尾两点没有报警装置,使共在超温时并不能及时达到报警的效果,这种状态下,温度波动较大降低了炉体的实用寿命,因此需要一种温控系统以解决此问题。


技术实现要素:

3.本实用新型的目的在于提供一种碳化硅硅舟烘炉的温控系统以解决不能及时报警效果的目的。
4.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种碳化硅硅舟烘炉的温控系统,包括烘炉本体、温控结构、底座和密封门,所述底座顶部固定安装有烘炉本体,所述烘炉本体内部的左侧、中部和右侧固定安装有温控结构,所述烘炉本体内部设置有第一加热器,所述烘炉本体内部靠近第一加热器的底部设置有第二加热器,所述烘炉本体内部的底部设置有保温结构,所述烘炉本体外部的左侧设置有第一控温表,所述烘炉本体外部靠近第一控温表的一侧设置有第一报警表。
5.优选的,所述烘炉本体外部的中心位置设置有第二控温表,所述烘炉本体外部靠近第二控温表的一侧设置有第二报警表,第二报警表起到了报警的目的。
6.优选的,所述烘炉本体外部靠近右侧设置有第三控温表,所述烘炉本体外部靠近第三控温表的一侧设置有第三报警表,所述烘炉本体外部设置有密封门,所述密封门外部固定安装有控制器,第三报警表起到了报警的目的。
7.优选的,所述温控结构的内部依次设置有第一连接螺栓、固定架、热电偶套管本体、第一连接件、第二连接件、第三连接件、第二连接螺栓、固定杆、安装孔、卡块、热电偶套管探头、固定件和固定板,所述固定架固定在烘炉本体内部的顶部,所述固定架的一端连接有第一连接螺栓,所述第一连接螺栓上活动设置有固定杆,温控结构起到了检测温度的目的。
8.优选的,所述固定杆的一端连接有第二连接螺栓,所述第二连接螺栓上连接有第三连接件,所述第三连接件的一侧活动设置有第二连接件,第二连接螺栓起到了连接的目的。
9.优选的,所述第二连接件的一侧设置有第一连接件,所述第一连接件的一端连接有固定件,固定件上活动设置有卡块,且所述卡块在固定件之间设置有四个,所述固定件上设置有固定板,所述固定板上设置有热电偶套管探头,所述固定板的四周设置有安装孔,所述卡块卡在安装孔中,所述固定件的底部连接有热电偶套管本体,热电偶套管本体延伸到烘炉本体的内部并分别与第一控温表、第一报警表、第二控温表、第二报警表、第三报警表
和第三控温表相互连接,热电偶套管探头起到了检测温度的目的。
10.与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该一种碳化硅硅舟烘炉的温控系统结构合理,具有以下优点:
11.(1)通过在烘炉本体中的炉口、炉中和炉尾设置有温控结构,且在炉体设置有第一控温表、第一报警表、第二控温表、第二报警表、第三报警表和第三控温表,通过扩散炉三点任意一点超温等异常情况时,能迅速相应断开电源,并且由于使用时采用四孔的热电偶套管本体,分别连接控温和报警,热电偶在同一位置无温差,若其中一根热电偶断路,可用另一根暂时代替,保证了产品扩散过程中的连续性,提高了产品的稳定性。
12.(2)通过设置有第一连接螺栓、固定架、第一连接件、第二连接件、第三连接件和固定杆实现了可以根据需要调节到合适的位置,使装置检测温度更加准确,因此,使用时,工作人员可以转动第一连接螺栓,从而使固定杆绕着第一连接螺栓主动,通过转动第三连接件,第三连接件可以绕着第二连接螺栓转动,通过第二连接件可以绕着第三连接件转动,同时 第一连接件可以绕着第二连接件转动,从而可以调节到合适的位置,从而对温度进行检测,从而使检测更加准确。
13.(3)通过设置有安装孔、卡块、热电偶套管探头、固定件和固定板是暗恋可以方便更换热电偶套管探头的目的,现有的装置当热电偶套管探头损坏时不容易更换,因此,使用时,通过旋转卡块,卡块与安装孔相互重合时,固定板可以从固定件拿下,从而可以更换热电偶套管探头,实用性强。
附图说明
14.图1为本实用新型的正视内部结构示意图。
15.图2为本实用新型的正视外部结构示意图。
16.图3为本实用新型的图1中a处放大结构示意图。
17.图4为本实用新型的图1中b处放大结构示意图。
18.图中:1、烘炉本体;2、温控结构;201、第一连接螺栓;202、固定架;203、热电偶套管本体;204、第一连接件;205、第二连接件;206、第三连接件;207、第二连接螺栓;208、固定杆;209、安装孔;210、卡块;211、热电偶套管探头;212、固定件;213、固定板;3、第一加热器;4、第二加热器;5、第一控温表;6、第一报警表;7、保温结构;8、底座;9、第二控温表;10、第二报警表;11、第三报警表;12、第三控温表;13、密封门;14、控制器。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
20.请参阅图1-4,本实用新型提供的一种实施例:一种碳化硅硅舟烘炉的温控系统,包括烘炉本体1、温控结构2、底座8和密封门13,底座8顶部固定安装有烘炉本体1,烘炉本体1内部的左侧、中部和右侧固定安装有温控结构2,温控结构2起到了检测温度的目的,温控结构2的内部依次设置有第一连接螺栓201、固定架202、热电偶套管本体203、第一连接件204、第二连接件205、第三连接件206、第二连接螺栓207、固定杆208、安装孔209、卡块210、
热电偶套管探头211、固定件212和固定板213,固定架202固定在烘炉本体1内部的顶部,固定架202的一端活动连接有第一连接螺栓201,第一连接螺栓201上活动设置有固定杆208,第一连接螺栓201和固定杆208起到了可以方便旋转的目的,固定杆208的一端活动连接有第二连接螺栓207,第二连接螺栓207上活动连接有第三连接件206,第三连接件206起到了连接的目的,第三连接件206的一侧通过轴活动设置有第二连接件205,第二连接件205起到了连接的目的,第二连接件205的一侧通过轴设置有第一连接件204,第一连接件204的一端连接有固定件212,固定件212起到了固定的目的。
21.使用时,工作人员可以转动第一连接螺栓201,从而使固定杆208绕着第一连接螺栓201主动,通过转动第三连接件206,第三连接件206可以绕着第二连接螺栓207转动,通过第二连接件205可以绕着第三连接件206转动,同时 第一连接件204可以绕着第二连接件205转动,从而可以调节到合适的位置,从而对温度进行检测,从而使检测更加准确。
22.固定件212上活动设置有卡块210,卡块210起到了固定固定板213的目的,且卡块210在固定件212之间设置有四个,固定件212上设置有固定板213,固定板213上设置有热电偶套管探头211,固定板213的四周设置有安装孔209,卡块210卡在安装孔209中,固定件212的底部连接有热电偶套管本体203,热电偶套管本体203延伸到烘炉本体1的内部并分别与第一控温表5、第一报警表6、第二控温表9、第二报警表10、第三报警表11和第三控温表12相互连接。
23.使用时,通过旋转卡块210,卡块210与安装孔209相互重合时,固定板213可以从固定件212拿下,从而可以更换热电偶套管探头211,实用性强。
24.烘炉本体1内部设置有第一加热器3,烘炉本体1内部靠近第一加热器3的底部设置有第二加热器4,烘炉本体1内部的底部设置有保温结构7。
25.烘炉本体1外部的左侧设置有第一控温表5,烘炉本体1外部靠近第一控温表5的一侧设置有第一报警表6,烘炉本体1外部的中心位置设置有第二控温表9,烘炉本体1外部靠近第二控温表9的一侧设置有第二报警表10,烘炉本体1外部靠近右侧设置有第三控温表12,烘炉本体1外部靠近第三控温表12的一侧设置有第三报警表11,烘炉本体1外部设置有密封门13,密封门13外部固定安装有控制器14。
26.通过在烘炉本体1中的炉口、炉中和炉尾设置有温控结构2,且在炉体设置有第一控温表5、第一报警表6、第二控温表9、第二报警表10、第三报警表11和第三控温表12,通过扩散炉三点任意一点超温等异常情况时,能迅速相应断开电源,并且由于使用时采用四孔的热电偶套管本体203,分别连接控温和报警,热电偶在同一位置无温差,若其中一根热电偶断路,可用另一根暂时代替,保证了产品扩散过程中的连续性,提高了产品的稳定性。
27.本技术实施例在使用时,在烘炉本体1中的炉口、炉中和炉尾设置有温控结构2,且在炉体设置有第一控温表5、第一报警表6、第二控温表9、第二报警表10、第三报警表11和第三控温表12,通过扩散炉三点任意一点超温等异常情况时,能迅速相应断开电源,并且由于使用时采用四孔的热电偶套管本体203,分别连接控温和报警,热电偶在同一位置无温差,若其中一根热电偶断路,可用另一根暂时代替,保证了产品扩散过程中的连续性,提高了产品的稳定性,在安装时,工作人员可以转动第一连接螺栓201,从而使固定杆208绕着第一连接螺栓201主动,通过转动第三连接件206,第三连接件206可以绕着第二连接螺栓207转动,通过第二连接件205可以绕着第三连接件206转动,同时 第一连接件204可以绕着第二连接
件205转动,从而可以调节到合适的位置,当热电偶套管探头211损坏时,通过旋转卡块210,卡块210与安装孔209相互重合时,固定板213可以从固定件212拿下,从而可以更换热电偶套管探头211,实用性强。
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