一种碳化硅硅舟烘炉的温控系统的制作方法

技术特征：
1.一种碳化硅硅舟烘炉的温控系统，其特征在于：包括烘炉本体（1）、温控结构（2）、底座（8）和密封门（13），所述底座（8）顶部固定安装有烘炉本体（1），所述烘炉本体（1）内部的左侧、中部和右侧固定安装有温控结构（2），所述烘炉本体（1）内部设置有第一加热器（3），所述烘炉本体（1）内部靠近第一加热器（3）的底部设置有第二加热器（4），所述烘炉本体（1）内部的底部设置有保温结构（7），所述烘炉本体（1）外部的左侧设置有第一控温表（5），所述烘炉本体（1）外部靠近第一控温表（5）的一侧设置有第一报警表（6）。2.根据权利要求1所述的一种碳化硅硅舟烘炉的温控系统，其特征在于：所述烘炉本体（1）外部的中心位置设置有第二控温表（9），所述烘炉本体（1）外部靠近第二控温表（9）的一侧设置有第二报警表（10）。3.根据权利要求1所述的一种碳化硅硅舟烘炉的温控系统，其特征在于：所述烘炉本体（1）外部靠近右侧设置有第三控温表（12），所述烘炉本体（1）外部靠近第三控温表（12）的一侧设置有第三报警表（11），所述烘炉本体（1）外部设置有密封门（13），所述密封门（13）外部固定安装有控制器（14）。4.根据权利要求1所述的一种碳化硅硅舟烘炉的温控系统，其特征在于：所述温控结构（2）的内部依次设置有第一连接螺栓（201）、固定架（202）、热电偶套管本体（203）、第一连接件（204）、第二连接件（205）、第三连接件（206）、第二连接螺栓（207）、固定杆（208）、安装孔（209）、卡块（210）、热电偶套管探头（211）、固定件（212）和固定板（213），所述固定架（202）固定在烘炉本体（1）内部的顶部，所述固定架（202）的一端连接有第一连接螺栓（201），所述第一连接螺栓（201）上活动设置有固定杆（208）。5.根据权利要求4所述的一种碳化硅硅舟烘炉的温控系统，其特征在于：所述固定杆（208）的一端连接有第二连接螺栓（207），所述第二连接螺栓（207）上连接有第三连接件（206），所述第三连接件（206）的一侧活动设置有第二连接件（205）。6.根据权利要求4所述的一种碳化硅硅舟烘炉的温控系统，其特征在于：所述第二连接件（205）的一侧设置有第一连接件（204），所述第一连接件（204）的一端连接有固定件（212），固定件（212）上活动设置有卡块（210），且所述卡块（210）在固定件（212）之间设置有四个，所述固定件（212）上设置有固定板（213），所述固定板（213）上设置有热电偶套管探头（211），所述固定板（213）的四周设置有安装孔（209），所述卡块（210）卡在安装孔（209）中，所述固定件（212）的底部连接有热电偶套管本体（203），热电偶套管本体（203）延伸到烘炉本体（1）的内部并分别与第一控温表（5）、第一报警表（6）、第二控温表（9）、第二报警表（10）、第三报警表（11）和第三控温表（12）相互连接。

技术总结
本实用新型公开了一种碳化硅硅舟烘炉的温控系统，包括烘炉本体、温控结构、底座和密封门，底座顶部固定安装有烘炉本体，烘炉本体内部的左侧、中部和右侧固定安装有温控结构，烘炉本体内部设置有第一加热器，本实用新型通过在烘炉本体中的炉口、炉中和炉尾设置有温控结构，且在炉体设置有第一控温表、第一报警表、第二控温表、第二报警表、第三报警表和第三控温表，通过扩散炉三点任意一点超温等异常情况时，能迅速相应断开电源，并且由于使用时采用四孔的热电偶套管本体，分别连接控温和报警，热电偶在同一位置无温差，若其中一根热电偶断路，可用另一根暂时代替，保证了产品扩散过程中的连续性，提高了产品的稳定性。提高了产品的稳定性。提高了产品的稳定性。


技术研发人员：戴建军
受保护的技术使用者：江苏皋鑫电子有限公司
技术研发日：2021.08.17
技术公布日：2022/3/15