显示装置和制造该显示装置的方法与流程

技术特征：
1.一种显示装置，包括：挡光图案，在基板上；第一有源图案，在所述挡光图案上；第二有源图案，在与所述第一有源图案的层相同的层处；第一绝缘图案，在所述第一有源图案上；第二绝缘图案，在所述第一有源图案上，所述第二绝缘图案与所述第一绝缘图案间隔开，并且具有暴露所述第一有源图案的第一接触孔；第一栅电极，在所述第一绝缘图案上；第二栅电极，在与所述第一栅电极的层相同的层处，并且与所述第二有源图案重叠；第一刻蚀停止件，在所述第二绝缘图案上，并且具有连接到所述第一接触孔的第二接触孔；第一电极，在所述第一刻蚀停止件上，所述第一电极接触所述挡光图案，并且通过所述第一接触孔和所述第二接触孔接触所述第一有源图案；第一晶体管，包括所述第一有源图案和所述第一栅电极；以及第二晶体管，被配置为响应于栅信号将数据电压提供到所述第一晶体管，并且包括所述第二有源图案和所述第二栅电极。2.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述第一刻蚀停止件在与所述第一栅电极的层相同的层处。3.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述第二绝缘图案在与所述第一绝缘图案的层相同的层处。4.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述第一刻蚀停止件接触所述第二绝缘图案。5.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述第二绝缘图案接触所述第一有源图案。6.根据权利要求1所述的显示装置，进一步包括：第三绝缘图案，在所述第一有源图案上，所述第三绝缘图案与所述第一绝缘图案和所述第二绝缘图案间隔开，并且具有暴露所述第一有源图案的第三接触孔；第二刻蚀停止件，在所述第三绝缘图案上，并且具有连接到所述第三接触孔的第四接触孔；以及第一连接图案，在所述第二刻蚀停止件上，并且通过所述第三接触孔和所述第四接触孔接触所述第一有源图案。7.根据权利要求6所述的显示装置，其中，所述第三绝缘图案在与所述第一绝缘图案和所述第二绝缘图案的层相同的层处，并且其中所述第二刻蚀停止件在与所述第一刻蚀停止件的层相同的层处。8.根据权利要求6所述的显示装置，其中，所述第一连接图案在与所述第一电极的层相同的层处。9.根据权利要求6所述的显示装置，其中，所述第一连接图案被配置为将第一电力电压提供到所述第一有源图案。10.根据权利要求1所述的显示装置，进一步包括：第四绝缘图案，在所述第二有源图案与所述第二栅电极之间；
第五绝缘图案，在所述第二有源图案上，所述第五绝缘图案与所述第四绝缘图案间隔开，并且具有暴露所述第二有源图案的第五接触孔；第三刻蚀停止件，在所述第五绝缘图案上，并且具有连接到所述第五接触孔的第六接触孔；以及第二连接图案，在所述第三刻蚀停止件上，并且通过所述第五接触孔和所述第六接触孔接触所述第二有源图案。11.根据权利要求10所述的显示装置，其中，所述第四绝缘图案和所述第五绝缘图案在与所述第一绝缘图案和所述第二绝缘图案的层相同的层处，并且其中所述第三刻蚀停止件在与所述第一刻蚀停止件的层相同的层处。12.根据权利要求10所述的显示装置，其中，所述第二连接图案在与所述第一电极的层相同的层处。13.根据权利要求10所述的显示装置，其中，所述第二连接图案进一步接触所述第一栅电极。14.根据权利要求10所述的显示装置，进一步包括：第六绝缘图案，在所述第二有源图案上，所述第六绝缘图案与所述第四绝缘图案和所述第五绝缘图案间隔开，并且具有暴露所述第二有源图案的第七接触孔；第四刻蚀停止件，在所述第六绝缘图案上，并且具有连接到所述第七接触孔的第八接触孔；以及第三连接图案，在所述第四刻蚀停止件上，并且通过所述第七接触孔和所述第八接触孔接触所述第二有源图案。15.根据权利要求14所述的显示装置，进一步包括：数据线，在所述第二有源图案下方的层处，并且接触所述第三连接图案。16.根据权利要求15所述的显示装置，其中，所述数据线、所述第三连接图案、所述第二有源图案、所述第二连接图案和所述第一栅电极彼此电连接。17.根据权利要求1至16中任一项所述的显示装置，其中，所述第二绝缘图案包括无机材料，并且其中所述第一刻蚀停止件包括金属。18.根据权利要求1至16中任一项所述的显示装置，其中，所述第一有源图案包括氧化物半导体。19.根据权利要求1至16中任一项所述的显示装置，进一步包括：发射层，在所述第一电极上；以及第二电极，在所述发射层上。20.一种制造显示装置的方法，包括：在基板上形成挡光图案；在所述挡光图案上形成有源图案；在所述基板上形成覆盖所述有源图案的初始栅绝缘层；在所述初始栅绝缘层上形成初始栅金属层；图案化所述初始栅金属层，以并发地形成栅电极和刻蚀停止件；图案化所述初始栅绝缘层，以并发地形成第一绝缘图案和第二绝缘图案；
在所述基板上形成覆盖所述栅电极和所述刻蚀停止件的绝缘层；形成贯穿所述绝缘层并暴露所述刻蚀停止件的第一接触孔；形成贯穿所述刻蚀停止件并连接到所述第一接触孔的第二接触孔；并发地形成第三接触孔和第四接触孔，所述第三接触孔暴露所述有源图案并连接到所述第二接触孔，并且所述第四接触孔暴露所述栅电极；并且在所述绝缘层上形成第一电极，所述第一电极通过所述第一接触孔、所述第二接触孔和所述第三接触孔接触所述有源图案。21.根据权利要求20所述的方法，进一步包括：在形成所述第一接触孔时，形成与所述挡光图案重叠的第五接触孔，并且其中所述第五接触孔不暴露所述挡光图案。22.根据权利要求21所述的方法，进一步包括：在形成所述第三接触孔和所述第四接触孔时，形成连接到所述第五接触孔的第六接触孔，并且其中所述第六接触孔暴露所述挡光图案。23.根据权利要求22所述的方法，其中，所述第一电极进一步通过所述第五接触孔和所述第六接触孔接触所述挡光图案。24.根据权利要求20所述的方法，其中，在所述第二接触孔被形成时，所述绝缘层覆盖所述栅电极。25.根据权利要求20所述的方法，其中，所述第一绝缘图案与所述栅电极重叠，并且其中所述第二绝缘图案与所述刻蚀停止件重叠。26.根据权利要求20至25中任一项所述的方法，其中，所述第二绝缘图案包括绝缘材料，并且其中所述刻蚀停止件包括金属。27.根据权利要求20至25中任一项所述的方法，进一步包括：在所述第一电极上形成发射层；并且在所述第一电极被形成之后，在所述发射层上形成第二电极。

技术总结
本发明涉及显示装置和制造该显示装置的方法。该显示装置包括：在挡光图案上的第一有源图案；在与第一有源图案的层相同的层处的第二有源图案；在第一有源图案上的第一绝缘图案；在第一有源图案上的第二绝缘图案，第二绝缘图案与第一绝缘图案间隔开，并且具有暴露第一有源图案的第一接触孔；在第一绝缘图案上的第一栅电极；在与第一栅电极的层相同的层处并且与第二有源图案重叠的第二栅电极；在第二绝缘图案上并且具有连接到第一接触孔的第二接触孔的第一刻蚀停止件；以及在第一刻蚀停止件上的第一电极，第一电极通过第一接触孔和第二接触孔接触挡光图案和第一有源图案。接触孔接触挡光图案和第一有源图案。接触孔接触挡光图案和第一有源图案。


技术研发人员：百永锡 朴商镇 张宗燮 许义康
受保护的技术使用者：三星显示有限公司
技术研发日：2021.09.13
技术公布日：2022/3/15