一种便于操作使用的晶圆测试用加热装置及其使用方法与流程

1.本发明涉及一种加热装置，特别是涉及一种便于操作使用的晶圆测试用加热装置及其使用方法，属于晶圆生产技术领域。


背景技术：

2.晶圆是硅元素经过特殊的处理过程制成的，晶圆的制作过程中，首先将硅元素加以纯化，再将这些纯硅制成硅晶棒，经切割后形成一片片薄薄的晶圆，在经过一些处理就可以变成一些电子产品所用的零件，比如内存、微处理器等，而晶圆的面积越大，所需要的技术越好，而且制成的晶圆需要进行晶圆测试，不合格的晶圆会被淘汰。
3.在晶圆测试前，必须对晶圆加热，传统的方式是将空气加热后变成热空气吹到晶圆上，以期提高晶圆的温度，达到加热的效果。但这种方式会造成热量的损失，操作不方便，且不能很清楚的了解热空气的温度，对着晶圆吹热空气也很难让晶圆受热均匀，会影响最终的测量结果。本发明针对以上问题提出了一种新的解决方案。


技术实现要素：

4.本发明的主要目的是为了解决现有技术的不足，而提供一种便于操作使用的晶圆测试用加热装置及其使用方法。
5.为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：
6.设计一种便于操作使用的晶圆测试用加热装置，包括，加热箱组件；保温壳体，所述保温壳体设置于所述加热箱组件的上表面；安装箱门，所述安装箱门设置于所述保温壳体的一侧；挤压组件，所述挤压组件设置于所述保温壳体的内部，所述挤压组件包括多个压紧件、以及使多个所述压紧件产生位移的驱动件；循环加热组件，所述循环加热组件设置于多个所述压紧件和加热箱组件之间；放置组件，所述放置组件与所述压紧件的数量相同，所述放置组件均设置于所述加热箱组件和保温壳体之间；触控显示组件，所述触控显示组件设置于所述保温壳体的一侧。
7.优选的，所述加热箱组件包括保温箱体、设置于所述温箱体一侧的温度传感器、设置于所述温箱体内部的加热棒、以及箱盖。
8.优选的，所述压紧件包括挤压座，所述挤压座设置于保温壳体的内部，所述挤压座的两侧均固定设有多个固定块，所述固定块均固定设有t形柱，多个所述t形柱套接设有两个移动板，所述固定块与移动板之间均固定设有弹簧，且弹簧分别与t形柱相套接。
9.优选的，所述驱动件包括双轴电机，所述双轴电机设置于保温壳体的上表面，所述双轴电机的输出轴均固定设有传动轴，所述传动轴均固定设有蜗杆，所述蜗杆的一侧均齿接设有蜗轮，所述蜗轮均固定设有螺纹丝杆，所述螺纹丝杆的一端均贯穿保温壳体与保温壳体转动连接并分别与移动板螺纹连接。
10.优选的，所述循环加热组件包括泵体，所述泵体与保温壳体固定连接，所述泵体的一侧固定设有进液管，且进液管的一端与加热箱组件固定连接，所述泵体固定设有出液管，
所述出液管的一侧固定设有多个连接管一，所述连接管一均固定设有电磁阀，所述连接管一的一端均贯穿保温壳体并固定设有柔性连接管一，所述柔性连接管一的一端分别贯穿挤压座并固定设有导热弯管，所述导热弯管的一侧均固定设有柔性连接管二，所述柔性连接管二的一端均依次贯穿挤压座和保温壳体并固定设有连接管二，多个所述连接管二的一端固定设有排液管，且排液管的一端与加热箱组件固定连接，所述挤压座的内壁均固定设有导热座，所述导热座均设有与导热弯管相对应的凹槽，所述导热座的下表面均固定设有柔性导热层。
11.优选的，所述柔性导热层采用在导热硅胶表面包覆薄膜制成。
12.优选的，所述放置组件包括放置台、连接件和导向构件，所述导向构件设置于所述保温壳体的内部。
13.优选的，所述连接件包括插接板，所述插接板与安装箱门插接，所述插接板的一侧固定设有插接座，所述插接座插接设有连接座，所述连接座的上表面插接设有多个插接销，所述插接座设有多个与插接销相对应的插接孔。
14.一种便于操作使用的晶圆测试用加热装置使用方法，具体步骤，包括：
15.s1、向加热箱组件中注入适量的水分，根据待加热的晶圆的尺寸选取合适的放置组件，并将晶圆放置于放置组件上的凹槽中，将放置组件插入安装箱门；
16.s2、根据需要在触控显示组件上输入相关数据，触控显示组件控制挤压组件开始工作，使其能够与放置组件相贴合，同时加热箱组件将其内部的水分加热到一定程度；
17.s3、循环加热组件开始工作将对挤压组件中的导热座和柔性导热层进行加热，在挤压组件的作用下柔性导热层与晶圆相贴合，对其进行加热；
18.s4、加热完成后，触控显示组件控制挤压组件复位，工作人员将放置组件拉出，将晶圆取出。
19.与现有技术相比，本发明的有益效果在于：在保温箱体、保温壳体和安装箱门之间的配合下，可以有效的避免热量的散失，提高了资源的利用率；在挤压组件的作用下，可以使其与放置组件相贴合，进一步降低热量的散失，提高加热效果；在循环加热组件的作用下，采用以水为介质对晶圆进行加热，便于工作人员控制温度，避免出现加热温度不够或是远超的现象，影响后续的测试结果同时在柔性导热层的作用下，可以使其与晶圆相贴合，可以均匀的对晶圆进行加热；采用放置组件，可以根据晶圆的尺寸选取不同的放置板，提高了本发明的适用性，而且安装便捷，操作方便。
20.该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现。
附图说明
21.附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：
22.图1为按照本发明提出的便于操作使用的晶圆测试用加热装置的一优选实施例的主视图；
23.图2为按照本发明提出的便于操作使用的晶圆测试用加热装置的一优选实施例的正剖视图；
24.图3为按照本发明提出的便于操作使用的晶圆测试用加热装置的一优选实施例的
侧剖视图；
25.图4为按照本发明提出的便于操作使用的晶圆测试用加热装置的一优选实施例的挤压组件主视图；
26.图5为按照本发明提出的便于操作使用的晶圆测试用加热装置的一优选实施例的循环加热组件主视图；
27.图6为按照本发明提出的便于操作使用的晶圆测试用加热装置的一优选实施例的放置组件拆分图。
28.图中：1.加热箱组件、11.保温箱体、12.温度传感器、13.加热棒、14.箱盖、2.保温壳体、3.安装箱门、4.挤压组件、41.压紧件、 42.驱动件、5.循环加热组件、6.放置组件、61.放置台、62.连接件、 63.导向构件、7.触控显示组件、4101.挤压座、4102.固定块、4103.t 形柱、4104.移动板、4105.弹簧、4201.双轴电机、4202.传动轴、4203. 蜗杆、4204.蜗轮、4205.螺纹丝杆、501.泵体、502.进液管、503. 出液管、504.连接管一、505.电磁阀、506.柔性连接管一、507.导热弯管、508.柔性连接管二、509.连接管二、510.排液管、511.导热座、 512.凹槽、513.柔性导热层、6101.放置板、6102.凹槽、6201.插接板、6202.插接座、6203.连接座、6204.插接销、6205.插接孔。
具体实施方式
29.为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
30.需要说明的是，当部件被称为“装设于”、“固定于”或“设置于”另一个部件上，它可以直接在另一个部件上或者可能同时存在居中部件。当一个部件被称为是“连接于”另一个部件，它可以是直接连接到另一个部件或者可能同时存在居中部件。
31.还需要说明的是，本发明实施例中的左、右、上、下等方位用语，仅是互为相对概念或是以产品的正常使用状态为参考的，而不应该认为是具有限制性的。
32.如图1－图6所示，本实施例提供的便于操作使用的晶圆测试用加热装置，包括，加热箱组件1；保温壳体2，保温壳体2设置于加热箱组件1的上表面；安装箱门3，安装箱门3设置于保温壳体2的一侧；挤压组件4，挤压组件4设置于保温壳体2的内部，挤压组件 4包括多个压紧件41、以及使多个压紧件41产生位移的驱动件42；循环加热组件5，循环加热组件5设置于多个压紧件41和加热箱组件1之间；放置组件6，放置组件6与压紧件41的数量相同，放置组件6均设置于加热箱组件1和保温壳体2之间；触控显示组件7，触控显示组件7设置于保温壳体2的一侧。
33.在本实施例中，如图1-3所示，加热箱组件1包括保温箱体11、设置于温箱体11一侧的温度传感器12、设置于温箱体11内部的加热棒13、以及箱盖14。
34.在保温箱体11、保温壳体2和安装箱门3之间的配合下，可以有效的避免热量的散失，在挤压组件4的作用下，可以使其与放置组件6相贴合，进一步降低热量的散失，在循环加热组件5的作用下，采用以水为介质对晶圆进行加热，便于工作人员控制温度，可以与晶圆相贴合，均匀的对晶圆进行加热，采用放置组件6，可以根据晶圆的尺寸选取不同的放置板6101，安装便捷，操作方便。
35.在本实施例中，如图4所示，压紧件41包括挤压座4101，挤压座4101设置于保温壳体2的内部，挤压座4101的两侧均固定设有多个固定块4102，固定块4102均固定设有t形柱4103，多个t形柱 4103套接设有两个移动板4104，固定块4102与移动板4104之间均固定设有弹簧4105，且弹簧4105分别与t形柱4103相套接。
36.进一步的，驱动件42包括双轴电机4201，双轴电机4201设置于保温壳体2的上表面，双轴电机4201的输出轴均固定设有传动轴 4202，传动轴4202均固定设有蜗杆4203，蜗杆4203的一侧均齿接设有蜗轮4204，蜗轮4204均固定设有螺纹丝杆4205，螺纹丝杆4205 的一端均贯穿保温壳体2与保温壳体2转动连接并分别与移动板4104 螺纹连接。
37.当工作人员将放置晶圆的放置组件6插入到安装箱门3上后，在触控显示组件7上输入相关的数据，触控显示组件7控制双轴电机 4201开始工作使传动轴4202开始旋转，在蜗杆4203和蜗轮4204的传动下使螺纹丝杆4205开始旋转，在螺纹的作用下，多个移动板4104 开始移动，在弹簧4105的推动下使挤压座4101开始移动，直至挤压座4101与放置组件6相贴合，且弹簧4105被压缩到一定程度，挤压座4101和放置组件6贴合后，可以在对晶圆进行加热的过程中防止出现热量流失的现象，同时也提高了加热效果。
38.在本实施例中，如图5所示，循环加热组件5包括泵体501，泵体501与保温壳体2固定连接，泵体501的一侧固定设有进液管502，且进液管502的一端与加热箱组件1固定连接，泵体501固定设有出液管503，出液管503的一侧固定设有多个连接管一504，连接管一 504均固定设有电磁阀505，连接管一504的一端均贯穿保温壳体2 并固定设有柔性连接管一506，柔性连接管一506的一端分别贯穿挤压座4101并固定设有导热弯管507，导热弯管507的一侧均固定设有柔性连接管二508，柔性连接管二508的一端均依次贯穿挤压座 4101和保温壳体2并固定设有连接管二509，多个连接管二509的一端固定设有排液管510，且排液管510的一端与加热箱组件1固定连接，挤压座4101的内壁均固定设有导热座511，导热座511均设有与导热弯管507相对应的凹槽512，导热座511的下表面均固定设有柔性导热层513。
39.进一步的，柔性导热层513采用在导热硅胶表面包覆薄膜制成。
40.当需要对晶圆进行加热时，工作人员在触控显示组件7上输入相关的数据，在温度传感器12和加热棒13的配合下将加热箱组件1中的水分加热到预设值，泵体501开始工作将热水依次通过进液管502、出液管503、连接管一504和柔性连接管一506注入到导热弯管507 中，然后依次通过柔性连接管二508、连接管二509和排液管510再次注入到保温箱体11中，当保温箱体11中水分的温度降低时，加热棒13再次开始工作，使加热棒13中的水分一直维持在预设值的范围内，水分的热量通过导热弯管507和导热座511传递到柔性导热层 513上，柔性导热层513在挤压组件4的作用下与晶圆相贴合，柔性导热层513对晶圆进行均匀加热。
41.在本实施例中，如图6所示，放置组件6包括放置台61、连接件62和导向构件63，导向构件63设置于保温壳体2的内部。
42.进一步的，连接件62包括插接板6201，插接板6201与安装箱门3插接，插接板6201的一侧固定设有插接座6202，插接座6202 插接设有连接座6203，连接座6203的上表面插接设有多个插接销 6204，插接座6202设有多个与插接销6204相对应的插接孔6205。
43.当工作人员需要对不同尺寸的晶圆进行加热时，选取具有尺寸合适凹槽6102的放
置板6101，然后将放置板6101上的连接座6203插入到插接座6202上，然后向插接孔6205中均插入插接销6204，完成对放置板6101的固定，当放置板6101插入到保温壳体2内时，导向构件63提供导向和支撑的作用。
44.一种便于操作使用的晶圆测试用加热装置使用方法，具体步骤，包括：
45.s1、向加热箱组件1中注入适量的水分，根据待加热的晶圆的尺寸选取合适的放置组件6，并将晶圆放置于放置组件6上的凹槽中，将放置组件6插入安装箱门3；
46.s2、根据需要在触控显示组件7上输入相关数据，触控显示组件 7控制挤压组件4开始工作，使其能够与放置组件6相贴合，同时加热箱组件1将其内部的水分加热到一定程度；
47.s3、循环加热组件5开始工作将对挤压组件4中的导热座511和柔性导热层513进行加热，在挤压组件4的作用下柔性导热层513与晶圆相贴合，对其进行加热；
48.s4、加热完成后，触控显示组件7控制挤压组件4复位，工作人员将放置组件6拉出，将晶圆取出。
49.最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包括在本发明的保护范围之内。