一种光刻胶的润湿性的检测方法与流程

技术特征：
1.一种光刻胶的润湿性的检测方法，其特征在于，主要包括以下步骤：s1、测试液态光刻胶的基于铂金板（wilhelmy plate）阿莎算法（adsa）上层纳米层的表面张力；s2、测试液态光刻胶的基于铂金板（wilhelmy plate）阿莎算法或气泡法的动态表面张力；s3、测试液态光刻胶的基于光学阿莎算法（adsa-realdrop）的下层纳米层的表面张力；s4、测试液态光刻胶与硅片（固体材料）的基于光学阿莎算法（adsa-realdrop）的3d接触角值，记录修正重力系数后的左、右接触角值及其偏差值；s5、测试固态光刻胶膜与水的基于光学阿莎算法（adsa-realdrop）的3d接触角值以及后退角值，记录修正重力系数后的左、右接触角值及其偏差值；s6、数据分析。2.根据权利要求1所述的一种光刻胶的润湿性的检测方法，其特征在于，在s1中，测试3-4次数据，静态表面张力值取平均值以及偏差范围作为考察对象。3.根据权利要求1所述的一种光刻胶的润湿性的检测方法，其特征在于，在s2中，观察cmc值以及包含但不仅限于动态表面张力振荡变化曲线的动态表面张力的变化曲线；在实际测试中，进口先进样品光刻胶的动态表面张力出现快速下降后，振荡上升的变化现象，即动态吸附过程中，表面活性剂出现先吸附到液-气纳米层后，离开液-气纳米层，再吸附到液-固纳米层的情况，与国产替代样品光刻胶非常稳定的吸附曲线区别较大。4.根据权利要求1所述的一种光刻胶的润湿性的检测方法，其特征在于，在s3中，测试3-4次数据，下层表面张力值取平均值以及偏差范围作为考察对象。5.根据权利要求1所述的一种光刻胶的润湿性的检测方法，其特征在于，在s4中，测试3-4个液滴点的接触角值后，记录下来进行分析，分析步骤主要如下；i、判断左、右接触角的偏差值是否超过2度，或各个测点平均接触角是否超过2度；ii、若否，视为有效的测试结果；iii、若是，说明硅片（固体材料）不干净，需要清洗重新测试；iv、重新测试的情况主要有以下两种：a、若是，则重新进行iii；b、若否，则重新测试结束。6.根据权利要求1所述的一种光刻胶的润湿性的检测方法，其特征在于，在s5中，测试3-4个液滴点的接触角值后，记录下来进行分析，分析步骤主要如下；i、判断左、右接触角的偏差值是否超过2度，或各个测点平均接触角是否超过2度；ii、若否，视为有效的测试结果；iii、若是，说明固态光刻胶膜表面不清洁或膜表面不均匀，需要清洗重新测试；iv、重新测试的情况主要有以下两种：a、若是，则重新进行iii；b、若否，则重新测试结束。7.根据权利要求1所述的一种光刻胶的润湿性的检测方法，其特征在于，在s6中，数据分析主要包括以下几个方面：（1）、根据液态光刻胶的下层表面张力和上层表面张力的对比数据，判断新研制光刻胶
的润湿性是否符合要求；（2）、根据液态光刻胶的动态表面张力的变化曲线的对比数据，判断新研制光刻胶的润湿性是否符合要求；（3）、根据液态光刻胶与硅片的接触角值的对比数据，判断新研制光刻胶的润湿性是否符合要求；（4）、根据固态光刻胶膜的静态接触角和后退接触角的对比数据，判断新研制光刻胶的润湿性是否符合要求。

技术总结
本发明公开了一种光刻胶的润湿性的检测方法，属于半导体及晶圆、OLED、液晶屏等高精密加工技术领域。本检测方法通过检测液态光刻胶/硅片和固态光刻胶膜/水两个不同层的接触角的三明治效应，以及液态光刻胶的三明治效应分层表面张力，准确的分辨出了合格的光刻胶（进口）与国内光刻胶的区别，有效的避免了单一光刻胶膜静态接触角及增加、减少液体前进后退角法检测的效力差的问题，极大提升了国内光刻研制过程表征的准确性，在半导体、晶圆、硅片、新材料研究、仿生材料等行业具有非常高的作用，具有极高的推广价值。具有极高的推广价值。具有极高的推广价值。


技术研发人员：施语辰
受保护的技术使用者：上海梭伦信息科技有限公司
技术研发日：2021.11.17
技术公布日：2022/3/3