热处理炉的制作方法

1.本说明书中公开的技术涉及对被处理物实施热处理的热处理炉。


背景技术：

2.在专利文献1所公开的热处理炉中，将作为被处理物的薄膜体从输入口经过处理室而架设至输出口。将薄膜体从输入口向处理室内输入，在处理室内进行输送，并从输出口输出。薄膜体通过配置在处理室内的加热装置而被加热，薄膜体所含有的水分(水以及/或者溶剂)在处理室内被输送的期间被除去。为了将水分从薄膜体中有效地除去，需要将从薄膜体中除去的水分迅速地排出到炉外。因此，在专利文献1的热处理炉中，通过供气装置而将气体供给于处理室内，再通过排气装置而将处理室内的气体排出去。
3.现有技术文献
4.专利文献
5.专利文献1：国际公开2014/163175号
6.在上述的热处理炉中，作为被处理物的薄膜体在处理室内通过由多个导向辊规定的复杂的输送路径，从输入口被架设到输出口。由此就会产生下述的问题，即：处理室内的气体的气流会受到所架设的薄膜体的影响，而阻碍处理室内的气体的排出，由此降低从薄膜体中除去水分的效率的问题。本说明书公开了如下所述的技术，即：通过改善处理室内的气体的排出，能够提高从由多个导向辊规定的输送路径上所输送的薄膜体中除去水分的效率。


技术实现要素：

7.本说明书公开的热处理炉具备：炉体、输送装置、多个导向辊、加热装置、供气装置、以及排气装置。炉体具备：输入口、输出口、以及配置在输入口与输出口之间的处理室。输送装置将从输入口架设到输出口的被处理物从输入口经过处理室而向输出口输送。多个导向辊配置于处理室内，用于对通过输送装置而被输送的被处理物进行引导。加热装置配置在处理室内，用于对通过输送装置而被输送的被处理物进行加热。供气装置用于向处理室内供给气体。排气装置用于排出处理室内的气体。被处理物是从输入口架设到输出口的薄膜体。炉体具备：位于薄膜体的表面侧位置的第一壁、以及位于薄膜体的背面侧位置而与第一壁相对置的第二壁。排气装置具备：设置于第一壁且对处理室内的气体予以排出的1个或多个第一排气口、以及设置于第二壁且对处理室内的气体予以排出的1个或多个第二排气口。
8.在上述的热处理炉中，即便薄膜体(被处理物)在处理室内从输入口架设到输出口，薄膜体的表面侧的气体也能够容易地从设置在第一壁的第一排气口排出去，另外，薄膜体的背面侧的气体也能够容易地从设置在第二壁的第二排气口排出去。因此，从供气装置供给到处理室内的气体能够从第一排气口以及第二排气口顺畅地排出去，还能够提高从薄膜体中除去水分的效率。
附图说明
9.图1是实施例1所涉及的热处理炉的纵向截面图。
10.图2是图1的ii－ii线截面图。
11.图3是实施例1所涉及的加热器的截面图。
12.图4是实施例1所涉及的供气管的截面图。
13.附图标记说明
14.10
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热处理炉
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12
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炉体
15.22
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上部导向辊
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24
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下部导向辊
16.26a、26b
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第一加热器
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28
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第二加热器
17.38
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供气管
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54、60
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排气风扇
18.50a～50g、56a～56f
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排气口
19.52a～52g、58a～58f
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流量调整阀
具体实施方式
20.在本说明书所公开的热处理炉中，可以在多个第一排气口的各排气口连接有第一排气流路，在各个第1排气流路上分别设置有流量调整阀。也可以在多个第二排气口的各排气口连接有第二排气流路，在各个第二排气流路上分别设置有流量调整阀。根据这样的构成，可以调整多个第一排气口各自的排气流量、以及多个第二排气口各自的排气流量，从而可以调整来自处理室的气体的排气状态。
21.在本说明书所公开的热处理炉中，多个导向辊也可以具备：1个或多个第一导向辊，其在将输入口和输出口连结起来的第一方向上空开间隔地被配置在从处理室的中心观察时位于第一壁侧的位置；以及1个或多个第二导向辊，其在第一方向上空开间隔地被配置在从处理室的中心观察时位于第二壁侧的位置。被处理物也可以交替地架设在第一导向辊和第二导向辊上。第一排气口的第一方向的位置可以是邻接的第一导向辊之间的位置。第二排气口的第一方向的位置可以是邻接的第二导向辊之间的位置。根据这样的构成，在第一方向上空开间隔地配置于第一壁侧的第一导向辊之间的位置设置有第一排气口，在第一方向上空开间隔地配置于第二壁侧的第二导向辊之间的位置设置有第二排气口。由此，能够容易从第一排气口排出由薄膜体与第一壁夹着的空间的空气，并能够容易从第二排气口排出由薄膜体与第二壁夹着的空间的空气。
22.在本说明书所公开的热处理炉中，被处理物可以经过由多个导向辊规定的输送路径而从输入口输送到输出口。供气装置可以具备多个供气管，所述多个供气管是在处理室内沿着输送路径配置，朝向被处理物喷出气体。在与薄膜体的表面正交且通过了输入口和输出口的截面上观察时，多个供气管可以具备：配置于由被处理物与第一壁夹着的空间内的第一供气管、以及配置于由被处理物与第二壁夹着的空间内的第二供气管。根据这样的构成，能够将气体分别供给到作为被处理物的薄膜体的表面侧和背面侧，从而能够将所供给的气体从第一排气口以及第二排气口排出去。
23.在本说明书所公开的热处理炉中，被处理物可以经过由多个导向辊规定的输送路径而从输入口输送到输出口。加热装置可以具备多个加热器，上述多个加热器沿着输送路径配置，并放射出红外区域的电磁波来对被处理物进行加热。根据这样的构成，由于被处理
物是通过沿着输送路径配置的多个加热器而被加热的，因此，能够提高被处理物的热处理效率。
24.在本说明书所公开的热处理炉中，薄膜体可以具备：薄膜、以及涂布在薄膜的表面及背面中的至少一方上的糊料。而且，加热装置可以将糊料中包含的水分除去。通过有效地进行气体相对于处理室的供气和排气，能够有效地从糊料中进行水分除去。
25.在本说明书所公开的热处理炉中，输送装置可以进一步具备：输入口辊，其配置于炉体的外侧且配置于输入口的附近，并卷绕有被处理物；以及输出口辊，其配置于炉体的外侧且配置于输出口的附近，并对在处理室内输送来的被处理物进行卷绕。可以通过输入口辊及输出口辊进行旋转而将卷绕于输入口辊的被处理物从输入口辊送出，并在处理室内进行输送。根据这样的构成，能够对卷绕于输入口辊的被处理物连续地实施热处理。
26.在本说明书所公开的热处理炉中，处理室内的气氛可以为露点在0℃以下的不活泼性气体气氛。根据这样的构成，能够抑制气氛气体中包含的水分凝结。
27.【实施例1】
28.以下，对实施例1所涉及的热处理炉10进行说明。本实施例的热处理炉10为将工件w(被处理物的一例)中包含的水分除去的干燥炉(脱水装置)。工件w为在长度方向上连续延伸的片体(薄膜体的一例)，例如，在液晶显示器、有机el、电池等中使用的薄膜属于该工件w。对于这样的薄膜(薄膜体)，有时薄膜本身包含水分，或者，在薄膜被覆有被覆层的情况下，有时该被覆层中包含水分。因此，首先，将薄膜中包含的水分除去，然后，将水分被除去后的薄膜切成所期望的大小，从而制造出最终产品。本实施例的热处理炉10可以用于从上述片体中除去水分。
29.以下，参照附图，对热处理炉10的构成进行说明。如图1、2所示，热处理炉10具备：长方体形状的炉体12、进行工件w相对于炉体12的输入及输出的输送装置20、对工件w进行加热的加热装置26a、26b、28、以及向工件w的表面供给冷却气体的供气装置38等。
30.炉体12具备：下壁13、与下壁13对置的上壁14、一端与下壁13连接且另一端与上壁14连接的侧壁17、18(参照图2)、以及将由上述壁13、14、17、18包围的处理室19a、19b的端部进行封闭的输入侧壁15及输出侧壁16。
31.下壁13为俯视呈矩形的板材，配置于处理室19a、19b的下方。如图1所示，在下壁13，以沿x方向空开大致恒定的间隔的方式设置有多个排气口56a～56f。多个排气口56a～56f分别与排气风扇60连接。当排气风扇60运转时，处理室19a、19b内的气氛气体就会向处理室19a、19b外排出。
32.上壁14为与下壁13相同形状的板材，配置于处理室19a、19b的上方。与下壁13同样地，在上壁14，也以沿x方向空开大致恒定的间隔的方式设置有多个排气口50a～50g。多个排气口50a～50g分别与排气风扇54连接。当排气风扇54运转时，处理室19a、19b内的气氛气体就会向处理室19a、19b外排出。关于由排气口50a～50g、56a～56f、以及排气风扇54、60构成的排气装置，会在后面详细阐述。
33.在输入侧壁15设置有输入口15a，在输出侧壁16形成有输出口16b。输入口15a和输出口16b在高度方向上的位置为相同的位置，输入口15a和输出口16b彼此对置。由图1可知：处理室19a、19b配置于输入口15a与输出口16b之间。
34.此外，对构成炉体12的各壁13、14、15、16、17、18的内表面(即、处理室19a、19b侧的
面)实施了镜面加工。其结果，上述面的红外区域的电磁波(详细而言，后述的加热器26a、26b、28放射的电磁波)的反射率为50％以上。据此，能够将加热器26a、26b、28放射的电磁波向工件w有效地照射。
35.输送装置20具备：输入口辊21，其配置在炉体12的外侧且配置于输入口15a的附近；输出口辊25，其配置在炉体12的外侧且配置于输出口16a的附近；以及多个导向辊22a、22b、22c、24，它们配置在处理室19a、19b内。
36.在输入口辊21卷绕有工件w。卷绕于输入口辊21的工件w从输入口15a经过处理室19a、19b而被架设至输出口16a。具体而言，将工件w从输入口辊21经由输入口15a而架设至导向辊22a、22b、22c、24，进而，从导向辊22a、22b、22c、24经由输出口16a而架设至输出口辊25。
37.输出口辊25为：对从处理室19a、19b输出的工件w进行卷绕的辊。在输出口辊25连接有未图示的驱动装置，利用驱动装置而对输出口辊25进行旋转驱动。当输出口辊25旋转时，将卷绕于输入口辊21的工件w向处理室19a、19b送出。从输入口辊21送出的工件w被导向辊22a、22b、22c、24引导而在处理室19a、19b内的规定的输送路径上进行移动，从输出口16a向处理室19a、19b外送出，从而卷绕于输出口辊25。即，导向辊22a、22b、22c、24规定出处理室19a、19b内的工件w的输送路径。
38.导向辊22a、22b、22c、24具备：配置于上壁14的附近的多个上部导向辊22a、22b、22c、以及配置于下壁13的附近的多个下部导向辊24。此外，本实施例中，导向辊22a、22b、22c、24使用与工件w接触的接触式辊，不过，也可以使用以非接触引导工件w的非接触式辊。
39.上部导向辊22a、22b、22c(权利要求中所称的第一导向辊的一例)以沿x方向空开恒定的间隔的方式配置。具体而言，上部导向辊22a与输入口15a相邻地配置，上部导向辊22c与输出口16a相邻地配置。多个导向辊22b以等间隔配置于上部导向辊22a与上部导向辊22c之间。上部导向辊22a、22b、22c各自在高度方向上的位置相同。
40.多个下部导向辊24(权利要求中所称的第二导向辊的一例)与上部导向辊22a、22b、22c同样地，分别以沿x方向空开恒定的间隔的方式配置。相邻的下部导向辊24在x方向上的间隔、与上部导向辊22a、22b、22c在x方向上的间隔相同。多个下部导向辊24在x方向上的位置处于相邻的上部导向辊22a、22b、22c的中央位置。多个下部导向辊24在高度方向上的位置相同。
41.如上所述，由于配置有上部导向辊22a、22b、22c和下部导向辊24，所以，从输入口15a沿x方向输送的工件w通过上部导向辊22a而被向下方输送，接下来，通过下部导向辊24而被向上方输送，之后通过上部导向辊22b和下部导向辊24而在上下方向上反复输送。并且，从最靠近输出口16a侧配置的下部导向辊24向上方输送的工件w通过上部导向辊22c而被向输出口16a输送。这样，通过在处理室19a、19b内沿上下方向反复输送，能够有效地利用处理室19a、19b内的空间，确保用于使工件w干燥的处理时间。此外，由图1可知：通过架设于导向辊22a、22b、22c、24的工件w而将处理室19a、19b区分为设置于上壁14侧的上部处理室19a、和设置于下壁13侧的下部处理室19b。另外，由图2可知：在没有工件w的位置(即，工件w的y方向上的两端外侧的位置)，上部处理室19a和下部处理室19b被连接起来。
42.加热装置配置于处理室19a、19b内，对通过输送装置20而被输送的工件w进行加热。加热装置具备：第一加热器26a、26b，其配置于导向辊22a、22b、22c、24的附近；以及第二
加热器28，其配置于上部导向辊22a、22b、22c与下部导向辊24之间的高度。如图2所示，第一加热器26a、26b和第二加热器28在导向辊22a、22b、22c、24的轴线方向上延伸，能够对工件w的整个宽度方向(y方向)进行加热。
43.如图1所示，第一加热器26a、26b具备：多个第一上部加热器26a，它们配置于上部导向辊22a、22b、22c的上方；以及多个第一下部加热器26b，它们配置于下部导向辊24的下方。第一上部加热器26a分别配置成：与所对应的上部导向辊22a、22b、22c对置，第一下部加热器26b分别配置成：与所对应的下部导向辊24对置。因此，工件w位于第一上部加热器26a与上部导向辊22a、22b、22c之间，工件w通过第一上部加热器26a而被直接加热。同样地，工件w位于第一下部加热器26b与下部导向辊24之间，工件w通过第一下部加热器26b而被直接加热。
44.第二加热器28在上部导向辊22a、22b、22c各自的下方以沿z方向空开间隔的方式配置有2个。另外，第二加热器28在下部导向辊24各自的上方以沿z方向空开间隔的方式配置有2个。因此，配置成：11个第二加热器28沿x方向空开间隔地排列，并且，2个第二加热器28沿y方向空开间隔地排列。由图可知：第二加热器28配置于：与架设于上部导向辊22a、22b、22c和下部导向辊24的工件w对置的位置(即、在工件w的输送方向上相邻的导向辊间的中间位置的附近)。由于第二加热器28在导向辊22a、22b、22c、24的轴线方向上延伸，所以，架设于上部导向辊22a、22b、22c和下部导向辊24的工件w的整个宽度方向通过第二加热器28而被加热。
45.第一加热器26a、26b为：放射出红外区域的电磁波的公知的波长可控的加热器，第一加热器26a、26b和第二加热器28具有相同的结构。因此，此处对第二加热器28的结构简单地进行说明。
46.如图3所示，第二加热器28具备：灯丝30、用于收纳灯丝30的内管32、以及用于收纳内管32的外管34。灯丝30为例如钨制的发热体，由未图示的外部电源供电。当向灯丝30供电而达到规定温度(例如1200～1700℃)时，从灯丝30放射出包括红外线在内的电磁波。内管32由红外线透过材料形成，其中，在从灯丝30放射出的电磁波中仅仅是特定的波长区域(本实施例为红外区域)的电磁波才能透过该红外线透过材料。通过适当选择：用于形成内管32的红外线透过材料，能够将从灯丝30向内管32的外部放射出的电磁波的波长调整为所期望的波长。外管34也由与内管32相同的红外线透过材料形成。因此，从内管32透过的电磁波从外管34透过而向外部放射。内管32与外管34之间的空间36为：供冷媒(例如空气)流通的冷媒流路。通过向空间36(即、冷媒流路)供给冷媒，可防止外管34的温度变得过高。据此，可防止工件w过热。此外，放射红外区域的电磁波的波长可控的加热器已在例如日本特许4790092号中进行了详细的公开。
47.供气装置具备：多个供气管38，它们在处理室19a、19b内沿y方向延伸；以及供气风扇(省略图示)，其配置于处理室19a、19b外，向多个供气管38供给冷却气体。如图4所示，在供气管38的周向上的2处形成有喷出孔39a、39b。因此，从供气风扇供给至供气管38的冷却气体从喷出孔39a、39b向处理室19a、19b内喷射。本实施例中，调整设置供气管38的朝向，以使得从喷出孔39a、39b喷射的冷却气体的喷出方向与工件w的表面正交。如图4所示，喷出孔39a、39b配置于：夹着供气管38的轴线而对置的位置。因此，在工件w位于供气管38的输入口15a侧和输出口16a侧的情况下，从该供气管38的喷出孔39a喷射的冷却气体向一方的工件w
喷射，从该供气管38的喷出孔39b喷射的冷却气体向另一方的工件w喷射。另外，如图2所示，供气管38的喷出孔39a、39b沿y方向空开间隔地形成有多个。因此，从喷出孔39a、39b喷射的冷却气体向工件w的整个宽度方向(y方向)喷射。
48.如图1所示，供气管38在上部导向辊22a、22b、22c各自的下方以沿z方向空开间隔的方式配置有2个。另外，供气管38在下部导向辊24各自的上方以沿z方向空开间隔的方式配置有2个。由图1可知：供气管38配置于与第一加热器26a、26b及第二加热器28的配置位置不同的位置。具体而言，第二加热器28和供气管38沿z方向(输送方向)空开相等的间隔交替地配置。另外，如上所述，通过架设于导向辊22a、22b、22c、24的工件w而将处理室19a、19b区分为上部处理室19a、和下部处理室19b，在上部处理室19a和下部处理室19b分别配置有供气管38。
49.作为向供气管38供给的冷却气体，可以使用例如不活泼性气体、氮、ar气体等。处理室19a、19b内的气氛气体通过从供气管38向处理室19a、19b内喷射的气体而进行调整。本实施例中，由于除去工件w中包含的水分，所以，处理室19a、19b内的气氛气体调整为：露点在0℃以下的气体。此外，作为冷却气体，可以采用露点在0℃以下的大气。
50.在此，详细说明将处理室19a、19b内的气氛气体予以排出的排气装置。排气装置具备：排气口50a～50g、56a～56f、流量调整阀52a～52g、58a～58f、以及排气风扇54、60。
51.排气口50a～50g设置在上壁14，且沿x方向空开间隔地配置。具体而言，排气口50a配置在输入口15a与第一加热器26a之间。排气口50b配置在上部导向辊22a与同该上部导向辊22a邻接的上部导向辊22b(详细是最靠近输入口15a侧的上部导向辊22b)之间。排气口50c～50e配置在相邻接配置的上部导向辊22b、22b之间。排气口50f配置在最靠近输出口16a侧的上部导向辊22c与同该上部导向辊22c相邻接的上部导向辊22b之间。排气口50g配置在上部导向辊22c与输出口16a之间。由图1可知，排气口50b～50f分别与在从输入口15a侧开始起算的第2排、第4排、第6排、第8排、第10排配置的所对应的供气管38以及第二加热器38相对置。另外，排气口50b～50f分别与下部导向辊24相对置，下部导向辊24位于排气口50b～50f与工件w之间的位置。由邻接的上部导向辊22a、22b、22c、位于这些上部导向辊的x方向上的中间位置的下部导向辊24、以及架设在这些导向辊上的工件w而划分出来的空间(上部处理室19a的一部分)位于排气口50b～50f的下方位置。另外，在本实施例中，虽然在上壁14的y方向上的中间位置配设有1个排气口50a～50g，但是也可以在y方向上的多个部位来配设。
52.排气口56a～56f设置在下壁13，且沿x方向空开间隔地配置。具体而言，排气口56a配置在输入口15a、与最靠近输入口15a侧配置的下部导向辊24之间。排气口56b～56e配置在邻接配置的下部导向辊24之间。排气口56f配置在最靠近输出口16a侧的下部导向辊24与输出口16a之间。由图1可知，排气口56a～56f分别与在从输入口15a侧开始起算的第1排、第3排、第5排、第7排、第9排配置的所对应的供气管38以及第二加热器38相对置。另外，排气口56a～56f分别与上部导向辊22a、22b、22c相对置，上部导向辊22a、22b、22c位于排气口56a～56f与工件w之间的位置。由邻接的下部导向辊24、位于这些下部导向辊的x方向上的中间位置的上部导向辊22a、22b、22c、以及架设在这些导向辊上的工件w而划分出来的空间(下部处理室19b的一部分)位于排气口56b～56e的上方位置。另外，在本实施例中，虽然在下壁14的y方向上的中间位置配设有1个排气口56a～56f，但是也可以在y方向上的多个部位来
配设。
53.排气风扇54与排气口50a～50g连接。在将排气风扇54与排气口50a连接起来的排气流路上设置有流量调整阀52a。同样地，在将排气风扇54与排气口50b～50g连接起来的排气流路的各个流路上设置有流量调整阀52b～52g。在本实施例中，将排气口50a～50g连接于1个排气风扇54，同时分别在排气口50a～50g设置有流量调整阀52a～52g，由此能够对分别从排气口50a～50g排出的气氛气体的流量进行独立地控制。
54.同样地，排气风扇60与排气口56a～56f连接。在将排气风扇60与排气口56a～56f连接起来的排气流路(专用部分)的各个流路上设置有流量调整阀58a～58f。因此，也能够对分别从排气口56a～56f排出的气氛气体的流量进行独立地控制。
55.控制器44由具备cpu、rom、ram的处理器构成，对输送装置20、加热装置26a、26b、28、供气装置以及排气装置54、60、52a～52g、58a～58f进行控制。具体而言，控制器44通过控制输送装置20来控制工件w的输送速度及张力，通过控制加热装置26a、26b、28来控制工件w的加热量，通过控制供气装置，来控制从供气管38向工件w喷射的冷却气体的流量及流速。另外，控制器44通过控制排气风扇54、60的转速和流量调整阀52a～52g、58a～58f的开度来控制：分别从排气口50a～50g、56a～56f排出的气氛气体的流量。
56.此外，在热处理炉10设置有：用于将卷绕于输入口辊21的工件w安装于输出口辊25的贯穿装置。如图1所示，贯穿装置具备：在处理室19a、19b内和处理室19a、19b外通过并且进行循环的链条42、以及用于驱动链条42的驱动装置(省略图示)。链条42与被架设于导向辊22a、22b、22c、24的工件w同样地，从输入口15a开始，沿上下方向改变朝向，同时延伸至输出口16a，从输出口16a开始，在处理室19a、19b的外侧通过而返回输入口15a。如图1所示，架设链条42的路径在多处与架设工件w的路径(即、工件w的输送路径)交叉。此外，链条42所配置的位置为：工件w的宽度方向(y方向)上的外侧的位置，因此，链条42和工件w不会相互干扰(参照图2)。为了利用贯穿装置而将工件w安装于输出口辊25，首先，利用设置于链条42的未图示的夹具，夹紧卷绕于输入口辊21的工件w。接下来，利用驱动装置而使链条42循环，将工件w从输入口辊21送出。据此，保持于链条42的夹具上的工件w在处理室19a、19b内会与链条42一同移动，并移动至输出口16a。当工件w移动至输出口16a时，对夹具进行操作，从链条42将工件w放开，并将工件w安装于输出口辊25。最后，使输出口辊25旋转而对工件w施加张力，由此，工件w从输入口15a借助导向辊22a、22b、22c、24而被架设至输出口16a。
57.接下来，对采用上述的热处理炉10而从工件w中除去水分的处理进行说明。首先，从供气管38向处理室19a、19b内供给冷却气体，将处理室19a、19b内调整为规定的气氛。接下来，控制器44对输送装置20进行驱动，由此将工件w从输入口15a经过处理室19a、19b而输送至输出口16a。此时，控制器44对加热装置26a、26b、28进行控制，从而对工件w照射红外线区域的电磁波，并且，从供气管38向工件w的表面喷出冷却气体。当从加热装置26a、26b、28照射出红外线区域的电磁波时，工件w中包含的水分吸收所照射的电磁波，使得水分蒸发。从工件w中蒸发出的水分又通过从供气管38喷射的冷却气体而从工件w的表面被除去。包含有从工件w的表面除去的水分(其中，水分中含有微量的有机溶剂)的气氛气体会从下壁13的排气口13a和上壁14的排气口14a分别向处理室19a、19b外排出。工件w在从输入口15a输送至输出口16a的期间被除去水分。被除去水分的工件w卷绕于输出口辊25。
58.根据上述的热处理炉10，在导向辊22a、22b、22c、24的附近具备：与导向辊22a、
22b、22c、24对置的第一加热器26a、26b。另外，在上部导向辊22a、22b、22c与下部导向辊24之间，具备第二加热器28。利用上述加热器26a、26b、28，能够控制与导向辊22a、22b、22c、24接触的状态下的工件w的热收支，另外，还能够控制未与导向辊22a、22b、22c、24接触的状态下的工件w的热收支。因此，能够很好地控制工件w的热收支，从而能够明显地提高从工件w中除去水分的处理的效率。例如，因工件w与导向辊22a、22b、22c、24接触而使热从工件w流向导向辊22a、22b、22c、24从而导致工件w过于冷却的情况下，增加从第一加热器26a、26b向工件w供给的热量，使得工件w不会过于冷却。据此，能够防止从工件w中除去水分的效率降低。
59.另外，上述的热处理炉10中，供气管38和第二加热器28在输送方向上交替地配置，另外，来自供气管38的冷却气体从与工件w的表面正交的方向喷射。据此，从工件w的内部蒸发出的水分从工件w的表面被快速地除去，促进来自工件w的水分的除去。据此，还能够提高工件w的水分的除去效率。
60.此外，通过架设于导向辊22a、22b、22c、24的工件w而将处理室19a、19b区分为上部处理室19a和下部处理室19b，不过，在上部处理室19a和下部处理室19b分别配置有供气管38和排气口14a、13a。因此，供给至上部处理室19a的冷却气体、以及供给至下部冷却室19b的冷却气体与被除去的水分一同快速地向处理室19a、19b外排出。据此，还能够优化处理室19a、19b内的气体流动，提高工件w的水分除去效率。特别是，在本实施例中，上壁14的排气口50b～50f朝向由工件w和下部导向辊24划分出来的空间(上部处理室19a的一部分)而呈开口，从而能够将从供气管38供给于该空间的冷却气体迅速地排出到炉外。同样地，下壁13的排气口56b～56e朝向由工件w和上部导向辊22b划分出来的空间(下部处理室19b的一部分)而呈开口，从而能够将从供气管38供给于该空间的冷却气体迅速地排出到炉外。由此，能够改善处理室19a、19b内的气氛气体的气流，从而能够提高工件w的水分除去效率。
61.此外，加热器26a、26b、28选择：用于形成内管及外管的红外线透过材料，由此，能够调整放射的红外线的波长区域。因此，通过根据工件w的特性而调整放射的电磁波的波长，能够提高工件w的热处理效率。例如，考虑对作为工件w的、由固体成分(苯酚
·
环氧树脂、10～90wt％)、以及使该固体成分成为浆料状或糊料状的溶剂(水或溶剂(例如、ipa(异丙醇、nmp(n－甲基－2－吡咯烷酮)等)构成的物质进行干燥的情形。对这样的工件w进行干燥的情况下，可以在热处理炉10的前半部分，利用选择了近红外线波长的加热器26a、26b、28来进行水或溶剂的干燥，在热处理炉10的后半部分，利用选择了远红外线波长的加热器26a、26b、28来进行退火。
62.另外，上述的实施例中，加热器26a、26b、28放射了全部相同的波长区域的电磁波，但不局限于上述例子。例如，从加热器26a、26b、28放射的电磁波的波长可以根据输送路径上的位置进行调整。例如，利用热处理炉10从工件w中除去水分的情况下，工件w中包含的水分量从输入口15a朝向输出口16a而逐渐降低。因此，通过使从加热器26a、26b、28放射的电磁波的波长从输入口15a朝向输出口16a而逐渐变长，能够将与水分量相对应的电磁波向工件w照射。
63.另外，上述的实施例中，在导向辊22a、22b、22c、24的附近配置第一加热器26a、26b，利用第一加热器26a、26b对工件w进行加热，但不局限于上述例子。例如，可以在导向辊的内部设置供热媒流通的流路。利用导向辊对工件w进行加热。通过这样的构成，也能够控
制与导向辊接触的状态下的工件w的热收支，提高工件w的热处理效率。
64.另外，在上述的实施例中，虽然分别从排气口50a～50g、排气口56a～56f均等地排出气氛气体，但并非限定于这样的例子。例如，排气口50b～50f、56b～56e朝向由工件w与下部导向辊24、或者工件w与上部导向辊22b划分出来的空间而呈开口。由于该空间是由工件w包围起来的，所以，可以认为会有较多的水分从工件w被排出到该空间。因此，关于排气口50b～50f、56b～56e，也可以调整流量调整阀52b～52f、58b～58e，以使得所排出的气氛气体的流量比其他的排气口50a、50g、56a、56f多。或者，工件w所包含的水分从输入口15a朝向输出口16a而渐渐降低。由此，可以根据工件w所含有的水分量来调整流量调整阀52b～52f、58b～58e，以使得从排气口50a～50g、排气口56a～56f排出的气氛气体的流量从输入口15a朝向输出口16a发生变化。
65.本说明书或附图中说明的技术要素单独发挥出技术有用性，或者通过各种组合而发挥出技术有用性，并不限定于申请时权利要求中记载的组合。另外，本说明书或附图中例示的技术同时实现多个目的，实现其中一个目的的技术本身具有技术有用性。