基板支承部件及具有基板支承部件的基板处理装置及方法与流程

技术特征：
1.基板支承部件，包括：主体；支承销，设置在所述主体上，并且支承基板；导向销，设置在所述主体上，并且支承所述基板；以及电荷控制装置，控制所述支承销与第一电阻器之间的电连接以及所述导向销与第二电阻器之间的电连接，以控制所述基板的周围的电荷。2.根据权利要求1所述的基板支承部件，其中，所述电荷控制装置包括：所述第一电阻器，设置在连接所述支承销和接地端的第一线路上；第一开关，设置在所述第一线路上，并且切换所述支承销与所述第一电阻器之间的电连接；所述第二电阻器，设置在连接所述导向销和所述接地端的第二线路上；第二开关，设置在所述第二线路上，并且切换所述导向销与所述第二电阻器之间的电连接；以及控制部，控制所述第一开关和所述第二开关的切换。3.根据权利要求1所述的基板支承部件，其中，所述第一电阻器设置在连接所述支承销和接地端的第一线路上，所述第二电阻器设置在连接所述导向销和所述接地端的第二线路上，以及所述第一电阻器和所述第二电阻器中的至少一者设置在所述基板支承部件中。4.根据权利要求3所述的基板支承部件，其中，在所述第一电阻器设置为多个的情况下，所述电荷控制装置根据多个所述第一电阻器中的与所述支承销电连接的第一电阻器的数量来控制所述电荷的电荷量，和/或在所述第二电阻器设置为多个的情况下，所述电荷控制装置根据多个所述第二电阻器中的与所述导向销电连接的第二电阻器的数量来控制所述电荷的电荷量。5.根据权利要求3所述的基板支承部件，其中，在所述第一电阻器设置为多个的情况下，多个所述第一电阻器中的至少两个第一电阻器具有彼此不同的电阻值，并且利用所述至少两个第一电阻器来精确地控制所述电荷的电荷量，和/或在所述第二电阻器设置为多个的情况下，多个所述第二电阻器中的至少两个第二电阻器具有彼此不同的电阻值，并且利用所述至少两个第二电阻器来精确地控制所述电荷的电荷量。6.根据权利要求1所述的基板支承部件，其中，至少一个所述支承销与所述第一电阻器电连接，和/或至少一个所述导向销与所述第二电阻器电连接。7.根据权利要求1所述的基板支承部件，其中，所述第一电阻器和所述第二电阻器中的至少一个电阻器是可变电阻器。8.根据权利要求1所述的基板支承部件，其中，所述第一电阻器和所述第二电阻器设置在所述主体的内部。9.根据权利要求1所述的基板支承部件，其中，
在所述基板的周围积聚的电荷用于处理所述基板。10.根据权利要求1所述的基板支承部件，其中，所述电荷控制装置在利用药液来清洗所述基板时控制电荷。11.根据权利要求10所述的基板支承部件，其中，所述电荷控制装置在所述药液供给到所述基板的上部的情况下控制所述导向销与所述第二电阻器之间的电连接。12.根据权利要求10所述的基板支承部件，其中，所述电荷控制装置在所述药液供给到所述基板的上部和下部的情况下控制所述支承销与所述第一电阻器之间的电连接。13.根据权利要求12所述的基板支承部件，其中，所述电荷控制装置还控制所述导向销与所述第二电阻器之间的电连接。14.根据权利要求1所述的基板支承部件，其中，所述支承销与所述第一电阻器之间的第一电连接为多个，并且所述电荷控制装置控制多个所述第一电连接中的至少一个第一电连接，和/或所述导向销与所述第二电阻器之间的第二电连接为多个，并且所述电荷控制装置控制多个所述第二电连接中的至少一个第二电连接。15.根据权利要求14所述的基板支承部件，其中，所述电荷控制装置基于所述基板的蚀刻速率来控制所述至少一个第一电连接和/或所述至少一个第二电连接。16.根据权利要求10所述的基板支承部件，其中，所述电荷控制装置在所述基板被供给所述药液之前控制电荷。17.根据权利要求10所述的基板支承部件，其中，所述电荷控制装置在所述药液供给到所述基板期间，以时间差反复控制电荷。18.基板处理装置，包括：支承部件，所述支承部件包括主体、设置在所述主体上并且支承基板的支承销、以及设置在所述主体上并且支承所述基板的导向销；喷射部件，向所述基板的上表面供给药液；后喷嘴，向所述基板的底表面供给药液；以及电荷控制装置，控制所述支承销与第一电阻器之间的电连接以及所述导向销与第二电阻器之间的电连接，以控制所述基板的周围的电荷。19.基板处理方法，包括以下步骤：第一步骤：在处理基板之前，控制所述基板的周围的电荷的电荷量；以及第二步骤：在处理所述基板的过程中，控制所述基板的周围的电荷的电荷量。20.根据权利要求19所述的基板处理方法，其中，所述第二步骤包括：利用药液来处理所述基板，并且在所述药液供给到所述基板期间，以时间差反复控制电荷的电荷量。

技术总结
本发明提供利用可变电阻器来控制导向销和支承销的接地电阻值，从而能够调节基板上的电荷的流动的基板支承部件及具有基板支承部件的基板处理装置。所述基板支承部件包括：主体；支承销，设置在主体上，并且支承基板；导向销，设置在主体上，并且支承基板；以及电荷控制装置，控制支承销与第一电阻器之间的电连接以及导向销与第二电阻器之间的电连接，以控制基板的周围的电荷。板的周围的电荷。板的周围的电荷。


技术研发人员：洪榕焄 李康奭 张素荣 李贤俊
受保护的技术使用者：细美事有限公司
技术研发日：2021.08.02
技术公布日：2022/2/23