一种取放晶圆片的引导结构的制作方法

技术特征：
1.一种取放晶圆片的引导结构，其特征在于，包括：晶圆盒(1)，所述晶圆盒(1)内设置若干晶圆盒卡槽(11)，所述晶圆盒(1)设置第一取放口(12)；引导结构主体(2)，连接在所述晶圆盒(1)设置所述第一取放口(12)的一侧，所述引导结构主体(2)设有与所述第一取放口(12)连通的第二取放口(21)，所述引导结构主体(2)内设置引导结构卡槽(22)，所述引导结构卡槽(22)靠近第一取放口(12)的一侧与所述晶圆盒卡槽(11)连通，所述引导结构卡槽(22)沿着晶圆片(5)取出路径槽宽逐渐扩大。2.根据权利要求1所述的一种取放晶圆片的引导结构，其特征在于，所述晶圆盒(1)为相对两侧均设置第一取放口(12)的结构，所述晶圆盒卡槽(11)设置在所述晶圆盒(1)上下两端内壁；所述引导结构主体(2)为相对两侧均设置第二取放口(21)的结构，所述晶圆盒(1)的一个第一取放口(12)与所述引导结构主体(2)的一个第二取放口(21)固定连接且连通，所述引导结构卡槽(22)设置在所述引导结构主体(2)上下两端内壁，所述引导结构卡槽(22)靠近所述一个第二取放口(21)的一侧与所述晶圆盒卡槽(11)靠近所述一个第一取放口(12)的一侧连通。3.根据权利要求1所述的一种取放晶圆片的引导结构，其特征在于，所述引导结构卡槽的开口(221)大于等于5mm。4.根据权利要求1所述的一种取放晶圆片的引导结构，其特征在于，当所述晶圆片(5)为3英寸晶圆片(5)时，所述引导结构卡槽(22)的深度大于等于80mm，所述引导结构卡槽的开口(221)大于等于5mm。5.根据权利要求1所述的一种取放晶圆片的引导结构，其特征在于，当所述晶圆片(5)为4英寸晶圆片(5)时，所述引导结构卡槽(22)的深度大于等于110mm，所述引导结构卡槽的开口(221)大于等于8mm。6.根据权利要求1所述的一种取放晶圆片的引导结构，其特征在于，所述引导结构主体(2)通过定位结构与所述晶圆盒(1)连接。7.根据权利要求1所述的一种取放晶圆片的引导结构，其特征在于，所述晶圆盒(1)左右两侧设置所述第一取放口(12)，所述晶圆盒卡槽(11)设置在所述晶圆盒(1)上下两端内壁；所述取放晶圆片的引导结构还包括：限位装置，设置在所述晶圆盒(1)上；所述限位装置包括：两个限位组件(3)，设置在晶圆盒(1)上下两端或设置在所述晶圆盒(1)前后两侧；所述限位组件(3)包括：l形固定支架(31)，由水平段(311)和固定连接在水平段(311)下端的竖直段(312)构成，所述竖直段(312)下端固定连接在所述晶圆盒(1)外壁，所述水平段(311)沿左右方向延伸且朝向所述第一取放口(12)设置，所述晶圆盒(1)外壁设置有沿左右方向的第一滑槽，所述竖直段(312)设置有平行于所述第一滑槽的水平通孔，所述水平段(311)远离晶圆盒(1)的一侧设置左右方向的第二滑槽，所述第二滑槽内滑动连接有第二滑块(32)；安装支架(33)，固定连接在所述晶圆盒(1)外壁，且位于竖直段(312)远离水平段(311)的一侧；
第一滑块(34)，位于所述l形固定支架(31)内侧，所述第一滑块(34)一端与所述晶圆盒(1)外壁的所述第一滑槽滑动连接；弹簧(35)，一端与所述第一滑块(34)固定连接，另一端与所述l形固定支架(31)内侧壁固定连接；电动绕线轮(36)，安装在所述安装支架(33)上，所述电动绕线轮(36)上绕卷有拉绳(361)，所述拉绳(361)一端穿过所述水平通孔后与所述第一滑块(34)固定连接；转动杆(37)，一端与所述第一滑块(34)转动连接，所述转动杆(37)上设置第三滑槽(313)，所述第三滑槽(313)内滑动连接有滑轮(310)；限位板(38)，连接在所述转动杆(37)另一端；第一连接杆(39)，与所述第二滑块(32)固定连接，所述第一连接杆(39)靠近转动杆(37)的一端通过第二连接杆(314)与所述滑轮(310)连接；固定板(311)，固定连接在所述第一连接杆(39)另一端；电动伸缩杆(312)，平行于所述第二滑槽设置，所述电动伸缩杆(312)的固定端固定连接在所述l形固定支架(31)上，所述电动伸缩杆(312)的伸缩端与所述固定板(311)固定连接；微控制器，与所述电动伸缩杆(312)、电动绕线轮(36)电连接。8.根据权利要求7所述的一种取放晶圆片的引导结构，其特征在于，所述第二连接杆(314)为电动伸缩杆(312)，所述第二连接杆(314)与所述微控制器电连接，所述第二连接杆(314)一端与所述第一连接杆(39)转动连接，所述第二连接杆(314)另一端与所述滑轮(310)转动连接。9.根据权利要求1所述的一种取放晶圆片的引导结构，其特征在于，所述引导结构主体(2)左右两侧均设置第二取放口(21)，所述引导结构卡槽(22)设置在所述引导结构主体(2)上下两端内壁；所述取放晶圆片的引导结构还包括：还包括除尘装置(4)，连接在所述引导结构主体(2)前侧或右侧；所述除尘装置(4)包括：壳体(41)，固定连接在所述引导结构主体(2)前侧或右侧，所述引导结构主体(2)前侧或后侧侧壁设置弧形通孔(48)；第四滑槽(42)，设置在所述引导结构主体(2)前侧或后侧侧壁，所述第四滑槽(42)内滑动连接有第三滑块(45)；第五滑槽(43)，所述引导结构主体(2)前侧或后侧侧壁设置一个第五滑槽(43)，所述壳体(41)与所述一个第五滑槽(43)相对的一侧壁上设置另一个第五滑槽(43)，两个第五滑槽(43)内均滑动连接有第四滑块(46)，所述第五滑槽(43)位于所述第四滑槽(42)下方；第四连接杆(44)，两端分别与两个第四滑块(46)固定连接，所述第四连接杆(44)内设置沿左右方向的第二通孔(416)，所述第二通孔(416)内滑动连接有滑杆(49)；转盘(47)，通过前后设置的第一转轴转动连接在所述壳体(41)内，所述转盘(47)上固定连接有滑杆(49)；驱动电机，设置在所述壳体(41)内，用于驱动所述转盘(47)；齿条(410)，设置在所述壳体(41)内，一端通过第三连接杆与所述第三滑块(45)固定连
接，另一端与所述第四连接杆(44)固定连接；第二转轴(411)，平行于所述第四连接杆(44)，所述第二转轴(411)两端分别与两个第五滑槽(43)所在的壳体(41)侧壁或引导结构主体(2)侧壁转动连接；齿轮(412)，固定连接在所述所述第二转轴(411)上，所述齿轮(412)与所述齿条(410)啮合传动；第五连接杆(413)，设置在所述壳体(41)内，且平行于所述齿条(410)设置，所述第五连接杆(413)一端与所述第二转轴(411)连接；除尘件(414)，设置在所述壳体(41)内，且位于所述第五连接杆(413)另一端，所述除尘件(414)输出端连接有除尘管(415)，所述除尘管(415)连接在所述弧形通孔(48)内。10.根据权利要求1所述的一种取放晶圆片的引导结构，其特征在于，所述引导结构主体(2)左右两侧均设置第二取放口(21)，所述引导结构卡槽(22)设置在所述引导结构主体(2)上下两端内壁；所述引导结构卡槽(22)底端内壁靠近晶圆盒(1)处，沿着晶圆片(5)的基准取放路径间隔设置若干压力检测装置；所述取放晶圆片的引导结构还包括：位移检测装置，设置在所述引导结构卡槽(22)上，或设置在所述引导结构主体(2)内前后两侧内壁；若干第一检测装置，设置在引导结构卡槽(22)与晶圆盒卡槽(11)对接处不同方位，用于获取引导结构卡槽(22)与晶圆盒卡槽(11)对接处，引导结构卡槽(22)与晶圆盒卡槽(11)的偏离信息，所述偏离信息包括水平偏离信息和竖直偏离信息；存储器，存储有晶圆片(5)的基准取放路径；控制器、第一报警器、第二报警器，所述控制器与所述压力检测装置、位移检测装置、第一检测装置、第一报警器、第二报警器、存储器电连接；所述控制器基于所述压力检测装置、位移检测装置、存储器、第一检测装置控制所述第一报警器、第二报警器进行工作，包括以下步骤：步骤1：放置晶圆片前，所述控制器基于所述第一检测装置及公式(1)计算综合偏离评估值；其中，a-a0＞0，b-b0＞0，p为所述综合偏离评估值，n为第一检测装置的总数量，a
i
为基于第i个第一检测装置获取的水平偏离值，a为晶圆盒卡槽和引导结构卡槽对接处的引导结构卡槽的槽宽，a0为晶圆盒卡槽和引导结构卡槽对接处的晶圆盒卡槽的槽宽，b为晶圆盒卡槽和引导结构卡槽对接处的引导结构卡槽的高度，b0为晶圆盒卡槽和引导结构卡槽对接处的晶圆盒卡槽的高度，b
i
为基于第i个第一检测装置获取的竖直偏离值；步骤2：控制器比较所述综合偏离评估值与预设的偏离基准值，当所述综合偏离评估值大于等于预设的偏离基准值时，控制器控制第一报警器进行报警；当所述综合偏离评估值小于预设的偏离基准值时，控制器不触发第一报警器；步骤3：放置晶圆片过程中，控制器基于所述位移检测装置构建实际取放路径，所述控制器基于存储器获取所述基准取放路径，并且所述控制器以所述压力检测装置位于基准取
放路径的位置将所述实际取放路径及基准取放路径均划分为若干段，相邻压力检测装置之间的基准取放路径或实际取放路径为一段；所述控制器比较各段的所述实际取放路径和对应的所述基准取放路径的相似度；步骤4：当步骤2中控制器不触发第一报警器时，所述控制器基于所述步骤1计算的综合偏离评估值、步骤3、压力检测装置及公式(2)计算晶圆片破碎评估值，当所述晶圆片破碎评估值大于等于对应的晶圆片破碎基准值时，控制器控制第二报警器进行报警，所述晶圆片破碎评估值小于对应的晶圆片破碎基准值时，所述控制器不触发报警器；其中，q为所述晶圆片破碎评估值，k1为第一预设权重，k2为第二预设权重，m为压力检测装置的总数量，s
j
为第j个压力检测装置检测值，l
j
为所述基准取放路径中位于第j个压力检测装置处前一段与实际取放路径对应段的相似度，l
m-1
为所述基准取放路径中位于第j个压力检测装置处后一段与实际取放路径对应段的相似度。

技术总结
本发明提供了一种取放晶圆片的引导结构，包括：晶圆盒，所述晶圆盒内设置若干晶圆盒卡槽，所述晶圆盒设置第一取放口；引导结构主体，连接在所述晶圆盒设置所述第一取放口的一侧，所述引导结构主体设有与所述第一取放口连通的第二取放口，所述引导结构主体内设置引导结构卡槽，所述引导结构卡槽靠近第一取放口的一侧与所述晶圆盒卡槽连通，所述引导结构卡槽沿着晶圆片取出路径槽宽逐渐扩大。本发明通过设置引导结构主体及其内的引导结构卡槽解决了因晶圆盒内晶圆盒卡槽太窄，而卡住晶圆片导致晶圆片破碎的问题。晶圆片破碎的问题。晶圆片破碎的问题。


技术研发人员：王虎 赵阳 沈俊龙 尚书丽
受保护的技术使用者：武汉锐晶激光芯片技术有限公司
技术研发日：2020.08.11
技术公布日：2022/2/23