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一种光学元件高透射率高反射率测量装置的制作方法

2022-02-23 20:44:20 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种光学元件高透射率高反射率测量装置,其特征在于:包括有照射光源、第一分光装置、第二分光装置、参考反射装置、标定样品和信号探测装置,所述的照射光源朝向第一分光装置,第一分光装置和第二分光装置均设置有两个输出端,参考反射装置、第二分光装置分别设置于第一分光装置的两个输出端的后端,参考反射装置将第一分光装置其中一输出端输出的出射光线反射至信号探测装置内;进行光学元件高反射率测量时,所述的标定样品位于第二分光装置和信号探测装置之间将第二分光装置其中一输出端输出的出射光线反射至信号探测装置内,待测光学元件样品设置于第二分光装置和信号探测装置之间将第二分光装置另一输出端输出的出射光线反射至信号探测装置内;进行光学元件高透射率测量时,第二分光装置和信号探测装置之间顺次设置有标定反射装置和标定样品,标定反射装置将第二分光装置其中一输出端输出的出射光线反射至标定样品上并透过标定样品入射到信号探测装置内,待测光学元件样品位于第二分光装置和信号探测装置之间,且待测光学元件样品与信号探测装置之间设置有测量反射装置,第二分光装置另一输出端输出的出射光线透过待测光学元件样品后经测量反射装置反射进入到信号探测装置内。2.根据权利要求1所述的一种光学元件高透射率高反射率测量装置,其特征在于:所述的第一分光装置其中一输出端和参考反射装置之间设置有参考光束调制装置。3.根据权利要求1所述的一种光学元件高透射率高反射率测量装置,其特征在于:所述的第二分光装置其中一输出端和标定样品之间设置有标定光束调制装置。4.根据权利要求1所述的一种光学元件高透射率高反射率测量装置,其特征在于:所述的第二分光装置另一输出端和待测光学元件样品之间设置有测量光束调制装置。

技术总结
本实用新型公开了一种光学元件高透射率高反射率测量装置,包括有照射光源、第一分光装置、第二分光装置、参考反射装置、标定样品和信号探测装置。高透射率和高反射率检测均可以在本实用新型的测量装置上进行测量,不需要人为介入、调整,使用非常方便。本实用新型利用实时动态差分技术,当待测光学元件样品的透反射率和标定样品的透反射率接近时,相当于把对待测光学元件样品的高透反射率测量转变成对待测光学元件样品和标定样品之间的透反射率差值的测量,即把一个大量转成对一个小量的测量,而绝对测量误差要求并没有改变,这相当于降低了对相对测量误差的要求,降低了难度,从而保证了测量精度能够满足要求。而保证了测量精度能够满足要求。而保证了测量精度能够满足要求。


技术研发人员:陈坚 吴周令
受保护的技术使用者:合肥知常光电科技有限公司
技术研发日:2021.07.19
技术公布日:2022/2/22
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