一种带有状态监测的MOEMS引信安解装置的制作方法

技术特征：
1.一种带有状态监测的moems引信安解装置，其特征在于，包括基底层、设置在基底层上的结构层和光纤组；所述结构层通过支撑锚点固定在基底层上；所述光纤组设有输入端和输出端；所述输入端和输出端之间设有错开位和对准位，且保险状态下处于错开位；所述结构层包括：光纤驱动器，用于在通电状态下推动下光纤组处于对准位；驱动器锁止机构，用于对光纤驱动器进行锁定和解锁，包括光纤组处于错开位时对光纤驱动器的锁定，以及光纤驱动器推动光纤组处于对准位时对光纤驱动器的锁定；反向锁止机构，用于光纤组错开位的锁定，以及在在通电状态下解除对光纤组的锁定；驱动器锁止状态反馈单元，用于与驱动器锁止机构配合是否形成回路产生输出信号，以监测驱动器锁止机构的状态；光路通断状态反馈单元，用于与光纤驱动器配合是否形成回路产生输出信号，以监测光纤组的通断状态；反向锁止状态反馈单元，用于与反向锁止机构配合是否形成回路产生输出信号，以监测反向锁止机构的状态。2.根据权利要求1所述的带有状态监测的moems引信安解装置，其特征在于，当检测光纤组处于对准位，驱动器锁止机构和反向锁止机构处于锁定状态时，引信安解装置处于解保状态；当检测光纤组处于错开位，驱动器锁止机构和反向锁止机构处于锁定状态时，引信安解装置处于安全状态。3.根据权利要求1所述的带有状态监测的moems引信安解装置，其特征在于，所述输入光纤、输出光纤和反馈光纤；所述输入光纤的输出端和输出光纤的输入端之间设有错开位和对准位；所述输入光纤的输出端在装置处于安全状态时与输出光纤的输入端保持错开位；所述反馈光纤始终位于输入光纤在装置处于安全状态时的平行侧，反馈光纤的输出端与光功率计耦合，用于实时监测输入光纤输出端的位置变化。4.根据权利要求1所述的带有状态监测的moems引信安解装置，其特征在于，所述反向锁止机构由一个v型电热驱动器和两个带有第四圆形触点的第四悬臂梁组成，两个带有第四圆形触点的第四悬臂梁对称布置在v型电热驱动器的两侧，v型电热驱动器两端各设有一个第六支撑锚点，用于加载电压。5.根据权利要求1所述的带有状态监测的moems引信安解装置，其特征在于，所述驱动器锁止机构由两个第一u型电热驱动器和卡齿结构组成，其中两个u型电热驱动器共用一个第二支撑锚点，两个第一u型电热驱动器另外各有一个第三支撑锚点，卡齿结构布置并固联在两个u型驱动器上，与光纤驱动器上的卡齿结构相配合。6.根据权利要求1所述的带有状态监测的moems引信安解装置，其特征在于，所述光纤驱动器由两个第二u型电热驱动器、两个梁、一个推杆、两个带有第二圆形触点的第二悬臂梁和卡齿结构组成，两个第二u型电热驱动器、两个梁和两个第二悬臂梁对称布置在推杆左右两侧，推杆通过梁与u型电热驱动器连接，两个第二u型电热驱动器各设有两个第四支撑锚点，用于加载电压。7.根据权利要求6所述的带有状态监测的moems引信安解装置，其特征在于，所述光路
通断状态反馈单元由第三悬臂梁和第五支撑锚点组成，位于光纤驱动器的运动方向侧，关于光纤驱动器对称布置，当光纤驱动器推动输入光纤输出端到对准位时，光纤驱动器的第二悬臂梁与驱动器锁止状态反馈单元的第一悬臂梁保持相互接触。8.根据权利要求4所述的带有状态监测的moems引信安解装置，其特征在于，所述反向锁止状态反馈单元由第五悬臂梁和第七支撑锚点组成，位于反向锁止机构的运动方向侧，关于反向锁止机构对称布置，当反向锁止机构解除光纤组的锁定时，反向锁止机构的第四悬臂梁与反向锁止状态反馈单元的第五悬臂梁保持相互接触。9.一种带有状态监测的moems引信安解装置，其状态监测的方法，其特征在于，包括：在初始状态下，光路通断状态反馈单元一侧接有一检测电源，其余处于断电状态，光纤组处在错开位，反向锁止状态反馈单元、驱动器锁止信号反馈单元、光路通断状态反馈单元无电信号输出，反馈光纤输出端无光能输出，监测为引信安解装置处于安全状态；在光纤组处在错开位的情况下，若激光源误开启，激光射出至光功率计，若在非测试状态下光功率计测得激光能量，光功率计将关闭信号反馈至激光源使激光源关闭；识别到第一种环境信息，驱动器锁止机构通电解除对光纤驱动器的锁定，驱动器锁止机构与驱动器锁止状态反馈单元接触，驱动器锁止状态反馈单元输出电信号，监测为驱动器锁止机构处于解锁状态；识别到第二种环境信息，反向锁止机构通电解除对输入光纤输出端的锁定，反向锁止机构与反向锁止状态反馈单元接触，反向锁止状态反馈单元输出电信号，监测为反向锁止机构处于解锁状态；然后光纤组处于对齐位，光纤驱动器与光路通断状态反馈单元接触，光路通断状态反馈单元输出电信号，监测为光路处于导通状态；驱动器锁止机构断电完成对光纤驱动器的锁定，驱动器锁止机构与驱动器锁止状态反馈单元分离，驱动器锁止状态反馈单元无电信号输出，监测为驱动器锁止机构处于锁定状态；光纤驱动器断电，驱动器锁止机构保持对光纤驱动器的锁定，光路通断状态反馈单元保持输出电信号，监测为光路保持导通状态；反向锁止机构断电完成对输入光纤输出端的锁定，反向锁止机构与反向锁止状态反馈单元接触，反向锁止状态反馈单元无电信号输出，监测为反向锁止机构处于锁定状态；此时装置各部件处于断电状态，输入光纤输出端在对齐位，反向锁止状态反馈单元、驱动器锁止状态反馈单元无电信号输出，光路通断状态反馈单元有电信号输出，监测为引信安解装置处于解保状态。

技术总结
本发明公开了一种带有状态监测的MOEMS引信安解装置，包括基底层、设置在基底层上的结构层和光纤组；结构层通过支撑锚点固定在基底层上；光纤组设有输入端和输出端；所述输入端和输出端之间设有错开位和对准位，且保险状态下处于错开位；结构层包括光纤驱动器、驱动器锁止机构、反向锁止机构、驱动器锁止状态反馈单元、光路通断状态反馈单元、反向锁止状态反馈单元；支撑锚点表面溅射有金属薄膜，用于引线接入外设电路。本发明提高了MOEMS引信安解系统在非待发状态下的安全性和设备整体可靠性，并可在非可视环境下对MOEMS引信安解装置进行黑盒测试，丰富了MOEMS引信安解系统的测试手段。试手段。试手段。


技术研发人员：曹云 孔啸宇 朱恒伯 刘浩田 席占稳 聂伟荣
受保护的技术使用者：南京理工大学
技术研发日：2021.11.17
技术公布日：2022/2/18