用于确定MEMS装置的镜体的扭转角的方法与流程

技术特征：
1.一种方法，包括：向mems装置的静电的梳状驱动器(8)施加驱动电压(hv
l
，hv
r
)；将所述驱动电压(hv
l
，hv
r
)与周期性电压信号(fusa
l
，fusa
r
)叠加；以及基于所述周期性电压信号(fusa
l
，fusa
r
)，确定所述mems装置的镜体(2)的扭转角(φ)。2.根据权利要求1所述的方法，其中向静电的所述梳状驱动器(8)施加所述驱动电压(hv
l
，hv
r
)包括：向所述梳状驱动器(8)的第一定子(16a)施加第一驱动电压(hv
l
)；以及向所述梳状驱动器(8)的第二定子(16b)施加第二驱动电压(hv
r
)。3.根据权利要求2所述的方法，其中将所述驱动电压(hv
l
，hv
r
)与周期性电压信号(fusa
l
，fusa
r
)叠加包括：将所述第一驱动电压(hv
l
)与第一周期性电压信号(fusa
l
)叠加；以及将所述第二驱动电压(hv
r
)与第二周期性电压信号(fusa
r
)叠加。4.根据权利要求3所述的方法，其中所述第一周期性电压信号(fusa
l
)和所述第二周期性电压信号(fusa
r
)基本上是相位相反的。5.根据权利要求3或4所述的方法，其中所述第一周期性电压信号(fusa
l
)和所述第二周期性电压信号(fusa
r
)的频率分别高于所述mems装置的谐振频率。6.根据权利要求3至5中任一项所述的方法，其中所述第一周期性电压信号(fusa
l
)和所述第二周期性电压信号(fusa
r
)的频率分别在1mhz至100mhz的范围内。7.根据权利要求3至6中任一项所述的方法，其中所述第一周期性电压信号(fusa
l
)和所述第二周期性电压信号(fusa
r
)的幅度分别在0.1v至lv的范围内。8.根据权利要求3至7中任一项所述的方法，还包括：确定所述梳状驱动器(8)的转子(10)处的测量信号，所述测量信号基于所述第一周期性电压信号(fusa
l
)和所述第二周期性电压信号(fusa
r
)。9.根据权利要求8所述的方法，其中确定所述扭转角(φ)包括：基于在所述梳状驱动器(8)的所述转子(10)处的测量信号与扭转角(φ)之间的存储映射，将所述测量信号映射到所述扭转角(φ)。10.根据权利要求9所述的方法，还包括：在所述mems装置的校准期间，生成所述存储映射。11.根据权利要求8至10中任一项所述的方法，其中所述测量信号基于商其中：fusa
l
是所述第一周期性电压信号，并且fusa
r
是所述第二周期性电压信号。12.根据权利要求8至11中任一项所述的方法，其中所述第一周期性电压信号(fusa
l
)和所述第二周期性电压信号(fusa
r
)具有基本相同的幅度，并且满足条件u
f
～u
fusa
·
(c
l-c
r
)，其中：u
f
是所述测量信号，c
l
是所述第一定子(16a)与所述转子(10)之间的第一电容，
c
r
是所述第二定子(16b)与所述转子(10)之间的第二电容，并且u
fusa
是所述周期性电压信号的所述幅度。13.根据权利要求8至11中任一项所述的方法，还包括：调节所述周期性电压信号(fusa
l
，fusa
r
)的所述幅度，使得满足条件fusa
l
·
c
l
fusa
r
·
c
r
＝0，其中：fusa
l
是所述第一周期性电压信号，fusa
r
是所述第二周期性电压信号，c
l
是所述第一定子(16a)与所述转子(10)之间的第一电容，并且c
r
是所述第二定子(16b)与所述转子(10)之间的第二电容。14.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述驱动电压(hv
l
，hv
r
)是交流电压，并且所述镜体(2)是谐振操作的镜体。15.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述驱动电压(hv
l
，hv
r
)是能够调节的直流电压，并且所述镜体(2)是准静态操作的镜体。16.根据权利要求3至15中任一项所述的方法，其中所述第一周期性电压信号(fusa
l
)和所述第二周期性电压信号(fusa
r
)包括类噪声的伪随机信号。17.根据权利要求3至16中任一项所述的方法，其中所述第一周期性电压信号(fusa
l
)和所述第二周期性电压信号(fusa
r
)包括扩频信号。18.根据前述权利要求中任一项所述的方法，还包括：在通过所述镜体(2)反射电磁辐射之前，验证所述镜体(2)的所述扭转角(φ)。19.一种mems装置，包括：镜体(2)；一个或多个静电的梳状驱动器(8)，用于基于一个或多个驱动电压(hv
l
，hv
r
)来旋转所述镜体(2)；用于将所述一个或多个驱动电压(hv
l
，hv
r
)与一个或多个周期性电压信号(fusa
l
，fusa
r
)叠加的单元；和用于基于所述一个或多个周期性电压信号(fusa
l
，fusa
r
)确定所述镜体(2)的扭转角(φ)的单元。20.根据权利要求19所述的mems装置，还包括：用于确定在所述一个或多个梳状驱动器(8)的转子(10)处的测量信号的测量输出(38)，其中所述测量信号基于所述一个或多个周期性电压信号(fusa
l
，fusa
r
)。21.根据权利要求20所述的mems装置，还包括：存储器，用于提供所述测量信号与所述扭转角(φ)之间的映射。

技术总结
本公开的实施例涉及用于确定MEMS装置的镜体的扭转角的方法。一种方法包括向MEMS装置的静电梳状驱动器施加驱动电压，并将周期性电压信号与驱动电压叠加。该方法还包括基于周期性电压信号确定MEMS装置的镜体的扭转角。性电压信号确定MEMS装置的镜体的扭转角。性电压信号确定MEMS装置的镜体的扭转角。


技术研发人员：F
受保护的技术使用者：英飞凌科技股份有限公司
技术研发日：2021.06.23
技术公布日：2022/2/18