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一种新型半导体单晶片应力检测仪的制作方法

2022-02-22 20:45:44 来源:中国专利 TAG:


1.本实用新型涉及应力检测仪技术领域,尤其涉及一种新型半导体单晶片应力检测仪。


背景技术:

2.应力检测仪可对透明及弱色材料的双折射率进行检测,并通过senarmont补偿法精确计算出光程误差不超过10nm的双折射率的值;应力仪是一种无损检测应力情况的机器,便于人们在生产过程中更直观的判别样品的应力情况,能够让人们做好对应力的分析。
3.应力检测仪是一种重要的检测仪器,在使用时需要将检测物放在检测平台上,应力检测仪能够对很多物品进行检测,尤其是半导体单晶片,传统的单晶片在进行检测时,需要人手持转动检测,在需要定位检测时人手会出抖动导致检测不方便的问题。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的问题,而提出的一种新型半导体单晶片应力检测仪。
5.为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:一种新型半导体单晶片应力检测仪包括机体和夹持装置,所述机体的表面设有圆片,所述机体的表面固装有检测器,所述机体的表面设有两个夹持装置,且两个夹持装置相对于机体的中心点对称分布,所述夹持装置包括支撑块,所述支撑块的侧壁和机体侧壁固装,所述支撑块的侧壁设有转杆,所述转杆远离支撑块的一端固装有主夹块,所述主夹块的表面设有副夹块,所述主夹块和副夹块彼此靠近的一端分别和圆片两侧活动连接,在检测圆片时,将圆片放在主夹块和副夹块之间的位置,然后转动转杆让转杆带动主夹块和副夹块转动,主夹块和副夹块起到了夹持圆片的效果。
6.优选的,所述转杆侧壁靠近支撑块的位置固装有转块,所述转块的表面和支撑块内壁转动连接,所述转块表面远离转杆的一端固装有转把,在转动圆片时,先转动转把让转把带动转块在支撑块内壁转动,转块带动转杆转动,转块和转把起到了让转杆转动的效果。
7.优选的,所述副夹块表面靠近主夹块的位置固装有滑块,所述滑块的外表面和主夹块内壁滑动连接,所述副夹块和主夹块彼此靠近的一端固装有第一弹簧,在需要固定圆片时,先拽动副夹块让副夹块带动滑块滑动,副夹块还会带动第一弹簧进行拉伸,在圆片放置到合适位置后,松开副夹块第一弹簧会带动副夹块滑动,第一弹簧起到了驱动副夹块滑动的效果。
8.优选的,所述滑块远离副夹块的一端固装有挡块,所述主夹块的表面开设有滑孔,所述滑块借助滑孔和主夹块滑动连接,在滑块滑动时会带动挡块滑动,挡块起到了限制滑块在主夹块表面位置的效果。
9.优选的,所述机体的表面设有清理装置,所述清理装置包括两个移动块,两个所述移动块分别位于机体的两侧,所述移动块的内壁滑动连接有滑动块,两个所述滑动块彼此
靠近的一端固装有清理垫,所述清理垫位于检测器的侧壁,在需要清理清理垫时,推动清理垫让清理垫带动滑动块滑动,滑动块带动移动块滑动,清理垫起到了清理检测器表面的效果。
10.优选的,所述机体侧壁靠近移动块的位置固装有放置块,所述放置块的内壁和移动块外表面滑动连接,所述移动块的侧壁固装有矩形块,在移动块滑动时会在放置块内壁滑动,放置块起到了支撑移动块滑动的效果。
11.优选的,所述滑动块的侧壁固装有连接块,所述连接块和矩形块彼此靠近的一端固装有第二弹簧,在清理垫出现磨损等问题导致清理垫无法和检测器贴合时,第二弹簧会收缩带动滑动块和清理垫滑动,第二弹簧起到了让清理垫贴合检测器的效果。
12.与现有技术相比,本实用新型的优点和积极效果在于:
13.1、本实用新型中,通过设置夹持装置,在需要对圆片进行检测时,先拽动副夹块让副夹块带动滑块滑动,滑块在主夹块内壁滑动,滑块带动挡块滑动,副夹块的滑动还带动了第一弹簧进行拉伸,在副夹块滑动到合适位置后,将圆片放在副夹块和主夹块之间的位置,然后松开副夹块第一弹簧会带动副夹块和滑块滑动,在主夹块和副夹块夹持住圆片后,转动转把让转把带动转块转动,转块在支撑块内壁转动,转块的转动带动转杆和主夹块转动,主夹块带动滑块和副夹块转动,在需要停止到移动位置时停止转动即可,通过设置夹持装置,不仅能够支撑圆片,还能够避免人手支撑出现抖动不稳的情况,第一弹簧的设置起到了让副夹块限制圆片在主夹块上位置的效果。
14.2、本实用新型中,通过设置清理装置,在需要清理检测器时,推动清理垫让清理垫带动滑动块滑动,滑动块带动移动块滑动,移动块在放置块内壁滑动,在清理垫不和检测器接触时,矩形块上的第二弹簧会进行收缩,第二弹簧带动连接块滑动,连接块带动滑动块和清理垫滑动,清理垫会重新接触检测器,通过设置清理装置,不仅能够清理检测器,还能够让清理垫贴合在检测器上,第二弹簧起到了让清理垫贴合在检测器表面的效果。
附图说明
15.图1为本实用新型提出一种新型半导体单晶片应力检测仪的立体结构示意图;
16.图2为本实用新型提出一种新型半导体单晶片应力检测仪中图1的a处结构示意图;
17.图3为本实用新型提出一种新型半导体单晶片应力检测仪中夹持装置的爆炸结构示意图;
18.图4为本实用新型提出一种新型半导体单晶片应力检测仪的仰视结构示意图;
19.图5为本实用新型提出一种新型半导体单晶片应力检测仪中图4的b处结构示意图;
20.图6为本实用新型提出一种新型半导体单晶片应力检测仪中清理装置的部分结构示意图。
21.图例说明:
22.1、机体;2、圆片;3、检测器;4、夹持装置;41、支撑块;42、转杆;43、主夹块;44、副夹块;45、转块;46、转把;47、滑块;48、第一弹簧;49、挡块;5、清理装置;51、移动块;52、滑动块;53、清理垫;54、放置块;55、矩形块;56、连接块;57、第二弹簧。
具体实施方式
23.为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点,下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步说明。需要说明的是,在不冲突的情况下,本技术的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
24.在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型,但是,本实用新型还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施,因此,本实用新型并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制。
25.请参阅图1-6,本实用新型提供一种技术方案:一种新型半导体单晶片应力检测仪包括机体1和夹持装置4,机体1的表面设有圆片2,机体1的表面固装有检测器3,机体1的表面设有两个夹持装置4,且两个夹持装置4相对于机体1的中心点对称分布,机体1的表面设有清理装置5。
26.下面具体说一下其夹持装置4和清理装置5的具体设置和作用。
27.本实施方案中:夹持装置4包括支撑块41,支撑块41的侧壁和机体1侧壁固装,支撑块41的侧壁设有转杆42,转杆42远离支撑块41的一端固装有主夹块43,主夹块43的表面设有副夹块44,主夹块43和副夹块44彼此靠近的一端分别和圆片2两侧活动连接,在检测圆片2时,将圆片2放在主夹块43和副夹块44之间的位置,然后转动转杆42让转杆42带动主夹块43和副夹块44转动,主夹块43和副夹块44起到了夹持圆片2的效果。
28.具体的,转杆42侧壁靠近支撑块41的位置固装有转块45,转块45的表面和支撑块41内壁转动连接,转块45表面远离转杆42的一端固装有转把46,在转动圆片2时,先转动转把46让转把46带动转块45在支撑块41内壁转动,转块45带动转杆42转动,转块45和转把46起到了让转杆42转动的效果。
29.具体的,副夹块44表面靠近主夹块43的位置固装有滑块47,滑块47的外表面和主夹块43内壁滑动连接,副夹块44和主夹块43彼此靠近的一端固装有第一弹簧48。
30.在本实施例中:在需要固定圆片2时,先拽动副夹块44让副夹块44带动滑块47滑动,副夹块44还会带动第一弹簧48进行拉伸,在圆片2放置到合适位置后,松开副夹块44第一弹簧48会带动副夹块44滑动,第一弹簧48起到了驱动副夹块44滑动的效果。
31.具体的,滑块47远离副夹块44的一端固装有挡块49,主夹块43的表面开设有滑孔,滑块47借助滑孔和主夹块43滑动连接,在滑块47滑动时会带动挡块49滑动,挡块49起到了限制滑块47在主夹块43表面位置的效果。
32.在本实施例中:清理装置5包括两个移动块51,两个移动块51分别位于机体1的两侧,移动块51的内壁滑动连接有滑动块52,两个滑动块52彼此靠近的一端固装有清理垫53,清理垫53位于检测器3的侧壁,在需要清理清理垫53时,推动清理垫53让清理垫53带动滑动块52滑动,滑动块52带动移动块51滑动,清理垫53起到了清理检测器3表面的效果。
33.具体的,机体1侧壁靠近移动块51的位置固装有放置块54,放置块54的内壁和移动块51外表面滑动连接,移动块51的侧壁固装有矩形块55。
34.在本实施例中:在移动块51滑动时会在放置块54内壁滑动,放置块54起到了支撑移动块51滑动的效果。
35.具体的,滑动块52的侧壁固装有连接块56,连接块56和矩形块55彼此靠近的一端固装有第二弹簧57。
36.在本实施例中:在清理垫53出现磨损等问题导致清理垫53无法和检测器3贴合时,第二弹簧57会收缩带动滑动块52和清理垫53滑动,第二弹簧57起到了让清理垫53贴合检测器3的效果。
37.工作原理:在需要对圆片2进行检测时,先拽动副夹块44让副夹块44带动滑块47滑动,滑块47在主夹块43内壁滑动,滑块47带动挡块49滑动,副夹块44的滑动还带动了第一弹簧48进行拉伸,在副夹块44滑动到合适位置后,将圆片2放在副夹块44和主夹块43之间的位置,然后松开副夹块44第一弹簧48会带动副夹块44和滑块47滑动,在主夹块43和副夹块44夹持住圆片2后,转动转把46让转把46带动转块45转动,转块45在支撑块41内壁转动,转块45的转动带动转杆42和主夹块43转动,主夹块43带动滑块47和副夹块44转动,在需要停止到移动位置时停止转动即可,通过设置夹持装置4,不仅能够支撑圆片2,还能够避免人手支撑出现抖动不稳的情况,第一弹簧48的设置起到了让副夹块44限制圆片2在主夹块43上位置的效果,在需要清理检测器3时,推动清理垫53让清理垫53带动滑动块52滑动,滑动块52带动移动块51滑动,移动块51在放置块54内壁滑动,在清理垫53不和检测器3接触时,矩形块55上的第二弹簧57会进行收缩,第二弹簧57带动连接块56滑动,连接块56带动滑动块52和清理垫53滑动,清理垫53会重新接触检测器3,通过设置清理装置5,不仅能够清理检测器3,还能够让清理垫53贴合在检测器3上,第二弹簧57起到了让清理垫53贴合在检测器3表面的效果。
38.以上所述,仅是本实用新型的较佳实施例而已,并非是对本实用新型作其它形式的限制,任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的技术内容加以变更或改型为等同变化的等效实施例应用于其它领域,但是凡是未脱离本实用新型技术方案内容,依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与改型,仍属于本实用新型技术方案的保护范围。
再多了解一些

本文用于企业家、创业者技术爱好者查询,结果仅供参考。

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