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一种新型半导体单晶片应力检测仪的制作方法

2022-02-22 20:45:44 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种新型半导体单晶片应力检测仪,其特征在于:包括机体(1)和夹持装置(4),所述机体(1)的表面设有圆片(2),所述机体(1)的表面固装有检测器(3),所述机体(1)的表面设有两个夹持装置(4),且两个夹持装置(4)相对于机体(1)的中心点对称分布,所述夹持装置(4)包括支撑块(41),所述支撑块(41)的侧壁和机体(1)侧壁固装,所述支撑块(41)的侧壁设有转杆(42),所述转杆(42)远离支撑块(41)的一端固装有主夹块(43),所述主夹块(43)的表面设有副夹块(44),所述主夹块(43)和副夹块(44)彼此靠近的一端分别和圆片(2)两侧活动连接。2.根据权利要求1所述的一种新型半导体单晶片应力检测仪,其特征在于:所述转杆(42)侧壁靠近支撑块(41)的位置固装有转块(45),所述转块(45)的表面和支撑块(41)内壁转动连接,所述转块(45)表面远离转杆(42)的一端固装有转把(46)。3.根据权利要求2所述的一种新型半导体单晶片应力检测仪,其特征在于:所述副夹块(44)表面靠近主夹块(43)的位置固装有滑块(47),所述滑块(47)的外表面和主夹块(43)内壁滑动连接,所述副夹块(44)和主夹块(43)彼此靠近的一端固装有第一弹簧(48)。4.根据权利要求3所述的一种新型半导体单晶片应力检测仪,其特征在于:所述滑块(47)远离副夹块(44)的一端固装有挡块(49),所述主夹块(43)的表面开设有滑孔,所述滑块(47)借助滑孔和主夹块(43)滑动连接。5.根据权利要求4所述的一种新型半导体单晶片应力检测仪,其特征在于:所述机体(1)的表面设有清理装置(5),所述清理装置(5)包括两个移动块(51),两个所述移动块(51)分别位于机体(1)的两侧,所述移动块(51)的内壁滑动连接有滑动块(52),两个所述滑动块(52)彼此靠近的一端固装有清理垫(53),所述清理垫(53)位于检测器(3)的侧壁。6.根据权利要求5所述的一种新型半导体单晶片应力检测仪,其特征在于:所述机体(1)侧壁靠近移动块(51)的位置固装有放置块(54),所述放置块(54)的内壁和移动块(51)外表面滑动连接,所述移动块(51)的侧壁固装有矩形块(55)。7.根据权利要求6所述的一种新型半导体单晶片应力检测仪,其特征在于:所述滑动块(52)的侧壁固装有连接块(56),所述连接块(56)和矩形块(55)彼此靠近的一端固装有第二弹簧(57)。

技术总结
本实用新型涉及应力检测仪技术领域,具体为一种新型半导体单晶片应力检测仪,包括机体和夹持装置,机体的表面设有圆片,机体的表面固装有检测器,机体的表面设有两个夹持装置,且两个夹持装置相对于机体的中心点对称分布,夹持装置包括支撑块,支撑块的侧壁和机体侧壁固装,支撑块的侧壁设有转杆,转杆远离支撑块的一端固装有主夹块,主夹块的表面设有副夹块,机体的表面设有清理装置,清理装置包括两个移动块,两个移动块分别位于机体的两侧,移动块的内壁滑动连接有滑动块。本实用新型,解决了传统的单晶片在进行检测时,需要人手持转动检测,在需要定位检测时人手会出抖动导致检测不方便的问题。测不方便的问题。测不方便的问题。


技术研发人员:陈元瑞 程波 程鹏
受保护的技术使用者:无锡晶名光电科技有限公司
技术研发日:2021.09.30
技术公布日:2022/2/8
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