一种防震型晶圆切割机的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆切割机技术领域，具体为一种防震型晶圆切割机。


背景技术：

2.晶圆切割机主要用于半导体行业中，将硅片及各类陶瓷材料的切割成小块。由于硅片的集成度较高，因此对晶圆切割机的切割精度也提出较高的要球，晶圆切割机在切割时会产生震动，为了避免震动力影响切割精度，需要消除震动力，现有的一些防震型晶圆切割机主要对竖直方向的震动力抵消，实际使用时，震动力的方向是不确定的，会对切割精度造成一定影响，为此，我们推出一种防震型晶圆切割机。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种防震型晶圆切割机，以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种防震型晶圆切割机，包括底座，所述底座上表面安装有缓冲板，所述底座和缓冲板均呈圆形设置，所述缓冲板尺寸小于底座的尺寸，所述缓冲板上表面固定连接有减震垫，所述减震垫上表面中部安装有晶圆切割机本体，所述减震垫上表面设有安装板，所述晶圆切割机本体固定连接在安装板上表面；
5.所述底座表面设有环形槽，且环形槽内壁均匀设有若干组球头座，所述缓冲板设置在环形槽中心处，且缓冲板侧壁也均匀设有若干组球头座，所述球头座内部活动连接有球头，对应的两组球头表面分别设有圆杆和圆筒，所述圆杆插进圆筒内部，所述圆杆的插入端与圆筒内壁之间设有弹簧；
6.所述减震垫内部设有上下两组压板，两组所述压板均呈锥柱形设置，且两组压板呈上下对称设置，其尺寸较小的一端相互靠近，两组所述压板之间设有若干组半球形凸起，所述半球形凸起的弧形面向上设置，且嵌入上方所述压板的内部；
7.所述减震垫内部上下内壁均插入有若干组支撑柱，位于上方所述压板的上表面以及位于下方所述压板的下表面也插入有若干组支撑柱，对应的两组支撑柱相互靠近的一端均设有挡板，两组挡板表面均固定连接有固定座，两组固定座通过弹性球固定连接。
8.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型通过安装板将晶圆切割机本体工作时产的震动力传导至减震垫上，减震垫内部与两组压板之间的弹性球对震动力进行吸收，同时两组压板之间的半球形凸起将震动力均匀分散，提高减震的效果，当多方向的震动力通过减震垫作用到缓冲板上时，缓冲板挤压座球头和球头，球头带动圆筒顺着对应的圆杆滑动并挤压弹簧，弹簧被压缩对震动力进行抵消，实现多维度的抗震效果，提高晶圆切割机本体的切割精度。
附图说明
9.图1为本实用新型剖视的结构示意图；
10.图2为本实用新型底座和缓冲板连接的结构示意图；
11.图3为本实用新型减震垫的结构示意图；
12.图4为本实用新型图2中a处放大的结构示意图；
13.图5为本实用新型图3中b处放大结构示意图。
14.图中：1、底座；2、缓冲板；3、减震垫；4、晶圆切割机本体；5、球头座；6、球头；7、圆杆；8、圆筒；9、弹簧；10、安装板；11、支撑柱；12、挡板；13、固定座；14、弹性球；15、压板；16、半球形凸起。
具体实施方式
15.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
16.请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：一种防震型晶圆切割机，包括底座1，底座1对整个装置起到支撑作用，所述底座1上表面安装有缓冲板2，缓冲板2与底座1为活动连接，所述缓冲板2上表面固定连接有减震垫3，所述减震垫3上表面中部安装有晶圆切割机本体4，缓冲板2主要对水平方向的震动力进行缓冲，减震垫3主要对竖直方向的震动力进行缓冲；
17.所述底座1表面设有环形槽，且环形槽内壁均匀设有若干组球头座5，若干组球头座5形成环形阵列，所述缓冲板2设置在环形槽中心处，且缓冲板2侧壁也均匀设有若干组球头座5，所述球头座5内部活动连接有球头6，对应的两组球头6表面分别设有圆杆7和圆筒8，所述圆杆7插进圆筒8内部，所述圆杆7的插入端与圆筒8内壁之间设有弹簧9，在球头座5、球头6、圆筒8、圆杆7以及弹簧9配合下，缓冲板2可在环形槽内多方位平移，自然状态下，缓冲板2处于底座1的正中心；
18.所述减震垫3内部设有上下两组压板15，两组所述压板15之间设有若干组半球形凸起16，使得上方压板15受到的震动力可均匀传导到下方的压板15上，所述减震垫3内部上下内壁均插入有若干组支撑柱11，位于上方所述压板15的上表面以及位于下方所述压板15的下表面也插入有若干组支撑柱11，对应的两组支撑柱11相互靠近的一端均设有挡板12，两组挡板12表面均固定连接有固定座13，两组固定座13通过弹性球14固定连接，弹性球14和两组挡板12具有多重缓冲效果。
19.具体的，所述减震垫3上表面设有安装板10，安装板10可将晶圆切割机本体4产的震动力传导至减震垫3上，所述晶圆切割机本体4固定连接在安装板10上表面。
20.具体的，所述底座1和缓冲板2均呈圆形设置，所述缓冲板2尺寸小于底座1的尺寸，方便缓冲板2在底座1内平移。
21.具体的，所述半球形凸起16的弧形面向上设置，且嵌入上方所述压板15的内部，使得上方压板15受到的震动力可通过半球形凸起16更均匀的分散到下方的压板15上。
22.具体的，两组所述压板15均呈锥柱形设置，且两组压板15呈上下对称设置，使得减震垫3内有一定的空腔，提高减震垫3的减震效果。
23.具体的，使用时，当晶圆切割机本体4处于工作状态时，其产生的震动力通过减震
垫3传导至减震垫3内部，减震垫3内部上方的弹性球14受到震动力产生形变抵消一部分震动力，震动力通过上方的弹性球14传导至上方的压板15上，压板15将受到的震动力通过若干组半球形凸起16传导到下方的压板15上，压板15挤压下方的弹性球14，再次对震动力进行抵消，当震动力通过减震垫3传导至缓冲板2上时，缓冲板2根据受到的震动力的方向，挤压球头座5和球头6，球头6带动其表面的圆筒8顺着圆杆7滑动，圆筒8内的弹簧9对震动力进行抵消，由于球头6在球头座5内可自由活动，所以缓冲板2可在底座1内进行多方位的平移，实现对水平方向上的震动力进行抵消。
24.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征：
1.一种防震型晶圆切割机，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上表面安装有缓冲板(2)，所述缓冲板(2)上表面固定连接有减震垫(3)，所述减震垫(3)上表面中部安装有晶圆切割机本体(4)，所述底座(1)表面设有环形槽，且环形槽内壁均匀设有若干组球头座(5)，所述缓冲板(2)设置在环形槽中心处，且缓冲板(2)侧壁也均匀设有若干组球头座(5)，所述球头座(5)内部活动连接有球头(6)，对应的两组球头(6)表面分别设有圆杆(7)和圆筒(8)，所述圆杆(7)插进圆筒(8)内部，所述圆杆(7)的插入端与圆筒(8)内壁之间设有弹簧(9)，所述减震垫(3)内部设有上下两组压板(15)，两组所述压板(15)之间设有若干组半球形凸起(16)，所述减震垫(3)内部上下内壁均插入有若干组支撑柱(11)，位于上方所述压板(15)的上表面以及位于下方所述压板(15)的下表面也插入有若干组支撑柱(11)，对应的两组支撑柱(11)相互靠近的一端均设有挡板(12)，两组挡板(12)表面均固定连接有固定座(13)，两组固定座(13)通过弹性球(14)固定连接。2.根据权利要求1所述的一种防震型晶圆切割机，其特征在于：所述减震垫(3)上表面设有安装板(10)，所述晶圆切割机本体(4)固定连接在安装板(10)上表面。3.根据权利要求1所述的一种防震型晶圆切割机，其特征在于：所述底座(1)和缓冲板(2)均呈圆形设置，所述缓冲板(2)尺寸小于底座(1)的尺寸。4.根据权利要求1所述的一种防震型晶圆切割机，其特征在于：所述半球形凸起(16)的弧形面向上设置，且嵌入上方所述压板(15)的内部。5.根据权利要求1所述的一种防震型晶圆切割机，其特征在于：两组所述压板(15)均呈锥柱形设置，且两组压板(15)呈上下对称设置。

技术总结
本实用新型公开了一种防震型晶圆切割机，包括底座，所述底座上表面安装有缓冲板，所述底座表面设有环形槽，所述缓冲板设置在环形槽中心处，且缓冲板侧壁也均匀设有若干组球头座，所述球头座内部活动连接有球头，所述圆杆插进圆筒内部，所述减震垫内部设有上下两组压板，两组所述压板之间设有若干组半球形凸起，对应的两组支撑柱相互靠近的一端均设有挡板，两组挡板表面均固定连接有固定座，两组固定座通过弹性球固定连接，本实用新型通过安装板将晶圆切割机本体工作时产的震动力传导至减震垫上，当多方向的震动力通过减震垫作用到缓冲板上时，球头带动圆筒顺着对应的圆杆滑动并挤压弹簧，实现多维度的抗震效果。实现多维度的抗震效果。实现多维度的抗震效果。


技术研发人员：赵康
受保护的技术使用者：苏州翠竹半导体有限公司
技术研发日：2021.09.23
技术公布日：2022/2/7