一种尾气套管结构及还原炉的制作方法

1.本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，尤其涉及一种尾气套管结构及还原炉。


背景技术：

2.在现有的技术方案中，还原炉尾气通过尾气孔与底盘连接的尾气支管、尾气环管以及位于尾气环管一侧的尾气母管最终汇集排放，尾气经多根尾气支管汇集到尾气环管，经尾气环管一侧进入尾气母管，经过现场大量数据验证，尾气管壁面发生少量的气相沉积反应，随着生产的进行，尾气管沉积硅厚度会持续增加，这将导致还原炉内压力、流场、温场不均衡，在一些特定情况下会造成启炉失败、倒棒、多晶硅质量下降、电耗上升等情况，同时会导致尾气管结硅情况的进一步恶化。
3.还原炉长期高温运行，会导致尾气管道结硅严重、还原炉憋压，并且在清理过程只能在氮气保护下蛮力敲击，频繁清理造成尾气管道存在损伤，一些暗伤造成设备泄漏等异常问题，因此多晶硅生产企业迫切需要解决尾气孔结硅及结硅后难以清理的问题。


技术实现要素：

4.有鉴于此，本实用新型提供一种尾气套管结构及还原炉，以解决还原炉长期高温运行，导致尾气管道结硅严重、还原炉憋压，并且清理过程会造成尾气管道损伤，导致设备泄漏等异常问题。
5.为了解决上述技术问题，本实用新型是这样实现的：
6.第一方面，本实用新型提供了一种尾气套管结构，包括：
7.尾气罩衔接口和尾气套管；
8.所述尾气套管的第一端伸入所述尾气罩衔接口的第一端，所述尾气套管的第一端的外侧与所述尾气罩衔接口的第一端的内侧接触；
9.所述尾气罩衔接口的侧壁上设置有吊孔。
10.可选的，所述吊孔的数量为至少一个。
11.可选的，所述吊孔的数量为两个，并对称设置在所述尾气罩衔接口的侧壁上。
12.可选的，所述尾气罩衔接口和所述尾气套管为一体成型结构。
13.可选的，所述尾气罩衔接口和所述尾气套管的轴线共线。
14.可选的，所述吊孔的形状为多边形、圆形或椭圆形。
15.可选的，所述尾气罩衔接口和所述尾气套管设置为圆管。
16.第二方面，本实用新型提供了一种还原炉，包括第一方面中任一项所述的尾气套管结构。
17.可选的，所述还原炉的炉底壁上设置有多个尾气孔，每个尾气孔对应设置一个所述尾气套管结构。
18.可选的，所述多个尾气孔均匀分布在所述炉底壁上。
19.本实用新型中，通过在原有尾气管道上增加尾气套管，把气相沉积反应从尾气支
管转移到尾气套管上，直接在尾气套管上结硅，消除还原炉尾气支管内部结硅；在每炉拆完炉后，通过吊孔将尾气套管取出清理尾气套管结硅，彻底消除尾气支管结硅难清理问题。
附图说明
20.通过阅读下文优选实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的，而并不认为是对本实用新型的限制。而且在整个附图中，用相同的参考符号表示相同的部件。在附图中：
21.图1为本实用新型实施例提供的一种尾气套管结构示意图；
22.图2为本实用新型实施例提供的一种尾气罩衔接口剖面结构示意图。
23.附图标记：
24.尾气罩衔接口1；尾气套管2；吊孔3。
具体实施方式
25.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例的附图，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本实用新型的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
26.除非另作定义，本实用新型中使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本实用新型中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也相应地改变。
27.请参考图1和图2，本实用新型实施例中提供了一种尾气套管结构，包括：
28.尾气罩衔接口1和尾气套管2；
29.所述尾气套管2的第一端伸入所述尾气罩衔接口1的第一端，所述尾气套管2的第一端的外侧与所述尾气罩衔接口1的第一端的内侧接触；
30.所述尾气罩衔接口的侧壁上设置有吊孔3。
31.本实用新型实施例中，通过在原有尾气管道上增加尾气套管，把气相沉积反应从尾气支管转移到尾气套管上，直接在尾气套管上结硅，消除还原炉尾气支管内部结硅；在每炉拆完炉后，通过吊孔将尾气套管取出清理尾气套管结硅，彻底消除尾气支管结硅难清理问题，提升生产效率；同时改善还原炉内的温度场和流场，实现多晶硅生产的稳定运行，达到节能降耗的目的。
32.本实用新型实施例中，所述尾气罩衔接口1坐落在还原炉的底盘上，将尾气罩安装在所述尾气罩衔接口1上，所述尾气套管2插入尾气孔，从而将尾气支管壁与尾气隔绝，杜绝尾气支管内部结硅造成还原炉气场波动，进而减弱了对还原炉内温场、气体浓度分布和流动的扰动，降低了多晶硅启炉失败率、倒棒几率，提高了产品质量；并且设置了吊孔，在拆炉后通过吊孔3将尾气套管取出，敲击套管清理套管上的结硅，消除还原炉尾气支管内部结硅，彻底消除尾气孔结硅难清理问题，从而杜绝尾气支管应清理结硅造成的暗伤，增加设备
使用寿命，提升生产效率。
33.请参考图1和图2，本实用新型实施例中，所述尾气罩衔接口1的管深设置为20cm-40cm；内径设置为70cm-90cm；外径设置为90cm-110cm；管壁厚度设置为8cm-12cm；所述尾气套管2的管深设置为80cm-120cm；内径设置为50cm-70cm；外径设置为70cm-90cm；管壁厚度设置为5cm-9cm；所述尾气套管2的第一端的外侧与所述尾气罩衔接口1的第一端的内侧接触，内侧接触部分设置为4cm-6cm；所述吊孔的形状可以根据需要设置为多边形、圆形或椭圆形；也可以如图中设置为由长度为8cm-12cm，宽度为13cm-17cm的长方形和长度为所述长方形的宽度，高度为3cm-7cm的拱形组成的孔型。
34.本实用新型实施例中，可选的，所述吊孔的数量为至少一个。
35.本实用新型实施例中，可选的，所述吊孔的数量为两个，并对称设置在所述尾气罩衔接口的侧壁上。
36.本实用新型实施例中，所述吊孔的数量可以根据实际需要进行设置，也可以设置为多个，并均匀分布在所述尾气罩衔接口的侧壁上，以便在拆炉后通过吊孔3将尾气套管取出，提升生产效率。
37.本实用新型实施例中，可选的，所述尾气罩衔接口和所述尾气套管为一体成型结构。
38.本实用新型实施例中，所述尾气罩衔接口和尾气套管优选的材质是n08810奥氏体耐热合金，具有很好的耐还原、氧化、氮化介质腐蚀以及耐氧化还原交替变化介质腐蚀的性能，且在高温长期应用中具有高的冶金稳定性,与其他材料相比具有较高的优势。
39.本实用新型实施例中，可选的，所述尾气罩衔接口和所述尾气套管的轴线共线。
40.本实用新型实施例中，可选的，所述尾气罩衔接口和所述尾气套管设置为圆管。
41.根据本实用新型实施例的还原炉包括根据上述实施例的尾气套管结构，由于根据本实用新型上述实施例的尾气套管结构具有上述技术效果，因此，根据本实用新型实施例的尾气套管结构也具有相应的技术效果，即通过在原有尾气管道上增加尾气套管，把气相沉积反应从尾气支管转移到尾气套管上，直接在尾气套管上结硅，消除还原炉尾气支管内部结硅；在每炉拆完炉后，通过吊孔将尾气套管取出清理尾气套管结硅，彻底消除尾气支管结硅难清理问题，提升生产效率；同时改善还原炉内的温度场和流场，实现多晶硅生产的稳定运行，达到节能降耗的目的。
42.本实用新型实施例中，可选的，所述还原炉的炉底壁上设置有多个尾气孔，每个尾气孔对应设置一个所述尾气套管结构。
43.本实用新型实施例中，可选的，所述多个尾气孔均匀分布在所述炉底壁上。
44.本实用新型实施例中，所述还原炉的炉底壁上设置有多个尾气孔，每个尾气孔对应设置一个所述尾气套管结构；尾气套管随着尾气孔均匀分布在炉底壁上，所述尾气罩衔接口与底盘尾气孔连接，数量与尾气孔相同可以是4、6、8、10
…
2n(n≥2)；所述尾气套管插入尾气孔内，数量与尾气孔及支管相同可以是4、6、8、10
…
2n(n≥2)。
45.以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。