清洗机单边抛动机构的制作方法

1.本实用新型涉及硅片清洗机技术领域，具体为清洗机单边抛动机构。


背景技术：

2.在硅片生产加工的过程中，硅片表面会粘附大量的灰尘和杂质，这些灰尘和杂质在硅片还处于板料状态时就需要清洗干净，否则咋硅片加工成器件后，很容易对器件造成损坏，而硅片一般都是采用专门的硅片清洗机进行清洗。
3.但是现有的硅片清洗机大多数结构较为简单，在使用时通过将装载有硅片的花篮移动至清洗机内部，然后通过高压喷淋头进行循环式冲洗，将其表面的杂质清洗掉，但是在实际使用过程中，由于硅片堆垛在插片花篮中，存在较多的贴合部位，这些硅片与插片花篮的贴合部位通常就成为冲洗的死角，很难将内部的杂质冲洗出来，因此需要提供一种清洗机单边抛动机构以解决上述问题。


技术实现要素：

4.(一)解决的技术问题
5.针对现有技术的不足，本实用新型公开了清洗机单边抛动机构，以解决上述背景技术中提出的问题。
6.(二)技术方案
7.为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：清洗机单边抛动机构，包括：
8.放置架，所述放置架的上表面设有插片花篮，所述放置架的背面固定安装有固定条，所述固定条的外表面两侧均固定安装有限位组件；
9.驱动电机，所述驱动电机的输出端固定安装有偏心轮，所述偏心轮的上方设有抛动顶块。
10.优选的，所述驱动电机的下表面固定安装有安装底板，所述固定条的外表面固定连接有挡条，所述抛动顶块固定安装在挡条的下表面。
11.优选的，所述限位组件包括滑动连接座、固定连接座和固定轴，所述固定连接座固定连接在固定轴的两端，所述滑动连接座滑动连接在固定轴的中部外表面。
12.优选的，所述固定连接座与外部进行固定安装，所述滑动连接座固定安装在固定条的外表面。
13.优选的，所述放置架的上表面固定安装有卡条，所述卡条的上表面开设有限位卡槽，所述插片花篮的两端均固定连接有限位卡杆，所述限位卡杆活动卡接在限位卡槽的内部。
14.优选的，所述放置架的底端固定安装有l形加强条，所述放置架的顶端固定连接有连接条，所述连接条的外表面固定焊接有安装板，所述固定条通过螺栓与安装板固定安装。
15.本实用新型公开了清洗机单边抛动机构，其具备的有益效果如下：
16.1、该清洗机单边抛动机构，在使用时，通过启动驱动电机，使得驱动电机带动偏心轮进行转动，此时偏心轮将抛动顶块重复向上顶起，使得抛动顶块通过固定条带动放置架整体不断向上颠簸震颤，对放置架整体的移动轨迹进行限定，使得插片花篮在放置架的上表面竖直发生震荡，此时配合清洗机内部的高压喷淋设备实现在冲洗的过程中进行震颤，方便将硅片与插片花篮贴合处的杂质震颤出来，提升硅片整体的清洗效果。
17.2、该清洗机单边抛动机构，通过设置限位组件，使得固定连接座固定连接在固定轴的两端，滑动连接座滑动连接在固定轴的中部外表面，同时固定连接座与外部进行固定安装，滑动连接座固定安装在固定条的外表面，在使用过程中，滑动连接座沿着固定轴上下移动，对放置架整体的移动轨迹进行限定，避免放置架发生偏斜。
附图说明
18.图1为本实用新型整体正面结构示意图；
19.图2为本实用新型整体背面结构示意图；
20.图3为本实用新型放置架外表面结构示意图；
21.图4为本实用新型驱动电机和限位组件外表面结构示意图。
22.图中：1、放置架；2、插片花篮；3、固定条；4、驱动电机；5、限位组件；501、滑动连接座；502、固定连接座；503、固定轴；6、卡条；7、限位卡槽；8、挡条；9、卡杆；10、安装板；11、l形加强条；12、偏心轮；13、抛动顶块；14、安装底板；15、连接条。
具体实施方式
23.本实用新型实施例公开清洗机单边抛动机构，如图1-4所示，包括放置架1，放置架1的上表面设有插片花篮2，放置架1的背面固定安装有固定条3，固定条3的外表面两侧均固定安装有限位组件5；
24.同时该装置还包括驱动电机4，驱动电机4的输出端固定安装有偏心轮12，偏心轮12的上方设有抛动顶块13。
25.参照附图4，驱动电机4的下表面固定安装有安装底板14，固定条3的外表面固定连接有挡条8，抛动顶块13固定安装在挡条8的下表面，通过启动驱动电机4，使得驱动电机4带动偏心轮12进行转动，此时偏心轮12将抛动顶块13重复向上顶起，使得抛动顶块13通过固定条3带动放置架1整体不断向上颠簸震颤。
26.参照附图4，限位组件5包括滑动连接座501、固定连接座502和固定轴503，固定连接座502固定连接在固定轴503的两端，滑动连接座501滑动连接在固定轴503的中部外表面，固定连接座502与外部进行固定安装，滑动连接座501固定安装在固定条3的外表面，当放置架1整体上下颠簸震颤时，滑动连接座501沿着固定轴503上下移动，对放置架1整体的移动轨迹进行限定。
27.参照附图1和3，放置架1的上表面固定安装有卡条6，卡条6的上表面开设有限位卡槽7，插片花篮2的两端均固定连接有限位卡杆9，限位卡杆9活动卡接在限位卡槽7的内部，对插片花篮2的放置位置进行限定。
28.参照附图3，放置架1的底端固定安装有l形加强条11，放置架1的顶端固定连接有连接条15，连接条15的外表面固定焊接有安装板10，固定条3通过螺栓与安装板10固定安
装，提升放置架1整体的结构强度，避免在震颤的过程中发生变形。
29.工作原理：该装置在使用时，首先通过螺栓将安装底板14和固定连接座502安装在清洗机外部，然后将放置架1整体置于清洗机内部，在使用时通过将插片花篮2放置到放置架1上表面，使得卡杆9进入到限位卡槽7的内部，在使用时，通过启动驱动电机4，使得驱动电机4带动偏心轮12进行转动，此时偏心轮12将抛动顶块13重复向上顶起，使得抛动顶块13通过固定条3带动放置架1整体不断向上颠簸震颤，在这个过程中滑动连接座501沿着固定轴503上下移动，对放置架1整体的移动轨迹进行限定，使得插片花篮2在放置架1的上表面竖直发生震荡，此时配合清洗机内部的高压喷淋设备实现在冲洗的过程中进行震颤，方便将硅片与插片花篮2贴合处的杂质震颤出来，提升硅片整体的清洗效果。
30.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。


技术特征：
1.清洗机单边抛动机构，其特征在于，包括：放置架(1)，所述放置架(1)的上表面设有插片花篮(2)，所述放置架(1)的背面固定安装有固定条(3)，所述固定条(3)的外表面两侧均固定安装有限位组件(5)；驱动电机(4)，所述驱动电机(4)的输出端固定安装有偏心轮(12)，所述偏心轮(12)的上方设有抛动顶块(13)。2.根据权利要求1所述的清洗机单边抛动机构，其特征在于：所述驱动电机(4)的下表面固定安装有安装底板(14)，所述固定条(3)的外表面固定连接有挡条(8)，所述抛动顶块(13)固定安装在挡条(8)的下表面。3.根据权利要求1所述的清洗机单边抛动机构，其特征在于：所述限位组件(5)包括滑动连接座(501)、固定连接座(502)和固定轴(503)，所述固定连接座(502)固定连接在固定轴(503)的两端，所述滑动连接座(501)滑动连接在固定轴(503)的中部外表面。4.根据权利要求3所述的清洗机单边抛动机构，其特征在于：所述固定连接座(502)与外部进行固定安装，所述滑动连接座(501)固定安装在固定条(3)的外表面。5.根据权利要求1所述的清洗机单边抛动机构，其特征在于：所述放置架(1)的上表面固定安装有卡条(6)，所述卡条(6)的上表面开设有限位卡槽(7)，所述插片花篮(2)的两端均固定连接有限位卡杆(9)，所述限位卡杆(9)活动卡接在限位卡槽(7)的内部。6.根据权利要求1所述的清洗机单边抛动机构，其特征在于：所述放置架(1)的底端固定安装有l形加强条(11)，所述放置架(1)的顶端固定连接有连接条(15)，所述连接条(15)的外表面固定焊接有安装板(10)，所述固定条(3)通过螺栓与安装板(10)固定安装。

技术总结
本实用新型公开清洗机单边抛动机构，涉及硅片清洗机领域。该清洗机单边抛动机构，包括放置架和驱动电机，放置架的上表面设有插片花篮，放置架的背面固定安装有固定条，固定条的外表面两侧均固定安装有限位组件，驱动电机的输出端固定安装有偏心轮，偏心轮的上方设有抛动顶块。该清洗机单边抛动机构，在使用时，通过启动驱动电机，使得驱动电机带动偏心轮进行转动，此时偏心轮将抛动顶块重复向上顶起，使得插片花篮在放置架的上表面竖直发生震荡，实现在冲洗的过程中进行震颤，方便将硅片与插片花篮贴合处的杂质震颤出来，提升硅片整体的清洗效果。效果。效果。


技术研发人员：王进 张进元 王永利 胡宏峰
受保护的技术使用者：上海珺竹精密机械有限公司
技术研发日：2021.10.08
技术公布日：2022/2/7