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一种防尘式移动平台的制作方法

2022-02-22 12:51:23 来源:中国专利 TAG:


1.本实用新型涉及工作平台,具体是一种防尘式移动平台。


背景技术:

2.目前在半导体加工行业中,平面工作台是不可或缺的工作平台,一些平面台在工作时是有直线电机带动的,直线电机安装的部分由于散热等原因不是封闭的空间,然而在工作时会有一些灰尘进入该空间内,灰尘的存在会影响工作台的精度。


技术实现要素:

3.为解决上述现有技术的缺陷,本实用新型提供一种防尘式移动平台,本实用新型能够防止灰尘进入,同时不会影响工作台的运行,保证精度。
4.为实现上述技术目的,本实用新型采用如下技术方案:一种防尘式移动平台,包括一底座,所述底座上设有上盖,所述底座的上侧面边缘处设有若干个固定滚筒和若干个折边滚筒,所述若干个固定滚筒和所述若干个折边滚筒上共同承载有防尘带,所述防尘带围住所述底座和所述上盖之间的空隙;
5.所述上盖上骑跨有工作台,所述工作台位于所述上盖两侧的两个部分均固定有滑块;所述两个滑块上设有若干个第一滚筒和若干个与所述第一滚筒相对应的第二滚筒,所述第一滚筒与所述第二滚筒夹持住所述防尘带,所述滑块在所述第一滚筒与所述第二滚筒的作用下相对于所述防尘带运动。
6.进一步地,所述底座的四个角上各自安装有一个所述固定滚筒,所述底座的两个长度方向的端部上各自安装有两个所述折边滚筒,四个所述折边滚筒与四个所述固定滚筒一一对应。
7.进一步地,所述折边滚筒靠近相应的所述固定滚筒,且,所述折边滚筒安装在所述底座靠内的位置,所述固定滚筒安装在所述底座靠边缘的位置上。
8.进一步地,所述滑块的两端各自安装有一个所述第一滚筒和一个所述第二滚筒,所述第一滚筒和一个所述第二滚筒分别位于所述防尘带的两侧。
9.进一步地,两个所述第一滚筒和两个所述第二滚筒之间形成等腰梯形。
10.进一步地,所述滑块靠近所述底座的侧面上固定有一底板,所述第一滚筒和所述第二滚筒的一端安装在所述底板上,另一端安装在所述工作台上。
11.综上所述,本实用新型取得了以下技术效果:
12.1、本实用新型在工作台的四周设置防尘带,将安装元器件的空间围挡住,不让灰尘进入;
13.2、本实用新型在滑块上设置一左一右的滚筒,将防尘带夹持在中间,一是能够保证滑块在运动时不会脱离防尘带,一是能够将防尘带时刻压紧在装置上,将防尘带与底座和上盖之间的间隙尽量的缩小,保证灰尘不进入。
附图说明
14.图1是本实用新型实施例提供的移动平台示意图;
15.图2是图1的侧视图;
16.图3是图1的主视图;
17.图4是防尘带的安装方式。
具体实施方式
18.以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。
19.本具体实施例仅仅是对本实用新型的解释,其并不是对本实用新型的限制,本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改,但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。
20.实施例:
21.如图1、图2和图3所示,一种防尘式移动平台,包括一底座1,底座1上设有上盖2,底座1和上盖2之间存在空隙用于安装元器件。
22.如图4所示,图中为了显示防尘带的设置隐藏了底座1,底座1的上侧面边缘处设有若干个固定滚筒6和若干个折边滚筒7,若干个固定滚筒6和若干个折边滚筒7上共同承载有防尘带5,防尘带5围住底座1和上盖2之间的空隙,防止间隙进入灰尘。若干个固定滚筒6和若干个折边滚筒7支撑起防尘带5,将整个四周的间隙包围住,两头的间隙用于端头的板子固定住不会进入灰尘。
23.进一步地,防尘带5可以是固定在各个固定滚筒6和折边滚筒7上的,保证稳定性。
24.进一步地,底座1的四个角上各自安装有一个固定滚筒6,底座1的两个长度方向的端部上各自安装有两个折边滚筒7,四个折边滚筒7与四个固定滚筒6一一对应。折边滚筒7 靠近相应的固定滚筒6,且,折边滚筒7安装在底座1靠内的位置,固定滚筒6安装在底座 1靠边缘的位置上。同一端部的两个折边滚筒7与两个固定滚筒6形成等腰梯形结构,增强稳定性。
25.如图1所示,上盖2上骑跨有工作台4,工作台4位于上盖2两侧的两个部分均固定有滑块3;如图4所示,图中隐藏了其中一个滑块3,两个滑块3上设有若干个第一滚筒8和若干个与第一滚筒8相对应的第二滚筒9,第一滚筒8与第二滚筒9夹持住防尘带5,滑块3 在第一滚筒8与第二滚筒9的作用下相对于防尘带5运动。
26.进一步地,滑块3的两端各自安装有一个第一滚筒8和一个第二滚筒9,第一滚筒8和一个第二滚筒9分别位于防尘带5的两侧,保证滑块3在运动时能够始终不脱离防尘带,保证密封性。
27.进一步地,两个第一滚筒8和两个第二滚筒9之间形成等腰梯形,便于滑块3的运动。
28.滑块3靠近底座1的侧面上固定有一底板31,第一滚筒8和第二滚筒9的一端安装在底板31上,另一端安装在工作台4上。
29.工作原理:
30.直线电机(未图示)驱动两个滑块3直线运动,带动工作台4的运动。
31.滑块3在运动时,由于滑块3上安装了第一滚筒8和第二滚筒9,两个滚筒相对于防
尘带滚动从而在滑块3运动时,防尘带始终保持不动而滑块3在持续性的运动,由于第一滚筒 8和第二滚筒9位置的安装形成等腰梯形,能够始终将防尘带5抵在整个装置上贴合紧密,达到密封效果。
32.以上所述仅是对本实用新型的较佳实施方式而已,并非对本实用新型作任何形式上的限制,凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改,等同变化与修饰,均属于本实用新型技术方案的范围内。


技术特征:
1.一种防尘式移动平台,其特征在于:包括一底座(1),所述底座(1)上设有上盖(2),所述底座(1)的上侧面边缘处设有若干个固定滚筒(6)和若干个折边滚筒(7),所述若干个固定滚筒(6)和所述若干个折边滚筒(7)上共同承载有防尘带(5),所述防尘带(5)围住所述底座(1)和所述上盖(2)之间的空隙;所述上盖(2)上骑跨有工作台(4),所述工作台(4)位于所述上盖(2)两侧的两个部分均固定有滑块(3);所述两个滑块(3)上设有若干个第一滚筒(8)和若干个与所述第一滚筒(8)相对应的第二滚筒(9),所述第一滚筒(8)与所述第二滚筒(9)夹持住所述防尘带(5),所述滑块(3)在所述第一滚筒(8)与所述第二滚筒(9)的作用下相对于所述防尘带(5)运动。2.根据权利要求1所述的一种防尘式移动平台,其特征在于:所述底座(1)的四个角上各自安装有一个所述固定滚筒(6),所述底座(1)的两个长度方向的端部上各自安装有两个所述折边滚筒(7),四个所述折边滚筒(7)与四个所述固定滚筒(6)一一对应。3.根据权利要求2所述的一种防尘式移动平台,其特征在于:所述折边滚筒(7)靠近相应的所述固定滚筒(6),且,所述折边滚筒(7)安装在所述底座(1)靠内的位置,所述固定滚筒(6)安装在所述底座(1)靠边缘的位置上。4.根据权利要求3所述的一种防尘式移动平台,其特征在于:所述滑块(3)的两端各自安装有一个所述第一滚筒(8)和一个所述第二滚筒(9),所述第一滚筒(8)和一个所述第二滚筒(9)分别位于所述防尘带(5)的两侧。5.根据权利要求4所述的一种防尘式移动平台,其特征在于:两个所述第一滚筒(8)和两个所述第二滚筒(9)之间形成等腰梯形。6.根据权利要求5所述的一种防尘式移动平台,其特征在于:所述滑块(3)靠近所述底座(1)的侧面上固定有一底板(31),所述第一滚筒(8)和所述第二滚筒(9)的一端安装在所述底板(31)上,另一端安装在所述工作台(4)上。

技术总结
本实用新型公开了一种防尘式移动平台,包括一底座,所述底座上设有上盖,所述底座的上侧面边缘处设有若干个固定滚筒和若干个折边滚筒,所述若干个固定滚筒和所述若干个折边滚筒上共同承载有防尘带,所述防尘带围住所述底座和所述上盖之间的空隙;所述上盖上骑跨有工作台,所述工作台位于所述上盖两侧的两个部分均固定有滑块;所述两个滑块上设有若干个第一滚筒和若干个与所述第一滚筒相对应的第二滚筒,所述第一滚筒与所述第二滚筒夹持住所述防尘带,所述滑块在所述第一滚筒与所述第二滚筒的作用下相对于所述防尘带运动。本实用新型能够防止灰尘进入,同时不会影响工作台的运行,保证精度。保证精度。保证精度。


技术研发人员:许云飞 薛鹏飞
受保护的技术使用者:无锡地心科技有限公司
技术研发日:2021.04.28
技术公布日:2022/2/7
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